칩 핸들링 장치 및 그의 정렬 방법 document_id 1020160017447

[청구항 1] 하부 픽업부재; 상기 하부 픽업부재의 상측에 위치하며, 상기 하부 픽업부재를 향해 수직한 방향으로 이동 가능하게 구비되어 상기 하부 픽업부재와 결합되는 상부 픽업부재; 및 상기 하부 픽업부재 또는 상기 상부 픽업부재 중에서 적어도 어느 한 쪽 픽업부재를 평면상에서 서로 직교하는 두 축 방향으로 이동시켜, 상기 양쪽 픽업부재가 분리된 상태에서 정렬시키는 제어부 를 포함하는 칩 핸들링 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 하부 픽업부재와 상부 픽업부재 중에서 한 쪽 픽업부재의 일측면에는 반구형으로 정렬돌부가 형성되고, 다른 쪽 픽업부재의 대응면에는 상기 정렬돌부가 삽입되는정렬홈부가형성되는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 하부 픽업부재와 상부 픽업툴 중에서 적어도 어느 한 쪽 픽업부재에는 상기 정렬돌부와 정렬홈부 사이로 연통되어 양쪽 픽업부재를 진공 흡착시키는진공관설치되는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 하부 픽업부재와 상부 픽업부재 중에서 어느 한 쪽에는 양쪽 픽업부재 사이에 위치하는 낙하 방지부재가 구비되고, 다른 쪽 픽업부재에는 상기 낙하 방지부재가 삽입되어 양쪽 픽업부재가 분리되는 것을 방지하도록 걸림턱형성되는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 하부 픽업부재의 상면에는 제1 정렬키가 형성되고, 상기 상부 픽업부재에는 상기 제1 정렬키와 중첩되는 위치에제2정렬형성되는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 상부 픽업부재에는 투시창이 구비되고, 상기 투시창에상기제2정렬형성되는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 상부 픽업부재의 상측에는 양쪽 픽업부재를 정렬하기 위한정렬용카메라구비되는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 하부 픽업부재 또는 상기 상부 픽업부재 중에서 적어도 어느 한 쪽 픽업부재는 평면상에서 서로 직교하는 두 축 방향으로 이동 가능하게 구비되고, 상기 하부 픽업부재에는 제1 정렬키가, 상기 상부 픽업부재에는 제2 정렬키가 각각 구비되며,상기 제어부는, 상기 하부 픽업부재에 구비된 제1 정렬키와 상기 상부 픽업부재에 구비된 제2 정렬키를 비교하여, 상기 상부 픽업부재의 x방향 및 y방향 이동량산출하는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 제어부는 상기 하부 픽업부재와 상기 상부 픽업부재가 결합된 상태로 이동하는 중에상기제1정렬키와제2정렬비교하는것을특징으로 하는칩 핸들링 장치.