문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 스캐너 자동 얼라인 유닛은,상기 다수의 스캐너가 개별 동작되도록 상기 다수의 스캐너에각각개별적연결되는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 상대위치를 감지하는 감지부; 및상기 감지부의 정보에 기초하여 상기 스캐너 자동 얼라인 유닛이 실시간으로 자동 동작되도록 컨트롤하는컨트롤러더포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 스캐너 자동 얼라인 유닛은,상기 스캐너를 지지하는 스캐너 지지부;상기 스캐너 지지부를 받치는 받침 플레이트; 및상기 받침 플레이트에 연결되며, 상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 워킹 디스턴스(working distance) 조절을 위하여 상기 받침 플레이트와 상기 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운구동부포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 업/다운 구동부는,업/다운(up/down) 구동을 위한 동력을 발생시키는 업/다운용 액추에이터; 및상기 업/다운용 액추에이터의 동작에 의해 상기 받침 플레이트와 상기 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는슬라이딩블록포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 스캐너 자동 얼라인 유닛은,상기 스캐너 지지부와 상기 받침 플레이트에 결합되며, 상기 받침 플레이트에 대한 상기 스캐너 지지부의 틸팅축을 형성하는 틸팅 샤프트; 및상기 틸팅 샤프트를 기준으로 상기 틸팅 샤프트의 양측에 배치되며, 상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 각도 조절을 위하여 해당 위치에서 동작되면서 상기 스캐너 지지부를 틸팅시키는 제1및제2틸팅용액추에이터포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 틸팅 샤프트는 상기 스캐너 지지부와 상기 받침 플레이트의 코너(corner) 영역에 배치되며,상기 제1 및 제2 틸팅용 액추에이터는 상기 틸팅 샤프트와 이웃된 위치의 상기 스캐너 지지부의 각 변에 배치되되 상기 틸팅 샤프트와함께3점지지구조형성하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 8]
제6항에 있어서,상기제1 및 제2 틸팅용 액추에이터 모두는 본체와 로드를 포함하되,상기 본체는 상기 스캐너 지지부에 배치되고, 상기 로드는 상기 스캐너 지지부를 통과하여상기받침플레이트배치되는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 9]
제6항에 있어서,상기 스캐너 자동 얼라인 유닛은,상기 스캐너 지지부와 상기 받침 플레이트에 결합되되 상기 받침 플레이트에 대하여 상기 스캐너 지지부를 탄성적으로 지지하는탄성지지부더포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 탄성 지지부는,축부와 헤드부를 구비하는 탄성 지지용 볼트;상기 스캐너 지지부 영역에서 상기 탄성 지지용 볼트의 축부에 결합되는 탄성부재; 및상기 받침 플레이트에 마련되어 상기 축부의 단부를 지지하는볼트지지대포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 탄성 지지부는,상기틸팅샤프트의양측배치되는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 12]
제4항에 있어서,상기 스캐너 지지부는,상기 스캐너를 부분적으로 감싸면서 보호하는 스캐너 보호대; 및상기 스캐너 보호대의 밑면을 형성하는보호대플레이트포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 13]
제1항에 있어서,상기 레이저 모듈은,상기 레이저 빔을 발진시키는 레이저 빔 발진기;상기 레이저 빔 발진기에 이웃하게 배치되어 상기 레이저 빔의 세기, 발산 정도를 제어하여 상기 스캐너로 전송하는 빔 익스팬더(beam expander); 및상기 레이저 빔 발진기, 상기 빔 익스팬더 및 상기 스캐너를 지지하는모듈베이스포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 14]
제1항에 있어서,상기 진공 챔버 내에 마련되며, 상기 에칭 공정 시 상기 기판에서 분리되는 파티클을 포집하는 파티클 포집유닛을 더 포함하며,상기 파티클 포집유닛은,상부가 개구되고 내부에 수용공간이 형성되는 박스모듈; 및상기 박스모듈에 지지되고 상기 수용공간에 배치되며, 상기 파티클이 충돌되는배플모듈포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
[청구항 15]
제1항에 있어서,상기 파티클 적재 방지용 가스 분사유닛과 상기 챔버 윈도우 사이에 배치되어 상기 에칭 공정 시 상기 기판에서 발생되는 파티클(particle)이 낙하되어 적재되는 보호 윈도우를 구비하며, 상기 보호 윈도우를 슬라이딩 이동시키는보호 윈도우슬라이딩유닛더포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
하향식 기판 레이저 에칭 장치의 스캐너 자동 얼라인 유닛 구성 요소 중, 기판의 레이저 가공영역에 대한 스캐너들의 워킹 디스턴스(working distance)를 조절하기 위해 받침 플레이트와 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 구성은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스캐너 자동 얼라인 유닛 내에서 워킹 디스턴스 조절을 위해 받침 플레이트와 스캐너 지지부를 업/다운 구동시키는 구성 요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 스캐너 자동 얼라인 유닛의 구성 요소 중 워킹 디스턴스 조절을 위해 받침 플레이트와 스캐너 지지부를 업/다운 구동시키는 구성이 언급되어 있다.
- 상기 받침 플레이트에 연결되며, 상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 워킹 디스턴스(working distance) 조절을 위하여 상기 받침 플레이트와 상기 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운구동부포함하는것을특징으로 하는하향식 기판 레이저 에칭 장치
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 기능(워킹 디스턴스 조절을 위한 업/다운 구동)과 직접적으로 대응하는 '업/다운구동부' 구절을 선택한다.
- 상기 받침 플레이트에 연결되며, 상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 워킹 디스턴스(working distance) 조절을 위하여 상기 받침 플레이트와 상기 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운구동부
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4논리 통합
logical_integration청구항 4의 문맥을 통해, 워킹 디스턴스 조절이라는 목적을 달성하기 위해 받침 플레이트와 스캐너 지지부를 상하로 움직이는 주체는 '업/다운구동부'임을 확인할 수 있다.
- 상기 받침 플레이트에 연결되며, 상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 워킹 디스턴스(working distance) 조절을 위하여 상기 받침 플레이트와 상기 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운구동부
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '업/다운구동부'를 도출한다.
- 상기 받침 플레이트에 연결되며, 상기 기판의 레이저 가공영역에 대한 상기 스캐너들의 워킹 디스턴스(working distance) 조절을 위하여 상기 받침 플레이트와 상기 스캐너 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운구동부
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어인 '업/다운구동부'를 최종 답변으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
업/다운구동부
핵심 해석 (core_interpretation)
스캐너 자동 얼라인 유닛 내에서 워킹 디스턴스를 정밀하게 조절하기 위해 받침 플레이트와 스캐너 지지부를 수직 방향(up/down)으로 구동시키는 업/다운구동부의 구성을 정의하고 있다.