문맥 (context)
[청구항 1]
진자밸브;
상기 진자밸브에 전원을 공급하는 진자밸브용 전원공급부; 및
상기 진자밸브와 상기 진자밸브용 전원공급부 사이에서 상기 진자밸브에 대해 전원공급 및 진자 플레이트 제어를 수행하는 진자밸브용 컨트롤러를 포함하는 진자밸브 제어 시스템
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 진자밸브용 컨트롤러는,전원공급 여부를 스위칭하는 전원 온/오프 스위치;상기 진자 플레이트의 개폐신호를 생성하는 진자 플레이트 개폐 스위치; 및상기 개폐신호를 전달하는 케이블 접속부포함하는진자밸브 제어 시스템.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 진자밸브용 컨트롤러는,상기 진자 플레이트의 개방과 폐쇄를 감지하는 개방센서 및 폐쇄센서; 및상기 개방센서 및 폐쇄센서로부터 전달된 센싱신호를 처리하는 센싱신호 처리부더 포함하는진자밸브 제어 시스템.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 진자밸브용 컨트롤러는,상기 전원 온/오프 스위치 및 상기 진자 플레이트 개폐 스위치의 구동을 모두 정지시키는 비상정지 스위치더 포함하는진자밸브 제어 시스템.
[청구항 5]
제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 진자밸브는,일측에 개방부가 형성되어 있고, 상하 관통된 공기 통로가 형성된 밸브 하우징;상기 밸브 하우징 내부에 회전 가능하게 배치되어 있고, 상기 공기 통로를 단속하는 진자 플레이트;상기 밸브 하우징에 결합되어 있고, 상기 진자 플레이트를 회전시키는 액츄에이터; 및상기 개방부에 분리 가능하게 결합되어 있는 커버포함하는진자밸브 제어 시스템.
[청구항 6]
반도체 제조공정이 이루어지는 챔버
진공압을 형성시키는 진공펌프
상기 챔버와 상기 진공펌프 사이에 형성되어 진공도를 조절하는 진자밸브
상기 챔버, 상기 진공펌프, 상기 진자밸브를 제어하는 메인컨트롤러
상기 메인컨트롤러를 경유하여 전체 시스템으로 해당 전압의 전원을 공급하는 전원공급부; 및
상기 진자밸브에 대해 전원공급 제어 및 진자 플레이트 제어를 수행하는 진자밸브용 컨트롤러를 포함하는 반도체 제조설비
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 진자밸브용 컨트롤러의 전원공급은 별도로 마련된 진자밸브용전원공급부에서 이루어지는반도체 제조설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진자밸브 제어 시스템에서 진자밸브용 컨트롤러가 진자 플레이트의 개방 및 폐쇄 상태를 감지하기 위해 포함하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation진자밸브용 컨트롤러가 진자 플레이트의 개방 및 폐쇄 상태를 감지하기 위해 포함하는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 진자밸브용 컨트롤러가 진자 플레이트의 개방과 폐쇄를 감지하는 구성 요소에 대해 기술하고 있음을 확인한다.
- 상기 진자밸브용 컨트롤러는,상기 진자 플레이트의 개방과 폐쇄를 감지하는 개방센서 및 폐쇄센서; 및상기 개방센서 및 폐쇄센서로부터 전달된 센싱신호를 처리하는 센싱신호 처리부더 포함하는진자밸브 제어 시스템
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '감지'와 직접적으로 관련된 '개방센서', '폐쇄센서', '센싱신호 처리부'를 근거로 선택한다.
- 상기 진자 플레이트의 개방과 폐쇄를 감지하는 개방센서 및 폐쇄센서; 및상기 개방센서 및 폐쇄센서로부터 전달된 센싱신호를 처리하는 센싱신호 처리부
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4논리 통합
logical_integration진자 플레이트의 상태를 감지하기 위해서는 센서(개방센서, 폐쇄센서)가 물리적 상태를 읽고, 이를 처리하는 부품(센싱신호 처리부)이 필요함을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation감지 기능을 수행하는 구성 요소는 개방센서, 폐쇄센서, 그리고 센싱신호 처리부임을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 답변으로 리스트 형식을 사용하여 구성 요소를 나열한다.
최종 답변 (final_answer)
개방센서, 폐쇄센서, 센싱신호 처리부를 포함한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
진자밸브 제어 시스템의 컨트롤러는 센서를 통해 진자 플레이트의 개폐 상태를 감지하고, 해당 센싱 신호를 처리하는 구성을 포함한다.