유도 가열 장치 document_id 1020157028896

[청구항 1] 반응 챔버를 한정하는 서셉터(susceptor) 하우징과 상기 서셉터 사이에 한정된 공극 공간(void space)을 갖도록 상기 반응 챔버에 대향하게 상기 서셉터로부터 이격되고, 포트(port)를 한정하는 하우징(housing) 상기 포트를 통해서 연장되고, 전류를 전도하여 상기 서셉터를 유도 가열함으로써 상기 반응 챔버를 목적하는 온도로 가열하는 자기장을 생성하기 위해서 상기 공극 공간 내에 배치된 유도 코일 금속 재료를 포함하고, 플랜지(flange)를 통해서 연장된 상기 유도 코일을 갖는 상기 포트를 밀봉하기 위해서 상기 포트에서 상기 하우징에 커플링된 플랜지; 및 상기 플랜지와 상기 하우징 사이에 배치되어 전류가 상기 하우징으로 통과하는 것을 방지하는 분리기(isolator)를 포함하는 유도 가열 장치(induction heating apparatus) [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 반응 챔버 내의 공정 기체가 상기 공극 공간으로 누출되는 것을 방지하기 위해서 상기 공극 공간 내에 배치된 블랭킷 기체(blanket gas)를 추가포함하는유도 가열 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 블랭킷 기체를 상기 가공 기체로부터 분리하고, 상기 공정 기체가 상기 유도 코일을 접촉하는 것을 방지하기 위해서 상기 서셉터와 상기 유도 코일을 분리하는 차단 벽(barrier wall)을 추가포함하는유도 가열 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 차단 벽이 흑연, 탄화규소, 금속 규화물, 세라믹, 탄소 섬유, 탄소 복합물, 가요성(flexible) 흑연, 금속 포일, 석영 및 그의 조합의 군으로부터 선택된 재료포함하는유도 가열 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 블랭킷 기체가 할로-수소, 할로-규소 또는 할로-수소-규소재료인유도 가열 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 블랭킷 기체가 사염화규소, 염화수소, 브로모실란, 사불화규소 및 그의 조합의 군선택되는유도 가열 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 플랜지가 약 0 내지 약 500℃의 작동 온도갖는유도 가열 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 플랜지가 상기 하우징 내에서 상기 포트를 밀봉하여 상기 반응 챔버 및 상기 공극 공간이 상기 하우징 외부의 대기압과 같거나 또는 대기압과 상이한 작동 압력갖는유도 가열 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 공극 공간 내의 상기 가동 압력이 약 - 15 내지인유도 가열 장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 유도 코일이 상기 유도 코일을 냉각하기 위해서 냉각 매질을 순환시키기 위한 내부 통로한정하는유도 가열 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 냉각 매질이 유기 열 전달 유체 및/또는 실리콘계 열 전달 유체포함하는유도 가열 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 냉각 매질이 알킬계 유체, 페닐계 유체 및 실리콘계 유체 및 그의 조합의 군선택되는유도 가열 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,상기 포트를 통해서 연장된 상기 유도 코일의 일부가 제1 슬리브(sleeve)로서 추가로 한정되고, 상기 플랜지가 상기 제1 슬리브 주위에 배치된 제2 슬리브를 포함하여 복귀 경로가 상기 제1 슬리브와 상기 제2 슬리브 사이한정된유도 가열 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 유도 코일이 상기 제1 슬리브 및 상기 제2 슬리브에 커플링되어 상기 냉각 매질이 상기 제1 슬리브, 상기 유도 코일 및 상기 복귀 경로를 통해서 유동하여 상기 유도 가열 장치빠져나가는유도 가열 장치. [청구항 15] 제13항에 있어서,상기 플랜지가 상기 제1 슬리브 및 상기 제2 슬리브를 밀봉하고, 상기 제2 슬리브를 통과하는 상기 복귀 경로를 추가로 한정하기 위해서 복수의 밀봉 이음 고리(sealing collar)를 추가포함하는유도 가열 장치. [청구항 16] 제13항에 있어서,상기 제1 슬리브 및 상기 제2 슬리브가 상기 유도 코일통합된유도 가열 장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,제1 재료가 상기 유도 코일 상에 배치되고, 상기 유도 코일을 보호하기 위해서 제2 재료가 상기 제1 재료 상배치된유도 가열 장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 제1 재료가 니켈, 백금, 로듐, 루테늄, 은 및 그의 조합의 군선택되는유도 가열 장치. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 제2 재료가 불소 함유 중합체포함하는유도 가열 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 불소 함유 중합체가 ptfe, etfe, 클로로-플루오로중합체, 및 그의 조합의 군선택되는유도 가열 장치. [청구항 21] 제17항에 있어서,상기 제1 재료가 니켈이고, 상기 제2 재료가 불소 함유중합체인유도 가열 장치. [청구항 22] 제1항에 있어서,상기 플랜지가 상기 하우징의 외면커플링된유도 가열 장치. [청구항 23] 제1항에 있어서,상기 플랜지가 상기 하우징의 내면커플링된유도 가열 장치. [청구항 24] 제1항에 있어서,상기 분리기가 질화규소, 알루미나, 지르코니아, peek, nema 그레이드(grade) g-9, 또는 nema 그레이드 g-11, 및 그의 조합의 군으로부터 선택된 재료포함하는유도 가열 장치. [청구항 25] 제1항에 있어서,셉터가 수소화를 위한 반응기로서 추가한정된유도 가열 장치. [청구항 26] 제25항에 있어서,셉터가 사염화규소를 트라이클로로실란으로 수소화하기 위한 반응기로서 추가한정된유도 가열 장치. [청구항 27] 제1항에 있어서,셉터가 유동층 반응기(fluidized bed reactor)의 하우징으로서 추가한정된유도 가열 장치. [청구항 28] 제26항에 있어서,상기 유동층 반응기가 규소생성하기 위한침착 반응용인 유도 가열 장치.