버퍼 챔버 웨이퍼 가열 메커니즘 및 지지 로봇들 document_id 1020160047596

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,러셀의 웨이퍼 지지부는, 상기 웨이퍼 이송 로봇을 위한 간극(clearance)을 제공하기 위해, 적어도 1개의 컷아웃갖는,버퍼 챔버. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,러셀은 4 내지 8 범위의 웨이퍼 지지 포지션들포함하는,버퍼 챔버. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 지지 포지션들각각은, 벽에 의해, 인접한 지지 포지션들분리되는,버퍼 챔버. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 하우징의 4개의 측들(sides)에 대한 액세스를 허용하는 4개의 슬릿 밸브들존재하는,버퍼 챔버. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,가열기는 상기 슬릿 밸브들 각각에 인접하여 포지셔닝되고, 이로써, 상기 캐러셀이 인덱스 포지션에 있는 경우, 상기 지지 포지션은, 상기 슬릿 밸브들에 인접한 각각의 가열기 아래에 로케팅되는,버퍼 챔버. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,적어도 1개의 가열 모듈 각각은, 램프들, 저항성 가열기들, 및 led들로 구성된 그룹으로부터 독립적선택되는,버퍼 챔버. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,적어도 1개의 가열 모듈들각각은, 상기 웨이퍼가 존재할 때, 거리는 약 0.0005인치 내지 약 3인치의 범위이도록, 상기 캐러셀로부터 거리를 두고 로케팅되는,버퍼 챔버. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 로봇을 상기 적어도 1개의 가열 모듈로부터 차폐하기(shield) 위해, 상기 캐러셀과 상기 이송 로봇 사이에 로케이팅된 일차(primary) 쉴드를 더 포함하고, 상기 일차 쉴드는, 상기 이송 로봇의 블레이드(blade)가 상기 캐러셀에 액세싱하는 것을 허용하기 위해, 적어도 1개의 컷아웃포함하는,버퍼 챔버. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 일차 쉴드 아래에 이차(secondary) 쉴드더 포함하는,버퍼 챔버. [청구항 11] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼가 존재할 때, 상기 캐러셀을 하강시키는(lowering) 것이, 상기 웨이퍼가 상기 이송 로봇의 블레이드 상에 남게 하고, 상기 캐러셀을 상승시키는(raising) 것이, 상기 웨이퍼를 상기 이송 로봇의 블레이드로부터 리프팅시키도록(lift), 상기 캐러셀이 z-축 이동하는,버퍼 챔버. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 이송 로봇은, 상기 이송 로봇의 블레이드가 상기 캐러셀로부터 상기 웨이퍼를 리프팅할 수 있거나 상기 캐러셀 상으로 상기 웨이퍼를 하강시킬 수 있도록, z-축을 따라이동할수있는,버퍼 챔버. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 웨이퍼 이송 로봇은 적어도 1개의 아암세트(armset)를 지지하는 붐(boom)을 포함하며, 상기 적어도 1개의 아암세트 각각은, 숄더(shoulder)에서 붐에 부착된 하부 아암, 엘보우(elbow)에서 상기 하부 아암에 부착된 상부 아암, 및 리스트(wrist)에서 상기 상부 아암에 부착된 블레이드를 갖고, 이로써, 상기 블레이드는 상기 상부 아암의 정상부 상에 있고, 상기 상부 아암은 상기 하부 아암의 정상부 상에 있으며, 상기 하부 아암은 상기 붐의 정상부 상에 있고, 상기 블레이드 위로 확장하는 상기 이송 로봇의 어떠한 부분도 상기 캐러셀간섭하지않는,버퍼 챔버.