기판 이송 어셈블리 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 위치 보정 방법 document_id 1020160026400

[청구항 1] 기판을 이송하는 기판 이송 어셈블리에 있어서, 기판을 지지하고, 복수개의 목표 위치로 이동하는 지지부와 상기 지지부를 이동시키는 구동 유닛과 상기 지지부가 상기 목표 위치에 각각 일직선 방향으로 도달될 수 있는 위치인 복수개의 전위치에 정위치되도록 상기 구동 유닛을 제어하는 위치 보정 유닛을 포함하되, 상기 위치 보정 유닛은, 서로 상이한 주기로 점멸하고, 상기 목표 위치에 각각 대응되도록 상기 목표 위치로부터 일정 거리 범위 내에 각각 위치된 복수개의 발광 부재; 와 상기 지지부에 설치되고, 상기 발광 부재를 촬상하는 촬상 부재와 상기 촬상 부재에 의해 촬상된 이미지로부터 상기 발광 부재 중 상기 이미지에 촬상된 촬상 발광 부재의 주기인 측정 주기를 측정하는 주기 측정 부재와 상기 측정 주기를 기초하여 상기 지지부가 상기 전위치에 정위치되도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어 부재 를 포함하는 기판 이송 어셈블리 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 제어 부재는,상기 발광 부재의 주기와 상기 발광 부재의 식별번호 간에 대응 관계를 나타낸 제 1 대응 테이블을 저장하는 제 1 저장부와;상기 발광 부재의 식별번호와, 상기 지지부가 각각의 상기 전위치에 정위치된 경우 상기 촬상 부재에 의해 촬상될 이미지에서의 각각의 상기 발광 부재의 좌표인 정위치 좌표의 대응 관계를 나타낸 제 2 대응 테이블을 저장하는 제 2 저장부와;상기 측정 주기에 기초하여 상기 제 1 대응 테이블을 독출하여 상기 촬상 발광 부재에 의해 촬상된 촬상 발광 부재를 식별하는 촬상 발광 부재 식별부와;상기 촬상 부재에 의해 촬상된 이미지에서의 상기 촬상 발광 부재의 좌표인 실좌표를 분석하는 실좌표 분석부와;상기 제 2 대응 테이블로부터 상기 촬상 발광 부재의 상기 정위치 좌표를 독출하여 상기 실좌표와 상기 정위치 좌표 간의 오차 값을 분석하는 오차 분석부와;상기 오차 값에 기초하여 상기 지지부를 이동시키도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어부포함하는기판 이송 어셈블리. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 제어 부재는 상기 목표 위치 중 상기 지지부가 현재 도달해야하는 현목표 위치를 상기 촬상 부재가 최초의 촬상을 수행하기 전에 결정하는 목표 결정부;를 더 포함하되,상기 제어부는, 상기 발광 부재 중 상기 현목표 위치에 대응되는 현목표 발광 부재가 상기 촬상 발광 부재에 포함된 경우,상기 현목표 발광 부재의 상기 실좌표를 분석하도록 상기 실좌표 분석부를 제어하고,상기 현목표 발광 부재의 상기 오차 값을 분석하도록 상기 오차 분석부를 제어하며,상기 오차 값이 일정 오차 범위를 초과하는 경우, 상기 오차 값이 상쇄되도록 상기 지지부를 이동시키기 위해 상기 구동 유닛제어하는기판 이송 어셈블리. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 제어부는 상기 오차 값이 상기 일정 오차 범위 이하인 경우, 상기 지지부가 상기 현목표 위치를 향해 직선 방향을 따라 이동하도록 상기 구동 유닛제어하는기판 이송 어셈블리. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 제어 부재는,상기 식별 번호와 상기 발광 부재 간의 상대 위치를 나타낸 상대위치 좌표의 대응 관계를 나타낸 제 3 대응 테이블을 저장하는 제 3 저장부;와상기 제 3 대응 테이블을 독출하여, 상기 촬상 발광 부재 중 상기 현목표 발광 부재에 가장 인접한 최인접 발광 부재를 결정하고, 상기 현목표 발광 부재의 상대 좌표 및 상기 최인접 발광 부재의 상대 좌표 간의 차이를 나타낸 상대 좌표값을 결정하는 상대 위치 결정부;를 더 포함하되,상기 제어부는, 상기 촬상 부재에 의해, 상기 발광 부재 중 적어도 하나의 발광 부재는 촬상되되, 상기 현목표 발광 부재는 촬상되지 않은 경우,상기 상대 좌표값이 상쇄되게 상기 지지부를 이동시키도록 상기 구동 유닛제어하는기판 이송 어셈블리. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 제어 부재는 알람을 발생시키는 알람 부재;를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 촬상 부재에 의해 상기 발광 부재가 하나도 촬상되지 않은 경우 또는 상기 오차 값이 기 설정된 한계 값을 초과하는 경우에 알람을 발생시키도록 상기 알람 부재제어하는기판 이송 어셈블리. [청구항 7] 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 하나에 있어서,상기촬상 부재는 일정 시간 동안 일정 촬상 주기에 따라 촬상하고,상기 발광 부재의 주기는 상기 촬상 주기와 동일하거나 상기 촬상 주기의 n배수(n은 자연수)로 제공되며,상기 주기 측정 부재는 상기 촬상 부재로부터 상기 일정 시간 동안 촬상된 이미지들 중 켜진 상태의 발광 부재가 상기 이미지상의 각각의 위치에서 촬상된 이미지의 수에 따라 상기 발광 부재의 주기측정하는기판 이송 어셈블리. [청구항 8] 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 하나에 있어서,상기 제어부는 상기 촬상 부재가 최초의 촬상을 수행하기 전에 상기 지지부가 상기 전위치 중 상기 현목표 위치에 대응되는 현목표 전위치를 향해 1회 이동하도록 상기 구동 유닛제어하는기판 이송 어셈블리. [청구항 9] 내부에 제공된 기판 지지 유닛에 놓인 기판에 대해 공정 처리가 수행되는 공정 챔버를 포함하는 공정 모듈과 기판을 수용하는 캐리어가 놓이는 로드 포트와 기판을 이송하는 기판 이송 어셈블리를 포함하되, 상기 기판 이송 어셈블리는, 기판을 지지하고, 복수개의 목표 위치로 이동하는 지지부와 상기 지지부를 이동시키는 구동 유닛과 상기 지지부가 상기 목표 위치에 각각 일직선 방향으로 도달될 수 있는 위치인 복수개의 전위치에 정위치되도록 상기 구동 유닛을 제어하는 위치 보정 유닛을 포함하되, 상기 위치 보정 유닛은, 서로 상이한 주기로 점멸하고, 상기 목표 위치에 각각 대응되도록 상기 목표 위치로부터 일정 거리 범위 내에 각각 위치된 복수개의 발광 부재; 와 상기 지지부에 설치되고, 상기 발광 부재를 촬상하는 촬상 부재와 상기 촬상 부재에 의해 촬상된 이미지로부터 상기 발광 부재 중 상기 이미지에 촬상된 촬상 발광 부재의 주기인 측정 주기를 측정하는 주기 측정 부재와 상기 측정 주기를 기초하여 상기 지지부가 상기 전위치에 정위치되도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어 부재 를 포함하는 기판 처리 장치 [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제어 부재는,상기 발광 부재의 주기와 상기 발광 부재의 식별번호 간에 대응 관계를 나타낸 제 1 대응 테이블을 저장하는 제 1 저장부와;상기 발광 부재의 식별번호와, 상기 지지부가 각각의 상기 전위치에 정위치된 경우 상기 촬상 부재에 의해 촬상될 이미지에서의 각각의 상기 발광 부재의 좌표인 정위치 좌표의 대응 관계를 나타낸 제 2 대응 테이블을 저장하는 제 2 저장부와;상기 측정 주기에 기초하여 상기 제 1 대응 테이블을 독출하여 상기 촬상 발광 부재를 식별하는 촬상 발광 부재 식별부와;상기 촬상 부재에 의해 촬상된 이미지에서의 상기 촬상 발광 부재의 좌표인 실좌표를 분석하는 실좌표 분석부와;상기 제 2 대응 테이블로부터 상기 촬상 발광 부재의 상기 정위치 좌표를 독출하여 상기 실좌표와 상기 정위치 좌표 간의 오차 값을 분석하는 오차 분석부와;상기 오차 값에 기초하여 상기 지지부를 이동시키도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어부포함하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 제어 부재는 상기 목표 위치 중 상기 지지부가 현재 도달해야하는 현목표 위치를 상기 촬상 부재가 최초의 촬상을 수행하기 전에 결정하는 목표 결정부;를 더 포함하되,상기 제어부는,상기 촬상 부재가 최초의 촬상을 수행하기 전에 상기 지지부가 상기 전위치 중 상기 현목표 위치에 대응되는 현목표 전위치를 향해 1회 이동하도록 상기 구동 유닛을 제어하고,상기 발광 부재 중 상기 현목표 위치에 대응되는 현목표 발광 부재가 상기 촬상 발광 부재에 포함된 경우,상기 현목표 발광 부재의 상기 실좌표를 분석하도록 상기 실좌표 분석부를 제어하고,상기 현목표 발광 부재의 상기 오차 값을 분석하도록 상기 오차 분석부를 제어하며,상기 오차 값이 일정 오차 범위를 초과하는 경우, 상기 오차 값이 상쇄되도록 상기 지지부를 이동시키기 위해 상기 구동 유닛을 제어하고,상기 오차 값이 상기 일정 오차 범위 이하인 경우, 상기 지지부가 상기 현목표 위치를 향해 직선 방향을 따라 이동하도록 상기 구동 유닛제어하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 제어 부재는,상기 식별 번호와 상기 발광 부재 간의 상대 위치를 나타낸 상대위치 좌표의 대응 관계를 나타낸 제 3 대응 테이블을 저장하는 제 3 저장부;와상기 제 3 대응 테이블을 독출하여, 상기 촬상 발광 부재 중 상기 현목표 발광 부재에 가장 인접한 최인접 발광 부재를 결정하고, 상기 현목표 발광 부재의 상대 좌표 및 상기 최인접 발광 부재의 상대 좌표 간의 차이를 나타낸 상대 좌표값을 결정하는 상대 위치 결정부;를 더 포함하되,상기 제어부는, 상기 촬상 부재에 의해, 상기 발광 부재 중 적어도 하나의 발광 부재는 촬상되되, 상기 현목표 발광 부재는 촬상되지 않은 경우,상기 상대 좌표값이 상쇄되게 상기 지지부를 이동시키도록 상기 구동 유닛제어하는기판 처리 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 제어 부재는 알람을 발생시키는 알람 부재;를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 촬상 부재에 의해 상기 발광 부재가 하나도 촬상되지 않은 경우 또는 상기 오차 값이 기 설정된 한계 값을 초과하는 경우에 알람을 발생시키도록 상기 알람 부재제어하는기판 처리 장치. [청구항 14] 제 9 항 내지 제 13 항 중 어느 하나에 있어서,상기촬상 부재는 일정 시간 동안 일정 촬상 주기에 따라 촬상하고,상기 발광 부재의 주기는 상기 촬상 주기와 동일하거나 상기 촬상 주기의 n배수(n은 자연수)로 제공되며,상기 주기 측정 부재는 상기 촬상 부재로부터 상기 일정 시간 동안 촬상된 이미지들 중 켜진 상태의 발광 부재가 상기 이미지 상의 각각의 위치에서 촬상된 이미지의 수에 따라 상기 발광 부재의 주기측정하는기판 처리 장치. [청구항 15] 제 9 항 내지 제 13 항 중 어느 하나에 있어서,상기 공정 챔버는 복수개로 제공되고,상기 목표 위치는 상기 공정 챔버의 기판 유입구의 상기 지지부가 지나는 위치이고,상기 전위치는 상기 목표 위치와 높이가 동일하고, 상기 목표 위치로부터 상기 기판 유입구의 정면과 수직인 방향을 따라 이격된 상기 공정 챔버의 외부의위치인기판 처리 장치. [청구항 16] 제 9 항 내지 제 13 항 중 어느 하나에 있어서,하나의 상기 공정 챔버에는 복수개의 기판 지지 유닛이 제공되고,상기 목표 위치는 상기 지지부에 놓인 기판이 상기 기판 지지 유닛 상에 안착을 위해 접촉되는 순간, 상기 지지부가 위치되는 위치이고,상기 전위치는 상기 지지부가 상기 기판 지지 유닛의 기판이 안착되는 영역과 상기 지지부에 놓인 기판이 대향되도록 상기 목표 위치로부터 연직 방향으로상부위치되는위치인기판 처리 장치.