처리 챔버, 처리 챔버와 로드락의 조합 및 기판 처리 시스템 document_id 1020150173056

[청구항 1] 메인 프레임과 로드락(loadlock)을 가진 반도체 처리시스템에서 기판을 처리하기 위한 처리 챔버에 있어서, 내부에 처리 구역을 구획하고, 챔버 본체를 로드락의 측벽에 부착시키기 위한 부착 메커니즘을 가진 챔버 본체 상기 처리 구역과 상기 메인 프레임 사이에서 기판을 전송하도록 구성된 제1 포트 상기 처리 구역과 상기 로드락 사이에서 기판을 전송하도록 구성된 제2 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리 챔버 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 제1 포트에 마련된게이트 밸브더구비하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 제2 포트에 마련된게이트 밸브더구비하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 처리 챔버는플라즈마 애플리케이터및가스전송기구포함하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 챔버 본체는상기로드락과측벽공유하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 챔버 본체는상기로드락과통합되게형성된것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 로드락은 파티션에 의해 분리된 탑(top) 부분과 바닥 부분을 포함하고, 상기 탑 부분과 상기 바닥 부분 중의 어느 하나에 위치된로봇더구비하는것을특징으로 하는처리 챔버. [청구항 8] 메인 프레임과 대기환경 프런트 엔드를 가진 반도체 처리 시스템에서 기판을 처리하기 위한 처리 챔버와 로드락의 조합에 있어서, 프런트(front) 면에 있고 상기 로드락과 상기 프런트 엔드 사이에서 기판을 전송하도록 구성된 프런트 포트, 및 리어(rear) 면에 있고 상기 로드락과 상기 메인 프레임 사이에서 기판을 전송하도록 구성된 리어 포트를 포함하는 로드락 챔버 내부에서 처리 구역을 구획하고, 상기 프런트 면과 상기 리어 면 사이에서 상기 로드락 챔버의 제1측에 인접하고, 상기 처리 구역과 상기 로딩락 사이에서 기판을 전송하도록 구성된 로딩 포트를 더 포함하는 처리 챔버를 구비하는 것을 특징으로 하는 로드락의 조합 [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 제1측에 반대되는 로드락 챔버의 제2측에 인접하는 제2 처리 챔버를 더 포함하고, 상기 제2 처리 챔버와 로드락 사이에서 기판을 전송도록 구성된로딩포트가진것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 처리 챔버, 제2 처리 챔버 및 상기 로드락이일체형성된것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 11] 청구항 9에 있어서,상기 제2 처리 챔버와 로드락은 단일 금속 덩어리로 형성된단일체제작되는것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 12] 청구항 9에 있어서,상기 처리 챔버와 제2 처리 챔버는각각플라즈마 애플리케이터구비하는것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 13] 청구항 9에 있어서,상기 처리 챔버와 제2 처리 챔버의 각각의 로딩 포트는게이트 밸브포함하는것을특징으로 하는처리 챔버와 로딩락의 조합. [청구항 14] 청구항 9에 있어서,상기 로드락은 상기 로드락과 상기 처리 챔버 및 상기 제2 처리 챔버 사이에서 기판 교환을 위해 구성된로딩로봇더구비하는것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 15] 청구항 9에 있어서,상기 로드락은 탑 부분과 바닥 부분을 포함하고, 상기 탑 부분과 상기 바닥 부분 중의 어느 하나에 위치된로딩로봇더포함하는것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 16] 청구항 13에 있어서,상기 로드락은 탑 부분과 바닥 부분을 포함하고, 상기 게이트 밸브는 상기 탑 부분과 상기 바닥 부분 중의 어느 하나만을 향해열리는것을특징으로 하는처리 챔버와 로드락의 조합. [청구항 17] 기판 처리 시스템에 있어서, 기판을 접수 및 수용하도록 구성된 대기환경 프런트 엔드 메인 프레임 로봇을 포함하고 진공환경이 유지되도록 구성된 메인 프레임 상기 메인 프레임에 연결되고, 각각 메인 로봇을 사용하여 상기 메인 프레임과 메인 처리 챔버 사이에서 기판을 교환하도록 구성된 다수의 메인 처리 챔버들 상기 프런트 엔드에 연결된 프런트 면 및 상기 메인 프레임에 연결된 리어 면을 포함하고, 상기 프런트 면은 프런트 포트를 가지고, 리어 면은 리어 포트를 가진 로드락 챔버; 및 상기 프런트 면과 상기 리어 면 사이에서 상기 로드락의 일측에 부착된 보조 처리 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템 [청구항 18] 청구항 17에 있어서,로드락의 제2 측에 부착된제2보조처리챔버더구비하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 19] 제17항에 있어서,상기 보조 처리 챔버는 상기 로드락의 측면에 대응하는 포트를 더 포함하고, 상기 포트는 상기 보조 처리 챔버와 상기 로드락 사이에서 기판의 교환을 위해구성된것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 로드락 내에 수납된제2로봇구비하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 21] 청구항 17에 있어서,상기 보조 처리 챔버는 상기 메인 프레임에 대응하는 포트를 포함하고, 상기 포트는 상기 보조 처리 챔버와 메인 프레임 사이에서 기판의 교환을 위해구성된것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 22] 청구항 18에 있어서,상기 보조 처리 챔버, 제2 보조 처리 챔버 및 로드락은 단일 금속체로 형성된단일체위가공된것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 23] 청구항 17에 있어서,상기 보조 처리 챔버에 결합된플라즈마 애플리케이터더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 24] 청구항 17에 있어서,상기 로드락은 탑 부분과 바닥 부분을 포함하고, 상기 탑 부분과 상기 바닥 부분 중의 어느 하나에 위치된로딩로봇더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 시스템. [청구항 25] 청구항 19에 있어서,상기 로드락은 탑 부분과 바닥 부분을 포함하고, 상기 포트는 상기 탑 부분과 상기 바닥 부분 중의 어느 하나만 향해열리는것을특징으로 하는기판 처리 시스템.