기판 유지 기구 및 이것을 사용한 기판 처리 장치 document_id 1020160015091

[청구항 1] 서셉터 상의 미리 정해진 기판 유지 영역 상에 기판을 유지하는 기판 유지 기구로서, 상기 기판 유지 영역의 주위에 설치되고, 상기 기판 유지 영역의 외측으로부터 내측으로 회전함으로써 상기 기판 유지 영역 상에 적재된 상기 기판의 측면부에 미리 정해진 접촉면에서 접촉 가능한 기판 유지 부재와, 상기 기판 유지 부재에, 상기 기판의 측면부에 접촉함으로써 상기 기판을 유지 가능한 내측 방향으로의 가압력을 부여하는 가압 수단과, 상기 가압 수단의 상기 가압력에 저항하는 힘을 상기 기판 유지 부재에 부여함으로써, 상기 기판을 연직 방향으로 들어올리는 것이 가능한 상태로 상기 기판 유지 부재를 개방 가능한 개방 부재를 포함하는 기판 유지 기구 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판 유지 부재는, 상기 기판 유지 영역의 외주보다도 외측에 설치되고, 상기 기판 유지 영역의 반경 방향을 따라서 회전 가능한 회전축에 고정유지된,기판 유지 기구. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 기판을 연직 방향으로 들어올리는 것이 가능한 상태는, 상기 기판 유지 부재의 상기 미리 정해진 접촉면이 상기 기판 유지 영역의 면에 대하여대략90도로개방된상태인,기판 유지 기구. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 부재에 연결된 연결 부재를 더 포함하고,상기 가압 수단은, 상기 연결 부재를 통해서 상기 기판 유지 부재에 상기 가압력부여하는,기판 유지 기구. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 연결 부재에 연결된 가압 부재를 더 포함하고,상기 개방 부재는, 상기 가압 부재를 가압함으로써, 상기 가압력에 저항하는 힘을, 상기 연결 부재를 통해서 상기 기판 유지 부재부여하는,기판 유지 기구. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 연결 부재, 상기 가압 부재 및 상기 가압 수단은, 상기 기판 유지 영역의 하방설치되어 있는,기판 유지 기구. [청구항 7] 제5항에 있어서,상기 개방 부재의 상기 가압력에 저항하는 힘에 의한 상기 가압 부재의 이동 범위를 규제하는 규제 수단을 더 포함하고,상기 규제 수단에 의해 상기 기판 유지 부재의 개방 각도규제하는,기판 유지 기구. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 개방 부재는, 상기 가압 부재를 하방으로부터 가압 가능한 승강부재인,기판 유지 기구. [청구항 9] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가압 수단은 스프링이며,상기 가압력은 상기 스프링의 수축력인,기판 유지 기구. [청구항 10] 제9항에 있어서,상기 스프링은 세라믹스구성되는,기판 유지 기구. [청구항 11] 제9항에 있어서,상기 스프링은 판스프링인,기판 유지 기구. [청구항 12] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 부재의 상기미리 정해진 접촉면의 수평 단면 형상은, 상기 기판의 외주따른형상인, 기판 유지 기구. [청구항 13] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 부재의 상기미리 정해진 접촉면의 연직 단면 형상은,위볼록한만곡된형상인, 기판 유지 기구. [청구항 14] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 부재가 상기 기판을 유지했을 때의 상기 미리 정해진 접촉면의 상기 기판 유지 영역면에 대한각도는, 70 내지 85도인, 기판 유지 기구. [청구항 15] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 부재의 상기미리 정해진 접촉면은, 상기 기판의 상기 측면부에 베벨면이 형성되어 있을 때는, 상측의 베벨면접촉하는,기판 유지 기구. [청구항 16] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 부재, 상기 가압 수단 및 상기 개방 부재는, 상기 기판 유지 영역의 주위에 복수설치된,기판 유지 기구. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 기판 유지 부재, 상기 가압 수단 및 상기 개방 부재는, 상기 기판 유지 영역의 주위에 적어도 3개설치된,기판 유지 기구. [청구항 18] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 유지 영역은, 서셉터의 표면보다도 오목해진 미리 정해진 기판 적재 영역 내형성된,기판 유지 기구. [청구항 20] 제19항에 있어서,셉터는 회전 가능한 회전 테이블로서 구성되고,상기 기판 적재 영역은, 상기 회전 테이블의 회전 방향을 따라서 복수 형성되고,상기 회전 테이블의 회전 방향을 따라서 이격되어 형성되고, 제1 및 제2 처리 가스를 각각 공급 가능한 제1 및 제2 처리 영역과,상기 회전 테이블의 회전 방향을 따라서 상기 제1 및 제2 처리 영역과의 사이에 형성되어, 상기 제1 및 제2 처리 가스를 서로 분리 가능한 분리 가스를 공급하는 분리 영역더 포함하는,기판 처리 장치.