문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 플라즈마 실드부는, 상기 플라즈마 형성 영역 측에서 본 윤곽 형상이 곡선이루어지는열처리 장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 플라즈마 실드부는, 상기 플라즈마 형성 영역에 대향하는 면평탄한열처리 장치.
[청구항 4]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 플라즈마 실드부는, 상기 적재 영역설치되어 있는열처리 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 온도 측정단은 상기 플라즈마 실드부에 접촉해서 설치되고, 상기 플라즈마 실드부를 통하여 상기 회전 테이블의 온도측정하는열처리 장치.
[청구항 6]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 회전 테이블을 회전시키는 회전축을 더 포함하고, 상기 전기 신호는 상기 회전축 내에 배선된 신호선을 통하여 외부출력되는열처리 장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 회전축에는, 외부의 수신부에 대하여, 무선 통신에 의해 상기 전기 신호를 송신하기 위한 송신부설치되어 있는열처리 장치.
[청구항 8]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 회전 테이블을 회전시켰을 때, 상기 플라즈마 형성 영역에 대한 상기 온도 측정단의 위치를 검출하는 위치 검출부와,상기 위치 검출부에 의해 검출된 상기 온도 측정단의 위치가 상기 플라즈마 형성 영역 밖에 있는 기간 중에 출력된 상기 전기 신호에만 기초하여 상기 회전 테이블의 온도를 파악하여, 상기 가열부의 출력을 증감하는 가열 제어부더 포함하는열처리 장치.
[청구항 9]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 가열부의 출력을 증감하는 가열 제어부를 더 포함하고, 상기 가열 제어부는, 상기 온도 측정단을 사용해서 파악한 회전 테이블의 온도와, 미리 정한 회전 테이블의 설정 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부의 출력증감하는열처리 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 가열부는, 상기 회전 테이블의 하방측에 배치되고, 열방사에 의해 상기 회전 테이블의 가열을 행하고, 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 온도를 측정하는 가열부 온도계를 포함하고,상기 가열 제어부는, 상기 온도 측정단을 사용해서 파악한 회전 테이블의 온도와, 상기 미리 정한 회전 테이블의 설정 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 목표 온도를 구하고, 상기 가열부 온도계로 측정된 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 측정 온도와, 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 목표 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부의 출력을 증감하는 캐스케이드 제어행하는열처리 장치.
[청구항 11]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 적재 영역은, 상기 회전 테이블의 회전 방향으로 서로 간격을 두고 복수 배치되고, 상기 온도 측정단은 상기 회전 테이블의 온도를 측정하기 위해서 상기 복수의 적재 영역의 일부에 설치되고,상기 플라즈마 실드부는, 상기 온도 측정단이 설치된 적재 영역설치되어 있는열처리 장치.
[청구항 12]
제11항에 있어서,상기 플라즈마 실드부를 구성하는 도전체는, 플라즈마의 조사에 의해 발열되고, 상기 온도 측정단이 설치되어 있지 않은 나머지의 적재 영역도 플라즈마의 조사에 의해 발열되는도전체로덮여있는열처리 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열처리 장치에서 가열 제어부가 가열부의 출력을 증감시키기 위해 수행하는 캐스케이드 제어의 구체적인 단계와 기준은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열처리 장치의 가열 제어부가 수행하는 캐스케이드 제어의 구체적인 단계와 기준을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 가열 제어부의 캐스케이드 제어 방식과 관련된 온도 측정 및 차분값 계산 과정을 추출한다.
- 상기 가열 제어부는, 상기 온도 측정단을 사용해서 파악한 회전 테이블의 온도와, 상기 미리 정한 회전 테이블의 설정 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 목표 온도를 구하고, 상기 가열부 온도계로 측정된 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 측정 온도와, 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 목표 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부의 출력을 증감하는 캐스케이드 제어
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3근거 선택
evidence_selection캐스케이드 제어의 1단계(목표 온도 산출)와 2단계(출력 증감)를 설명하는 구절을 선택한다.
- 상기 온도 측정단을 사용해서 파악한 회전 테이블의 온도와, 상기 미리 정한 회전 테이블의 설정 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 목표 온도를 구하고, 상기 가열부 온도계로 측정된 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 측정 온도와, 상기 가열부가 배치되어 있는 영역의 목표 온도와의 차분값에 기초하여 상기 가열부의 출력을 증감하는
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4논리 통합
logical_integration먼저 회전 테이블의 온도와 설정 온도 차이를 통해 가열부 영역의 목표 온도를 결정하고, 이후 가열부 영역의 실제 측정 온도와 이 목표 온도 사이의 차이를 기준으로 출력을 조절하는 이중 루프 구조임을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation캐스케이드 제어는 회전 테이블의 온도 편차를 이용한 목표 온도 설정 단계와, 가열부 영역의 온도 편차를 이용한 출력 제어 단계로 구성됨을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 답변하기 위해 추출된 단계와 기준을 논리적으로 기술한다.
최종 답변 (final_answer)
가열 제어부의 캐스케이드 제어는 다음과 같은 단계와 기준을 통해 수행된다. 첫째, 온도 측정단으로 파악한 회전 테이블의 온도와 미리 정해진 회전 테이블의 설정 온도 사이의 차분값을 기준으로, 가열부가 배치된 영역의 목표 온도를 산출한다. 둘째, 가열부 온도계로 측정된 가열부 영역의 실제 측정 온도와 앞서 산출된 목표 온도 사이의 차분값을 기준으로 가열부의 출력을 증감시킨다.
핵심 해석 (core_interpretation)
회전 테이블의 온도 편차를 통해 가열부 영역의 목표 온도를 먼저 결정하고, 다시 가열부 영역의 실제 온도와 목표 온도 간의 편차를 이용해 출력을 제어하는 이중 루프(Cascade) 제어 기술에 관한 것이다.