처리액 공급 장치 및 처리액 공급 장치의 세정 방법 document_id 1020150148743

[청구항 1] 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서, 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급원과, 상기 처리액 유로 내에서 상기 처리액 공급원쪽의 부위로부터 상기 노즐쪽의 부위를 향해 세정액을 이동시키고, 계속해서 상기 노즐쪽의 부위로부터 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 상기 세정액을 복귀시키는 동작을 행하기 위한 액 이동 기구와, 상기 세정액이 이동하는 유로에 설치되고, 이물을 제거하기 위한 세정용의 필터부와, 상기 세정액 공급원으로부터 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하여, 상기 동작을 행하도록 제어 신호를 출력하는 제어부 를 구비하고, 상기 액 이동 기구는, 상기 세정액이 이동하는 유로에 설치된 탱크와, 이 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 탱크로부터 세정액을 토출하는 가압 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 액 이동 기구는, 상기 유로의 도중에 설치된 중간 탱크와, 이 중간 탱크 내부를 감압하는감압기구구비한것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 3] 처리액 공급원으로부터 처리액 유로 및 노즐을 통해 피처리체에 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치에 있어서, 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급원과, 상기 처리액 유로에 있어서의 상기 노즐쪽의 부위에 일단이 접속되고, 상기 일단으로부터 세정액을 처리액 유로의 상기 처리액 공급원쪽의 부위로 복귀시키기 위해서 처리액 유로에 바이패스하여 형성된 순환로와, 상기 세정액을 상기 순환로를 통해 순환시키기 위한 액 이동 기구와, 상기 세정액이 이동하는 유로에 설치되고, 이물을 제거하기 위한 세정용의 필터부와, 상기 세정액 공급원으로부터 상기 처리액 유로 내에 세정액을 공급하고, 상기 액 이동 기구가 세정액의 이동을 위한 동작을 행하도록 제어 신호를 출력하는 제어부 를 구비하며, 상기 액 이동 기구는, 세정액 탱크와, 이 세정액 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 세정액 탱크로부터 세정액을 토출시키는 가압 기구와, 상기 세정액 탱크로부터 토출한 세정액이 유로를 통해 보내지는 중간 탱크와, 이 중간 탱크 내의 액면을 가압하여 상기 중간 탱크로부터 세정액을 처리액 유로를 통해 상기 순환로의 일단측을 향해 토출시키고, 상기 순환로의 일단측으로부터 상기 세정액 탱크로 복귀시키기 위한 가압 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치 [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 처리액 유로는 복수 개 형성되고,상기 순환로의 일단측이 복수로 분기되며, 각 처리액 유로마다, 분기된 순환로의 각 분기로가 접속되고,상기 세정용의 필터부는, 상기 순환로에 있어서의 일단측의 상기 분기로의 분기점보다타단측설치되는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 5] 제3항 또는 제4항에 있어서,상기 순환로는 상기 처리액 공급로에 대해 착탈 가능하게구성되는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 순환로의 일단측은, 2개로 분기되고, 분기된 한쪽의 분기로와 다른쪽의 분기로가, 처리액 공급로를 접촉 및 분리 가능하게 분단한 분단단(分斷端)에 착탈할 수구성되는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 7] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 필터부의 상류측 및 하류측에 각각 설치된 제1 밸브 및 펌프와,상기 제1 밸브의 상류측에 그 일단측이 접속되고 상기 펌프에 그 타단측이 접속되며, 상기 필터부를 바이패스하고 제2 밸브가 설치되어 있는 바이패스로를 구비하며,상기 제어부는, 상기 제1 밸브를 개방하고, 제2 밸브를 폐쇄한 상태에서, 세정액을 상기 필터부를 통해 상기 펌프 내에 빨아들이고, 계속해서 상기 제1 밸브를 폐쇄하고, 제2 밸브를 개방한 상태에서, 상기 펌프로부터 세정액을 바이패스로측으로 토출하도록제어신호출력하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 8] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어부는, 액 이동 기구에 의해 상기 동작이 행해지고 있을 때에, 세정액의 유로에 설치된 밸브를, 상기 밸브로부터의 발진(發塵)을 촉진시키기 위해서 복수 회 온/오프시키도록제어신호출력하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치.