문맥 (context)
[청구항 1]
챔버리드와 외부벽부와 바닥 플랜지부를 포함하는 기판수용챔버와,
상기 기판수용챔버 내부에 배치되고, 복수의 기판이 안착되며 가스유로가 형성되어 상기 가스유로를 통해 공급되는 회전구동가스에 의해 상기 복수의 기판을 회전시키는 서셉터와,
상기 서셉터에 안착된 기판을 가열하 는 히터를 구비하며,
상기 서셉터는, 기판이 안착되는 서브디스크와, 상기 서브디스크가 수용되고 상기 가스유로와 연통하는 수용포켓이 복수 개 형성된 메인디스크와, 상기 메인디스크를 회전시키며 상기 가스유로와 연통하는 수직가스유로가 형성 서셉터샤프트를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기금속화학기상증착장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,셉터는, 상기 메인디스크와 상기 서브디스크 사이에 배치되며 상기 수용포켓에 연통하는 가스공급홀이 형성된가스인젝션테이블구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 가스인젝션 테이블의 상기 가스공급홀은, 상기 가스인젝션 테이블의 두께방향으로 수직으로 형성되어 공급되는 가스에 의해 상기 서브디스크를 부상시키는 부상가스공급홀과, 상기 가스인젝션 테이블의 두께방향에 대하여 경사지게 형성되어 공급되는 가스에 의해 상기 서브디스크를 회전시키는회전가스공급홀구비하는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 부상가스공급홀과 상기 회전가스공급홀nan은일체형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,셉터는 상기 서셉터샤프트에 고정설치되는 서셉터바닥디스크를 구비하며,상기 메인디스크는 상기 서셉터바닥디스크에 분리가능하게체결되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 가스인젝션 테이블의 상부면에는 외주면을 향하여 낮아지는 단차가 형성되고, 상기 서브디스크의 저면에는 상기 가스인젝션 테이블의 단차에 상응하는단차형성되는것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
[청구항 7]
제 1 항에 있어서,상기 회전구동가스는불활성가스인것을특징으로 하는유기금속화학기상증착장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소의 기능과 역할을 분석하여 질문에 답하라. 요구되는 정보를 명확한 구조로 정리하라.
질문 (question)
유기금속화학기상증착장치의 서셉터 구성 요소 중, 가스인젝션 테이블의 가스공급홀이 서브디스크를 부상시키거나 회전시키기 위해 각각 어떠한 방향으로 형성되는지 설명하라.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가스인젝션 테이블의 가스공급홀이 서브디스크의 부상과 회전을 위해 각각 어떤 방향으로 형성되어 있는지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 가스공급홀의 종류인 부상가스공급홀과 회전가스공급홀의 형성 방향에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 가스인젝션 테이블의 상기 가스공급홀은, 상기 가스인젝션 테이블의 두께방향으로 수직으로 형성되어 공급되는 가스에 의해 상기 서브디스크를 부상시키는 부상가스공급홀과, 상기 가스인젝션 테이블의 두께방향에 대하여 경사지게 형성되어 공급되는 가스에 의해 상기 서브디스크를 회전시키는 회전가스공급홀 구비하는 것을 특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection부상가스공급홀은 '두께방향으로 수직'으로, 회전가스공급홀은 '두께방향에 대하여 경사지게' 형성된다는 구절을 선택한다.
- 가스인젝션 테이블의 두께방향으로 수직으로 형성되어... 부상시키는 부상가스공급홀, 상기 가스인젝션 테이블의 두께방향에 대하여 경사지게 형성되어... 회전시키는 회전가스공급홀
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4논리 통합
logical_integration부상 기능은 수직 방향의 가스 공급을 통해 이루어지며, 회전 기능은 경사 방향의 가스 공급을 통해 이루어짐을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation부상가스공급홀은 두께방향으로 수직하게, 회전가스공급홀은 두께방향에 대하여 경사지게 형성된다는 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 명시된 두 가지 가스공급홀의 형성 방향을 구조화하여 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 부상가스공급홀: 가스인젝션 테이블의 두께방향으로 수직으로 형성됨
- 회전가스공급홀: 가스인젝션 테이블의 두께방향에 대하여 경사지게 형성됨
핵심 해석 (core_interpretation)
가스인젝션 테이블 내의 가스공급홀을 수직 및 경사 방향으로 각각 형성함으로써, 공급되는 가스를 통해 서브디스크를 부상시키거나 회전시키는 기능을 구현함.