문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 도전막이 형성된 제 1 도너 기판 상에 유기막을 코팅하는 코팅 장치더 포함하는,유기막 증착 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 코팅 장치로부터 유기막이 증착된 상기 제 1 도너 기판을 받아서 상기 증착 장치로 투입하거나, 상기 증착 장치로부터 배출되는 상기 제 1 도너 기판을 받아들이는 로드락 챔버더 포함하는,유기막 증착 장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 증착 장치는,증착 챔버;상기 증착 챔버의 일측에 설치되어 상기 제 2 도너 기판이 안착되는 고정 스테이지;상기 증착 챔버의 타측에 설치되어 상기 제 1 도너 기판이 상기 제 2 도너 기판과 마주보도록 고정시키며 상,하강하는 고정부;상기 제 1 도너 기판이 상기 제 2 도너 기판에 인접하거나 이격되도록 상기 고정부를 이동시키는 구동부; 및상기 제 1 도너 기판 또는 상기 제 2 도너 기판의 도전막으로 전계를 인가하도록 하는 전원 공급 장치포함하는,유기막 증착 장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 증착 장치는,증착 챔버;상기 증착 챔버 내의 일측에 설치되어 상기 제 1 도너 기판이 안착되는 고정 스테이지;상기 제 1 도너 기판과 대향되도록 위치하며, 제 2 도너 기판을 고정하여 상, 하강하도록 구비된 고정부;상기 제 1 도너 기판 또는 상기 제 2 도너 기판에 전계를 인가하기 위한 전원인가장치; 및 상기 고정부를 이동시키기 위한 구동부포함하는,유기막 증착 장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 코팅 장치는,상기 제 1 도너 기판이 수용되는 내부 공간을 형성하는 코팅 챔버;상기 코팅 챔버의 하부에 설치되어 상기 제 1 도너 기판을 안착시키는 스테이지;유기물을 공급하는 유기물 공급 장치; 및상기 유기물 공급 장치로부터 유기물을 공급받아서, 상기 스테이지에 안착된 상기 제 1 도너 기판 상으로 유기물을 분사하여 상기 제 1 도너 기판 상에 유기막을 코팅하는 분사 헤드포함하는,유기막 증착 장치.
[청구항 7]
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 증착 챔버 내로 투입된 상기 소자 기판을 지지하기 위하여, 상기 증착 챔버에 설치되는 측면 지지부더 포함하는,유기막 증착 장치.
[청구항 8]
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 증착 챔버 내로 투입된 상기 소자 기판을 지지하면서 상기 소자 기판의 중앙 부위의 쳐짐을 방지하도록, 상기 증착 챔버에 상기 하부 스테이지 측면 상부로 돌출되어 말단 일부가 꺽여진 형태의 하부 지지부 또는 상기 스테이지 상부에 하나 이상의 중앙 지지부설치되는,유기막 증착 장치.
[청구항 9]
제 3 항에 있어서,상기 증착 장치는 복수개의 코팅 장치 및 상기 소자 기판을 상기 증착 장치로 로딩 및 언로딩하는 로딩 및 언로딩 장치와 서로 연결되는 클러스터 타입 장비의일부인,유기막 증착 장치.
[청구항 10]
증착 챔버;
상기 증착 챔버 내의 일측에 설치되어 상기 제 2 도너 기판이 안착되는 고정 스테이지
상기 제 2 도너 기판과 대향되도록 위치하며, 제 1 도너 기판을 고정하여 상, 하강하도록 구비된 고정부
상기 제 1 도너 기판 또는 상기 제 2 도너 기판에 전계를 인가하기 위한 전원인가장치; 및
상기 고정부를 이동시키기 위한 구동부
를 포함하는, 증착장치
[청구항 11]
증착 챔버;
상기 증착 챔버 내의 일측에 설치되어 상기 제 1 도너 기판이 안착되는 고정 스테이지
상기 제 1 도너 기판과 대향되도록 위치하며, 제 2 도너 기판을 고정하여 상, 하강하도록 구비된 고정부
상기 제 1 도너 기판 또는 상기 제 2 도너 기판에 전계를 인가하기 위한 전원인가장치; 및
상기 고정부를 이동시키기 위한 구동부
를 포함하는, 증착장치
[청구항 12]
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 증착 챔버 내로 투입된 상기 소자 기판을 지지하기 위하여, 상기 증착 챔버에 설치되는 측면 지지부더 포함하는,증착 장치.
[청구항 13]
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 증착 챔버 내로 투입된 상기 소자 기판을 지지하면서 상기 소자 기판의 중앙 부위의 쳐짐을 방지하도록, 상기 증착 챔버에 상기 스테이지 측면 상부로 돌출되어 말단 일부가 꺽여진 형태의 하부 지지부 또는 상기 스테이지 상부에 하나 이상의 중앙 지지부설치되는,증착 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
유기막 증착 장치에서 소자 기판의 중앙 부위가 처지는 것을 방지하기 위해 구성되는 지지부의 형태와 설치 위치는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation유기막 증착 장치에서 소자 기판의 중앙부 처짐을 방지하기 위한 지지부의 형태와 설치 위치를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8번과 13번에서 기판의 중앙 부위 쳐짐을 방지하는 지지부에 대한 기술적 특징을 추출한다.
- 상기 소자 기판의 중앙 부위의 쳐짐을 방지하도록, 상기 증착 챔버에 상기 스테이지 측면 상부로 돌출되어 말단 일부가 꺽여진 형태의 하부 지지부 또는 상기 스테이지 상부에 하나 이상의 중앙 지지부설치되는,증착 장치
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3근거 선택
evidence_selection지지부의 형태(하부 지지부, 중앙 지지부)와 설치 위치(스테이지 측면 상부, 스테이지 상부)를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 증착 챔버에 상기 스테이지 측면 상부로 돌출되어 말단 일부가 꺽여진 형태의 하부 지지부 또는 상기 스테이지 상부에 하나 이상의 중앙 지지부설치되는
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여, 지지부는 '하부 지지부'와 '중앙 지지부' 두 가지 형태가 있으며, 각각 '스테이지 측면 상부'와 '스테이지 상부'에 설치됨을 파악한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대응하는 형태와 위치를 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 추출 형식에 맞춰 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 증착 챔버에 상기 하부 스테이지 측면 상부로 돌출되어 말단 일부가 꺽여진 형태의 하부 지지부 또는 상기 스테이지 상부에 하나 이상의 중앙 지지부가 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
소자 기판의 중앙부 처짐 현상을 방지하기 위해 스테이지의 측면 상부 또는 상부에 특정 형태의 지지부(하부 지지부 또는 중앙 지지부)를 구성하는 기술이다.