대칭적 유동 챔버와 대칭적 유도 결합된 플라즈마 소스 document_id 1020157004228

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 챔버 본체를 통해 상기 중심 영역 내로 방사상으로 연장하는 복수의 중공형 액세스 스트럿(hollow access strut)들 및 상기 복수의 중공형 액세스 스트럿들 중 개별 스트럿들을 통해 연장하는 개별 유틸리티 라인들(utility lines)을 더 포함하고, 상기 복수의 배출 통로들은 대칭 축(axis of symmetry)에 대해 대칭적으로 분포되며, 상기 복수의 중공형 액세스 스트럿들 중 인접하는 중공형 액세스 스트럿들 사이위치되는플라즈마 반응기. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 챔버 본체 벽으로부터 격납 벽(containment wall)으로 방사상으로 연장하는 챔버 본체 라이너를 더 포함하고, 상기 챔버 본체 라이너는 상기 프로세싱 영역과 상기 복수의 액세스 스트럿들 사이에 배치된 가스 유동 그리드포함하는플라즈마 반응기. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 천장은 상기 내측 코일 안테나 및 상기 중간 코일 안테나를 대면하는 디스크 형상 유전체 윈도우를 포함하고; 그리고상기 측벽은 상기 외측 코일 안테나를 대면하는 원통형 유전체 윈도우포함하는플라즈마 반응기. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 내측 코일 안테나를 둘러싸고, 상기 측벽과 동축인 원통형 부분을 포함하는, 상기 내측 코일 안테나와 상기 중간 코일 안테나 사이의 접지된 전도성 실드더 포함하는플라즈마 반응기. [청구항 7] 제 4 항에 있어서,상기 내측 코일 안테나, 상기 중간 코일 안테나, 또는 상기 외측 코일 안테나 중 각각의 안테나는 상기 측벽의 축을 중심으로 나선형 형상으로 권취된 복수의 전도체 세그먼트들을 포함하고, 상기 전도체 세그먼트들의 각각은 전체 원(full circle)보다 짧은 제 1 호 길이를 갖고, 상기 전도체 세그먼트들 중 연속적인 세그먼트들은 축방향을 따라 서로로부터 오프셋되며, 상기 제 1 호 길이를 초과하지 않는 제 2 호 길이만큼 원주 방향을 따라 서로오프셋되는플라즈마 반응기. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,복수의 rf 전력 소스들;상기 내측 코일 안테나, 상기 중간 코일 안테나 및 상기 외측 코일 안테나들 중 개별 안테나들과 상기 복수의 전력 소스들 중 개별 전력 소스들 사이에 결합되는 복수의 전류 분배기들을 더 포함하고, 상기 전류 분배기들 중 각각의 분배기는 대칭 축과 동축인 전도성 표면을 포함하고, 상기 전도성 표면은 (a) 상기 복수의 rf 전력 소스들 중 개별 rf 전력 소스에 결합되는 수용부 및 (b) 상기 복수의 코일 안테나들 중 개별 코일 안테나에 결합되는 제 1 원형 에지갖는플라즈마 반응기. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 코일 안테나들 중 각각의 코일 안테나는 상기 대칭 축을 중심으로 나선형으로 권취된 복수의 전도체들을 포함하고, 상기 복수의 전도체들의 각각은 공급 단부 및 접지 단부를 가지며, 상기 전류 분배기들의 각각의 전류 분배기의 상기 제 1 원형 에지는 상기 제 1 원형 에지를 따라 이격된(spaced-apart) 위치들에서 개별 코일 안테나의 공급 단부들연결되는플라즈마 반응기. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 유전체 윈도우들 중 제 1 유전체 윈도우는 디스크 형상 유전체 윈도우를 포함하고, 상기 유전체 윈도우들 중 제 2 유전체 윈도우는 상기 디스크 형상 유전체 윈도우의 평면 아래의 원통형 유전체 윈도우포함하는플라즈마 반응기. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 금속성 부분은상기 원통형 유전체 윈도우를 둘러싸는 원통형 챔버 본체 벽, 및환형 상단 가스 플레이트 ― 상기 환형 상단 가스 플레이트는 상기 챔버 본체 벽 상에 지지되는 주변부 및 상기 환형 상단 가스 플레이트를 통과하는 중심 개구를 포함함 ― 를 포함하고,상기 디스크 형상 유전체 윈도우는 상기 중심 개구의 에지 상에 지지되는 원형 에지부를 포함하고, 상기 디스크 형상 유전체 윈도우는 상기 상단 가스 플레이트의 상기 중심 개구 위현수되는(suspended)플라즈마 반응기. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 디스크 형상 유전체 윈도우 상의 제 1 히터 층을 더 포함하고, 상기 제 1 히터 층은 방사상 외측 부분 및 상기 방사상 외측 부분으로부터 방사상 내측으로 연장하는 복수의 핑거들포함하는플라즈마 반응기. [청구항 14] 제 10 항에 있어서,상기 대칭 축과 동축이고, 상기 코일 안테나들의 인접하는 쌍 사이에 위치되며, 상기 디스크 형상 유전체 윈도우의 내측 방사상 부분을 대면하는 원통형 실드,상기 디스크 형상 유전체 윈도우의 표면을 가로질러 연장하며 그리고 상기 원통형 실드의 내부를 통과하는 중심 기류 경로 내의 상단 팬 플리넘(top fan plenum), 및상기 상단 팬 플리넘에 결합되는 복수의 흡입 팬들더 포함하는플라즈마 반응기. [청구항 15] 제 10 항에 있어서,상기 복수의 동심 코일 안테나들에 결합되며 복수의 전도성 레그(leg)들을 포함하는 rf 전력 피드 조립체(rf power feed assembly);방사상으로 연장하며, 상기 레그들 중 개별 레그들이 통과하여 연장하는 개구들을 가지는 접지 플레이트 ― 상기 접지 플레이트는 상기 복수의 전도성 레그들 중 적어도 일부가 비대칭적으로 분포되는 상부 영역과 상기 레그들 중 상기 개별 레그들이 상기 대칭 축에 대해 대칭적으로 분포되는 하부 영역 사이에경계제공함더 포함하는플라즈마 반응기.