문맥 (context)
[청구항 1]
다이싱 공정을 통해 개별화된 복수의 다이들을 포함하는 웨이퍼를 지지하기 위한 스테이지 유닛
상기 다이들을 기판 상에 본딩하기 위하여 상기 다이들을 하나씩 픽업하여 이송하는 다이 이송 유닛; 및
상기 다이 이송 유닛에 의해 픽업된 다이의 이송 경로 아래에 배치되며 상기 픽업된 다이의 하부면으로부터 정전기를 제거하기 위한 이오나이저를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 본딩 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 이오나이저는 상기 픽업된 다이의 하부면으로 에어를 분사하기 위한 노즐들이 형성된 본체;상기 노즐들 내부에 각각 배치되어 상기 노즐들로부터 분사되는 에어를 통해 상기 픽업된 다이의 하부면으로 이온을 제공하기 위하여 상기 이온을 발생시키는 전극들; 및상기 본체로 상기 에어를 제공하기 위한에어공급부포함하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 이오나이저는 상기 픽업된 다이의 하부면으로 에어를 분사하기 위한 노즐들이 형성된 본체;상기 본체로 상기 에어를 제공하기 위한 에어 공급부; 및상기 에어 공급부로부터 상기 본체로 공급되는 에어를 통해 이온을 제공하기 위하여 상기 이온을 발생시키는적어도하나의전극포함하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 스테이지 유닛의 일측에 배치되어 상기 픽업된 다이가 놓여지는 다이 스테이지; 및상기 다이 스테이지 상의 다이를 픽업하고 상기 기판이 위치된 본딩 영역으로 상기 다이를 이송하며 상기 다이를 상기 기판 상에 본딩하기 위한다이본딩유닛더포함하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,본딩 유닛에 의해 픽업된 다이의 이송 경로 아래에 배치되며 상기 다이의 하부면으로부터 정전기를 제거하기 위한제2이오나이저더포함하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 스테이지 유닛의 상부에 배치되며 상기 웨이퍼의 상부면으로부터 정전기를 제거하기 위한제3이오나이저더포함하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 제3 이오나이저는 상기 다이 이송 유닛에 의해 다이가 픽업되기 이전에 상기 다이의 상부면으로이온제공하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 요구되는 내용을 항목별 목록으로 제시하라.
질문 (question)
다이 본딩 장치에서 이오나이저가 다이의 하부면으로부터 정전기를 제거하기 위해 구성되는 세부 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation다이 본딩 장치 내에서 다이 하부면의 정전기 제거를 위한 이오나이저를 구성하는 세부 요소들을 추출해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2와 청구항 3에서 이오나이저의 구성 요소에 대한 기술적 내용을 확인한다.
- 상기 이오나이저는 상기 픽업된 다이의 하부면으로 에어를 분사하기 위한 노즐들이 형성된 본체;상기 노즐들 내부에 각각 배치되어 상기 노즐들로부터 분사되는 에어를 통해 상기 픽업된 다이의 하부면으로 이온을 제공하기 위하여 상기 이온을 발생시키는 전극들; 및상기 본체로 상기 에어를 제공하기 위한에어공급부포함하는것을특징으로 하는다이 본딩 장치.
-
3근거 선택
evidence_selection이오나이저의 구성 요소로 명시된 '본체', '전극들', '에어공급부'를 선택한다.
- 노즐들이 형성된 본체; 상기 이온을 발생시키는 전극들; 에어공급부
-
4논리 통합
logical_integration청구항 2와 3의 내용을 종합하여 이오나이저가 노즐이 형성된 본체, 이온을 발생시키는 전극, 에어를 공급하는 에어공급부로 구성됨을 통합한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 이오나이저의 세부 구성 요소를 리스트 형태로 정리한다.
-
6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소들을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
이오나이저의 세부 요소는 상기 픽업된 다이의 하부면으로 에어를 분사하기 위한 노즐들이 형성된 본체, 상기 노즐들로부터 분사되는 에어를 통해 이온을 제공하기 위하여 상기 이온을 발생시키는 전극들, 그리고 상기 본체로 상기 에어를 제공하기 위한 에어공급부이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
다이 본딩 장치에서 다이 하부면의 정전기를 제거하기 위해 노즐이 형성된 본체, 이온 발생 전극, 에어공급부를 포함하는 이오나이저를 구성하여 정전기 방지 기능을 수행함을 의미한다.