문맥 (context)
[청구항 1]
제1 기판과 제2 기판이 접합된 중합 기판을 상기 제1 기판과 상기 제2 기판으로 박리하는 박리 장치로서,
상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 박리 기점으로서의 절입을 형성하는 날부와,
상기 날부의 날끝의 상태를 검사하는 검사부를 구비하고,
상기 검사부는, 상기 날끝을 촬상하는 촬상부와, 상기 촬상부의 화상을 화상 처리하는 화상 처리부를 갖는 것인 박리 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 검사부의 검사 결과에 기초한, 상기 날끝의 절입 개시 위치의 변경을 행하는위치변경부를구비하는박리 장치.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기촬상부는 상기 날끝을 부분적으로 촬상하고,상기 검사부는, 상기 날끝의 촬상 부위를 변경하는 촬상부위변경부를구비하는 것인박리 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 화상 처리부는, 상기 촬상 부위가 상이한 복수의 상기 화상을 화상 처리함으로써, 상기 날끝의 상태를 나타내는 맵작성하는 것인박리 장치.
[청구항 5]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 검사부는, 상기 날끝에 대하여 광을 조사하는 광원부를 구비하고,상기 화상은, 상기 광이 상기 날부에 가려짐으로써 형성되는 암부와, 상기 광이 상기 날부의 바깥을 통과함으로써 형성되는 명부를 포함하며,상기 화상 처리부는, 상기 암부와 상기 명부의 경계선검출하는 것인박리 장치.
[청구항 7]
제1항, 제2항, 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 검사부의 검사 결과에 기초한 경보를 출력하는 출력부구비하는박리 장치.
[청구항 8]
제1 기판과 제2 기판이 접합된 중합 기판을 상기 제1 기판과 상기 제2 기판으로 박리하는 박리 장치, 및 박리 후의 상기 제1 기판을 세정하는 세정 장치를 구비하는 박리 시스템으로서,
상기 박리 장치로서, 제1항, 제2항, 제6항 중 어느 한 항에 기재된 박리 장치를 구비하는 박리 시스템
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
박리 장치의 검사부가 날끝의 상태를 나타내는 맵을 작성하기 위해 수행하는 화상 처리 과정은 어떠한 구성 요소들을 통해 이루어지는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation박리 장치의 검사부가 날끝 상태 맵을 작성하기 위해 사용하는 화상 처리 과정의 구성 요소를 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1과 청구항 4를 통해 검사부의 구성과 맵 작성 방식에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 화상 처리부는, 상기 촬상 부위가 상이한 복수의 상기 화상을 화상 처리함으로써, 상기 날끝의 상태를 나타내는 맵작성
- 상기촬상부는 상기 날끝을 부분적으로 촬상하고,상기 검사부는, 상기 날끝의 촬상 부위를 변경하는 촬상부위변경부를구비
-
3근거 선택
evidence_selection맵 작성을 위한 화상 처리 과정과 직접적으로 관련된 촬상부와 화상 처리부, 그리고 촬상 부위 변경에 관한 내용을 선택한다.
- 상기촬상부는 상기 날끝을 부분적으로 촬상하고,상기 검사부는, 상기 날끝의 촬상 부위를 변경하는 촬상부위변경부를구비
-
4논리 통합
logical_integration검사부는 촬상부와 화상 처리부로 구성되며, 맵 작성을 위해서는 촬상부위변경부를 통해 촬상 부위가 다른 복수의 화상을 획득하여 화상 처리부가 이를 처리하는 과정을 거친다.
- 상기 화상 처리부는, 상기 촬상 부위가 상이한 복수의 상기 화상을 화상 처리함으로써, 상기 날끝의 상태를 나타내는 맵작성
-
5결론 도출
conclusion_formulation맵 작성을 위한 화상 처리 과정은 촬상부위변경부를 통해 촬상 부위가 다른 복수의 화상을 촬상부로 획득하고, 이를 화상 처리부가 처리함으로써 이루어진다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소들을 중심으로 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
박리 장치의 검사부가 날끝의 상태를 나타내는 맵을 작성하기 위한 화상 처리 과정은, 날끝의 촬상 부위를 변경하는 촬상부위변경부, 촬상 부위가 상이한 복수의 화상을 촬상하는 촬상부, 그리고 해당 화상들을 화상 처리하는 화상 처리부를 통해 이루어진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 촬상 부위를 변경하며 획득한 복수의 화상을 화상 처리함으로써 날끝의 상태를 맵 형태로 시각화하여 검사하는 기술에 관한 것이다.