문맥 (context)
[청구항 1]
다이들을 본딩하기 위한 기판을 지지하고, 진공압을 이용하여 상기 기판의 하면을 흡착하는 기판 지지부재
상기 기판 지지부재의 상측에 배치되고, 상기 기판 상의 이물질을 제거하기 위해 상기 기판에 클리 닝 가스를 분사하는 가스 분사부; 및
상기 기판 지지부재의 상측에서 상기 가스 분사부의 반대편 측에 배치되고, 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판으로부터 분리된 상기 이물질을 흡입하여 외부로 배출하기 위한 흡입구가 형성 석션부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 세정 모듈
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 가스 분사부는 상기 기판의 일측에 배치되고 상기 클리닝 가스를 상기 기판의 상면과 평행한 방향으로 수평 분사하며,상기 석션부는 상기 기판의 타측에 배치되어 상기 가스 분사부와 마주하게 배치되고 상기 가스 분사부와 마주하는 면에상기흡입구형성된것을특징으로 하는기판 세정 모듈.
[청구항 3]
제1항에 있어서,션부에 결합되어 상기 흡입구와 연통되고 상기 이물질을 외부로 배출하기 위한 배기 덕트를 더 포함하고,상기 석션부는 서로 반대편에 배치되어 상기 기판에 대해 예각을 이루도록 경사진 제1 및 제2 측벽들을 구비하고, 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고,상기가스분사부결합하는것을특징으로 하는기판 세정 모듈.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 가스 분사부와 상기 석션부를 수직 방향으로 이동시키기 위한수직구동부더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 모듈.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 가스 분사부에 결합되고 상기 클리닝 가스를 이온화하기 위한 이오나이져더포함하는것을특징으로 하는기판 세정 모듈.
[청구항 6]
다이들을 본딩하기 위한 기판의 양측 부위를 지지하는 이송 레일들
상기 기판을 파지하기 위한 그리퍼
상기 이송 레일들을 따라 상기 그리퍼를 이동시키기 위한 수평 구동부; 및
상기 이송 레일들 상에 배치된 상기 기판을 세정하기 위한 기판 세정 모듈을 포함하고,
상기 기판 세정 모듈은,
상기 이송 레일들 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하고, 진공압을 이용하여 상기 기판의 하면을 흡착하는 기판 지지부재
상기 기판 지지부재의 상측에 배치되고, 상기 기판 상의 이물질을 제거하기 위해 상기 기판에 클리 닝 가스를 분사하는 가스 분사부; 및
상기 기판 지지부재의 상측에서 상기 가스 분사부의 반대편 측에 배치되고, 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판으로부터 분리된 상기 이물질을 흡입하여 외부로 배출하기 위한 흡입구가 형성 석션부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 가스 분사부는 상기 이송 레일들 중 어느 하나의 상측에 배치되고 상기 클리닝 가스를 상기 기판의 상면과 평행한 방향으로 수평 분사하며,상기 석션부는 상기 이송 레일들 중 나머지 하나의 상측에 배치되어 상기 가스 분사부와 마주하게 배치되고 상기 가스 분사부와 마주하는 면에상기흡입구형성된것을특징으로 하는기판 이송 장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,상기 기판 세정 모듈은, 상기 석션부에 결합되어 상기 흡입구와 연통되고 상기 이물질을 외부로 배출하기 위한 배기 덕트를 더 포함하고,상기 석션부는 서로 반대편에 배치되어 상기 기판에 대해 예각을 이루도록 경사진 제1 및 제2 측벽들을 구비하고, 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고,상기가스분사부결합하는것을특징으로 하는기판 이송 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 세정 모듈에서 석션부가 형성하는 세정 공간의 구조적 특징과, 제1 측벽 및 제2 측벽이 각각 수행하는 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation석션부가 형성하는 세정 공간의 구조적 특징과 제1 측벽 및 제2 측벽의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3 및 8에서 석션부의 형상, 세정 공간의 구조, 각 측벽의 구성 요소를 추출한다.
- 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고
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3근거 선택
evidence_selection세정 공간의 구조(하부가 개구된 박스 형상)와 제1 측벽(배기 덕트 연결 및 흡입구 보유), 제2 측벽(가스 유입구 보유)에 관한 구절을 선택한다.
- 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고
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4논리 통합
logical_integration석션부는 하부가 개구된 박스 형태로서 세정 공간을 만들며, 제1 측벽은 흡입 및 배기를 담당하고 제2 측벽은 가스 유입을 담당함을 통합한다.
- 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 구조적 특징과 각 측벽의 역할을 정리하여 답변을 구성한다.
- 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고
-
6답변 생성
answer_generation최종 답변을 구조화된 형식으로 작성한다.
- 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 상기 클리닝 가스에 의해 상기 기판의 세정이 수행되는 세정 공간을 형성하며,상기 제1 측벽은 상기 배기 덕트와 연결되고 상기 흡입구를 가지며,상기 제2 측벽은 상기 가스 분사부로부터 상기 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 갖고
최종 답변 (final_answer)
1. 세정 공간의 구조적 특징: 하부가 개구된 박스 형상으로 이루어져 클리닝 가스에 의해 기판의 세정이 수행되는 공간을 형성한다.
2. 제1 측벽의 역할: 배기 덕트와 연결되며 흡입구를 가진다.
3. 제2 측벽의 역할: 가스 분사부로부터 클리닝 가스가 유입되는 가스 유입구를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
석션부가 하부가 개구된 박스 구조를 통해 세정 공간을 형성하고, 경사진 제1 및 제2 측벽을 통해 가스 유입과 이물질 흡입/배기를 효율적으로 수행하는 구조를 가진다.