문맥 (context)
[청구항 1]
연마패드를 포함하는 제1축을 중심으로 회전하는 제1정반
상기 제1정반과 대향하도록 배치되고 돌기를 포함하는 제2정반
상기 제2정반의 돌기와 결합하는 결합홀을 포함하는 기판로딩부재; 및
상기 제2정반의 상기 돌기가 상기 기판로딩부재의 상기 결합홀과 대응하도록 상기 기판로딩부재에 삽입되어 상기 기판로딩부재를 상기 제2정반을 향해 이동시키는 이동부재
를 포함하는, 기판 연마 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 돌기는 걸림돌기 및 상기 걸림돌기의 단부에 구비되며 상기 걸림돌기의 폭보다 큰 폭을 갖는 걸림편포함하는,기판 연마 장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 돌기는 상기 걸림편과 상기 걸림돌기 사이에 일정한 테이퍼를 제공하는 테이퍼부더 포함하는,기판 연마 장치.
[청구항 4]
제2항에 있어서,상기 기판로딩부재는,상기 기판로딩부재 내에 위치하고 상기 결합홀을 포함하는 슬라이딩 핀; 및 상기 이동부재가 삽입되며 슬라이딩 핀의 일측을 향해 연장된 삽입공포함하는,기판 연마 장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 슬라이딩 핀은 상기 삽입공을 향하는 상기 슬라이딩 핀의 일측의 반대편에 위치하는 탄성부재더 포함하는,기판 연마 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 기판로딩부재는 상기 슬라이딩 핀을 수용하는 내홈을 구비하고,상기 내홈 안에서 상기 슬라이딩 핀이동할 수있도록 상기 내홈의 폭은 상기 슬라이딩 핀의 폭보다 큰, 기판 연마 장치.
[청구항 7]
제2항에 있어서,상기 결합홀은 상기 결합홀의 일 단으로부터 연장된 키홈더 포함하며,상기 키홈의 크기는 상기 결합홀의 크기보다 작은, 기판 연마 장치.
[청구항 9]
제1항에 있어서,상기 제2정반은 제2축을 중심회전하는,기판 연마 장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 이동부재는 회전하여 상기 기판로딩부재반전시키는,기판 연마 장치.
[청구항 11]
제1항에 있어서,상기 제1정반 상에 연마액을 공급하는 연마액공급부더 포함하는,기판 연마 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 연마 장치에서 제2정반의 돌기가 기판로딩부재의 결합홀과 대응하여 삽입될 때, 기판로딩부재를 제2정반 방향으로 이동시키는 구성요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제2정반의 돌기가 기판로딩부재의 결합홀에 삽입될 때, 기판로딩부재를 제2정반 방향으로 이동시키는 구성요소를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제2정반의 돌기가 기판로딩부재의 결합홀과 대응하여 삽입되어 기판로딩부재를 제2정반 방향으로 이동시키는 구성요소를 확인한다.
- 상기 제2정반의 상기 돌기가 상기 기판로딩부재의 상기 결합홀과 대응하도록 상기 기판로딩부재에 삽입되어 상기 기판로딩부재를 상기 제2정반을 향해 이동시키는 이동부재
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3근거 선택
evidence_selection기판로딩부재를 제2정반 방향으로 이동시키는 주체로 명시된 '이동부재' 구절을 선택한다.
- 상기 기판로딩부재를 상기 제2정반을 향해 이동시키는 이동부재
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4논리 통합
logical_integration청구항 1의 문맥상 돌기가 결합홀에 삽입됨과 동시에 기판로딩부재를 제2정반 쪽으로 이동시키는 역할을 수행하는 구성요소는 이동부재임을 알 수 있다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 구성요소는 이동부재이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정답인 '이동부재'를 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
이동부재
핵심 해석 (core_interpretation)
기판 연마 장치에서 제2정반의 돌기와 기판로딩부재의 결합홀이 맞물릴 때, 이동부재를 통해 기판로딩부재를 제2정반 방향으로 정밀하게 이동시키는 메커니즘을 포함한다.