기판 스피닝 장치 document_id 1020150129054

[청구항 1] 원형 디스크 형상의 기판을 지지하면서 회전시키는 기판 스피닝 장치에 있어서, 기판의 가장자리 일측을 지지하도록 고정 설치되는 고정지지부; 및 상기 고정지지부를 마주하는 상기 기판의 가장자리 다른 일측을 지지하되, 상기 기판에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 제공되는 가동지지부 를 포함하고, 상기 기판에 대한 상기 가동지지부의 이동에 대응하여 상기 가동지지부에 의한 상기 기판의 지지 위치(grip position)를 조절 가능한 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 고정지지부는,상기 기판의 가장자리를 지지하는 제1고정지지체, 및 상기 제1고정지지체로부터 이격되게 배치되어 상기 기판의 다른 가장자리를 지지하는 제2고정지지체를 포함하고,상기 가동지지부는,상기 제1고정지지체를 마주하며 상기 기판에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 제공되어 상기 기판의 가장자리를 지지하는 제1가동지지체, 및 상기 제2고정지지체를 마주하며 상기 기판에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 제공되어 상기 기판의 다른 가장자를 지지하는제2가동지지체포함하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체는 서로 반대 방향으로 이동 가능하게제공되는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 가동지지부는,가압력을 제공하는 가압부재; 및상기 가압부재에 회전 가능하게 힌지 결합되며, 일단은 상기 제1가동지지체에 회전 가능하게 연결되고, 타단은 상기 제2고정지지체에 회전 가능하게 연결되는 연결부재;를 더 포함하고,상기 가압부재에 대한 상기 연결부재에 회전에 대응하여 상기 제1가동지지체 및 상기 제2고정지지체가서로반대방향이동하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 가압부재에 대한 상기 연결부재의 회전이 탄성적으로 이루어질 수 있도록 탄성력을 제공하는탄성부재더포함하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 제1가동지지체 및 상기 제2고정지지체는 서로 동일한 방향을 따라 다른 이동 거리로 이동 가능하게제공되는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 가동지지부는,가압력을 제공하는 가압부재;상기 가압부재에 연결되는 연결부재;상기 제1가동지지체와 상기 연결부재의 일단을 탄성적으로 연결하는 제1탄성연결부; 및상기 제2가동지지체와 상기 연결부재의 타단을 탄성적으로 연결하는 제2탄성연결부;를 더 포함하고,상기 가압부재로부터 상기 연결부재로 전달된 가압력은 상기 제1탄성연결부 및 상기 제2탄성연결부를 거쳐 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체로 전달되고, 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체는 상기 기판에탄성적접촉하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제1탄성연결부 및 상기 제2탄성연결부 중적어도 어느 하나는,상기 연결부재로부터 연장되는 연장부;상기 연장부를 통과하여 상기 제1가동지지체 또는 상기 제2가동지지체에 연결되는 가이드로드;상기 가이드로드의 단부에 결합되는 마감부재; 및상기 마감부재와 상기 연장부의 사이에 배치되도록 상기 가이드로드 상에 제공되는 탄성부재;를 포함하고,상기 연결부재에 가압력이 작용함에 따라 상기 연장부가 상기 탄성부재를 압축하며상기제1가동지지체또는상기제2가동지지체를탄성적이동시키는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 마감부재는 상기 가이드로드 상에서 상기 지지부에 접근 및 이격 가능하게 제공되며,상기 지지부와 상기 마감부재 사이의 거리를 조절하여 상기 제1가동지지체 또는 상기 제2가동지지체에 의한상기기판의지지압력을조절가능한것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 10] 제2항에 있어서,상기 제1고정지지체, 상기 제2고정지지체, 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체 중 일부는 상기 기판을 회전 구동시키기 위한 구동 지지체이고,상기 제1고정지지체, 상기 제2고정지지체, 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체 중 나머지 일부에서 적어도 어느 하나는 상기 기판의 회전에 의해 아이들(idle) 회전하는 아이들러지지체인것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 고정지지부 및 상기 가동지지부는,기둥 형태로 직립 설치되어 회전하는 회전축; 및상기 회전축의 선단에 결합되어 상기 기판의 가장자리가 접촉되는접촉체포함하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 접촉체는 탄성 변형 가능한재질형성된것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 기판에 대한 상기 가동지지부의 이동거리를 측정하는 측정부더포함하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 측정부에서 측정된 측정 결과에 대응하여 상기 접촉체의 마모량을 산출하는마모량산출부더포함하는특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 고정지지부에 의한 상기 기판의 지지 압력은 상기 가동지지부에 의한상기기판의지지압력설정된것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 16] 원형 디스크 형상의 기판을 지지하면서 회전시키는 기판 스피닝 장치에 있어서, 기판의 가장자리를 지지하는 제1고정지지체, 및 상기 제1고정지지체로부터 이격되게 배치되어 상기 기판의 다른 가장자리를 지지하는 제2고정지지체를 포함하는 고정지지부 상기 제1고정지지체를 마주하며 상기 기판에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 제공되어 상기 기판의 가장자리를 지지하는 제1가동지지체, 및 상기 제2고정지지체를 마주하며 상기 기판에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 제공되어 상기 기판의 다른 가장자를 지지하는 제2가동지지체를 포함하며, 상기 기판의 지지 위치(grip position)를 선택적으로 조절 가능하게 제공되는 가동지지부 상기 기판에 대한 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체의 이동거리를 측정하는 측정부; 및 상기 측정부에서 측정된 측정 결과에 대응하여 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체의 마모량을 산출하는 마모량 산출부 를 포함하는 기판 스피닝 장치 [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 제1고정지지체, 상기 제2고정지지체, 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체는 각각 기둥 형태로 직립 설치되어 회전하는 회전축, 및 상기 회전축의 선단에 결합되어 상기 기판의 가장자리가 접촉되는 접촉체를 포함하며,상기 마모량 산출부는 상기 측정부에서 측정된 측정 결과에 대응하여상기접촉체의마모량산출하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 18] 제16항에 있어서,상기 고정지지부에 의한 상기 기판의 지지 압력은 상기 가동지지부에 의한상기기판의지지압력설정된것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 19] 제16항에 있어서,상기 제1고정지지체, 상기 제2고정지지체, 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체 중 일부는 상기 기판을 회전 구동시키기 위한 구동 지지체이고,상기 제1고정지지체, 상기 제2고정지지체, 상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체 중 나머지 일부는 상기 기판의 회전에 의해 아이들(idle) 회전하는 아이들러지지체인것을특징으로 하는기판 스피닝 장치. [청구항 20] 제16항에 있어서,상기 제1가동지지체 및 상기 제2가동지지체는 서로 반대 방향 또는 서로 동일한 방향으로 동시에 이동 가능하게제공되는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.