웨이퍼 접착 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 접착 방법 document_id 1020160024209

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 캐리어 접착기기는,상기 챔버 내에 상기 캐리어 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 받침부; 및 상기 웨이퍼 받침부 상에서 상기 제3접착필름체가 하부면에 흡착되는 상부 필름흡착부를 포함하며,상기 웨이퍼 받침부와 상기 상부 필름흡착부 중 적어도 어느 하나는승하강작동되는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 제1접착필름체가 복수회감겨진 필름 권취릴부재; 상기 필름 권취릴부재와 상기 하프커팅 기기 사이에 배치되어 상기 제1접착필름체를 상기 하프커팅 기기로 안내하는 필름 이송 가이드 롤부;상기 제2접착필름체를 절단 위치까지 이송시키는 필름 절단위치 이동기기; 및 상기 제2접착필름체를 절단하여 제3접착필름체를 형성하는 라인커팅 기기; 및상기 라인커팅 기기에 의해 절단된 상기 제3접착 필름체 또는 캐리어 웨이퍼를 상기 챔버 내로 출입시키는챔버출입용이동기기더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 챔버 출입용 이동기기로부터 상기 챔버의 외부로 배출되며 상기 제3접착필름체가 접착된 상기 캐리어 웨이퍼에서 상기 제2보호필름을 제거하는제2보호필름제거기기더포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 필름 절단위치 이동기기는 상기 제2접착필름체를 잡아 이동시키며 상기 제2접착필름체의 이송방향에 대응되게 직선왕복이동하는제1필름클램핑이동부와제2클램핑이동부포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 챔버 출입용 이동기기는,상기 제2접착필름체의 이송방향에 대응되게 제1필름클램핑 이동부와 제2클램핑 이동부에 일직선상으로 배치가능하고 횡방향으로 이동 가능한 제3클램핑 이동부;상기 제3클램핑 이동부로 이동되는 상기 제3접착필름체 또는 캐리어 웨이퍼가 상부에 올려지는 챔버삽입 대기받침부; 상기 챔버삽입 대기받침부에 올려진 상기 제3접착필름체 또는 캐리어 웨이퍼를 상기 챔버 내로 출입시키는 챔버 출입이동부포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 7] 청구항 4에 있어서,상기 하프커팅 기기, 상기 필름 권취릴부재, 상기 필름 이송 가이드 롤부, 상기 제1필름 텐션조절기, 상기 챔버, 상기 제1필름 제거기기, 상기 제1보호필름 제거기기, 상기 필름 절단위치 이동기기, 상기 라인커팅 기기, 상기 챔버 출입용 이동기기, 상기 제2보호필름 제거기기가하나의본체하우징내설치되는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 8] 청구항 1에 있어서,상기 하프커팅 기기는, 외주면에 상기 캐리어 웨이퍼의 형상에 대응되는 커터날이 구비된 커팅롤부; 및상기 커팅롤부에 이격되게 배치되는 받침롤부를포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 하프커팅 기기는, 상, 하 이동하며, 상면 또는 하면에 하프 커터날이 구비된 커팅 가압부; 및 상기 제1접착필름체에서 상기 커팅 가압부로 커팅되는 반대측 면을 지지하는커팅받침부포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 10] 청구항 6에 있어서,상기 제2클램핑 이동부는,상기 제2접착필름체의 일부를 덮어 가압하는 제1상부 클램핑플레이트부재; 및 상기 제1상부 클램핑플레이트부재의 하부면에 배치되는 제2하부 클램핑플레이트부재를 포함하며,상기 제3클램핑 이동부는,챔버 출입용 이동기기는 횡방향 및 상, 하 이동 가능한 상기 라인커팅 기기로 절단되는 상기 제2접착필름체의 부분을 덮어 가압하는 제2상부 클램핑플레이트부재; 및 횡방향으로 이동 가능하며 상기 제2상부 클램핑플레이트부재의 하부에 배치되는 제2하부 클램핑플레이트부재를 포함하고, 상기 제2상부 클램핑플레이트부재의 하부면에는 상기 제3접착필름체를 흡착할 수 있는필름흡착부가구비되는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 제1보호필름 제거기기는,필름제거용 테이프가 권취된 테이프 권취롤부;상기 테이프 권취롤부와 이격되게 배치되고 상기 필름 제거용 테이프가 걸쳐지며 전, 후, 상, 하 이동되어 상기 필름 제거용 테이프를 상기 제3접착필름체의 하부에서 노출된 상기 제1보호필름의 하부면에 접착시키는 테이프 접착부;상기 테이프 권취롤부에서 풀린 상기 필름 제거용 테이프를 회수하여 권취하는 테이프 회수롤부; 상기 필름 제거용 테이프를 상기 테이프 접착부로 안내하고 상기 테이프 접착부를 통과하여 상기 제1보호필름이 부착된 상기 필름 제거용 테이프를 상기 테이프 회수롤부로 안내하는 복수의 테이프 이동가이드롤부를포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 12] 청구항 6에 있어서,상기 챔버삽입 대기받침부는,대기 받침플레이트부재;상기 대기 받침플레이트부재 상에서 상, 하 이동하여 상기 대기 받침플레이트부재 상에 올려지는 캐리어 웨이퍼 또는 상기 제3접착필름체를 승하강하며 상면에 다수의 흡착용 구멍이 형성된파지용승하강부포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 13] 청구항 6에 있어서,상기 챔버 출입이동부는,상, 하, 전, 후 이동되며 이격되며 상기 제3접착필름체를 흡착시키는 제1받침 포크와 제2받침 포크가 구비되고 이동포크부재; 및 상기 제1받침 포크와 상기 제2받침 포크에 구비되며 각각 횡방향으로 왕복이동하여 상기 제1받침 포크와 상기 제2받침 포크 상에 안착되는 상기 캐리어 웨이퍼를 파지하는제1웨이퍼파지부재와제2웨이퍼파지부재포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 14] 청구항 2에 있어서,상기 챔버 내에는 승하강 이동되며 상부에 상기 캐리어 웨이퍼가 안착되는 캐리어 승하강지지부와 상기 웨이퍼 받침부 상에 올려진 상기 캐리어 웨이퍼의 위치를 조정하는웨이퍼 위치정렬부구비되는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 웨이퍼 받침부는 상기 캐리어 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 안착 상부플레이트부재를 포함하고, 상기 안착 상부플레이트부재의 외주면에는 웨이퍼 정렬용홈이 방사상으로 이격되게 배치되며,상기 웨이퍼 위치정렬부는, 복수의 상기 웨이퍼 정렬용홈 중 어느 한측에 삽입되며 상기 캐리어 웨이퍼의 외측 둘레에 접촉되는 제1위치 정렬롤;상기 제1위치 정렬롤이 설치되며 회전되어 상기 제1위치 정렬롤을 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시키거나 상기 웨이퍼 정렬홈 내에서 이탈시키는 제1정렬 회전암;복수의 상기 웨이퍼 정렬용홈 중 다른 한측에 삽입되며 상기 캐리어 웨이퍼의 외측 둘레에 접촉되는 제2위치 정렬롤; 및 상기 제2위치 정렬롤이 설치되며 회전되어 상기 제2위치 정렬롤을 상기 웨이퍼 정렬홈 내로 삽입시키거나 상기 웨이퍼 정렬홈 내에서 이탈시키는제2정렬회전암포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 16] 청구항 2에 있어서,상기 상부 필름흡착부에는 흡착된 상기 제3접착필름체를 클램핑하는 복수의 흡착보조 클램핑부가 구비되며,상기 흡착보조 클램핑부는,상기 상부 필름흡착부의 측면에 세워져 승하강되는 클램핑 작동링크부재; 일측이 상기 클램핑 작동링크부재의 하단부에 회전가능하게 결합되며 상기 제3접착필름체의 하부면을 클램핑하는 보조 클램핑부재; 및 일단이 상기 보조 클램핑부재에 회전 가능하게 연결되고 타단이 상기 상부 필름흡착부에 회전가능하게 연결되는클램핑작동가이드링크부재포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치. [청구항 17] 청구항 6에 있어서,상기 챔버삽입 대기받침부의 일 측에는 상, 하 이동하여 상기 제3접착필름체에서 상기 제2보호필름의 일단부 측을 일부 접게 하는 필름 접힘부가 구비되며, 상기 제2보호필름 제거기기는 상기 필름 접힘부에서 접혀 상부로 돌출된 상기 제2보호필름의 일단부측을 클램핑하며 전, 후 이동하는 필름 제거용 클램핑부를포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 접착 장치.