문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제로 컷 더미 검출유닛은,상기 제1 존으로 에어를 공급(blower) 또는 흡착(vacuum)하는 제1 에어 서플라이;상기 제2 존으로 에어를 공급(blower) 또는 흡착(vacuum)하는 제2 에어 서플라이; 및상기 제1 및 제2 에어 서플라이와 연결되며, 상기 제1 에어 서플라이를 통해 상기 제1 존의 기판으로 가압되는 제1 존 에어압과, 상기 제2 에어 서플라이를 통해 상기 제2 존의 기판으로 가압되는 제2 존 에어압의 압력차를 감지하는차압감지부포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 차압 감지부의 감지정보에 기초하여 상기 기판에 상기 제로 컷 더미가 있는지의 여부를 판단하는컨트롤러더포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 기판에 상기 제로 컷 더미가 잔존됨에 따른 공정 엔지(ng, no good)신호를 발생시키는 공정 엔지신호 발생부를 더 포함하며,상기 컨트롤러는 상기 기판에 상기 제로 컷 더미가 있다고 판단된 경우, 상기 공정 엔지신호 발생부가 동작되도록컨트롤하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 5]
제2항에 있어서,상기 제로 컷 더미 검출유닛은,상기 제1 및 제2 에어 서플라이가 동작되기 전에 상기 기판을 척킹하는 기판 척킹유닛더포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 기판척킹유닛은,상호간 접근 또는 이격 가능한 제1 척킹 핑거와 제2 척킹 핑거; 및상기 제1 및 제2 척킹 핑거의 내면에 각각 마련되는기판보호용패드포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기제1 및 제2 에어 서플라이는 상기 제1 척킹 핑거에 결합되며,상기 제1 척킹 핑거는,상기 제1 에어 서플라이와 연결되고 상기 제1 및 제2 척킹 핑거 사이에서 척킹된 기판의 제1 존으로 에어를 공급(blower) 또는 흡착(vacuum)하는 제1 에어 유로; 및상기 제2 에어 서플라이와 연결되고 상기 제1 및 제2 척킹 핑거 사이에서 척킹된 기판의 제2 존으로 에어를 공급(blower) 또는 흡착(vacuum)하는제2에어유로포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 8]
제7항에 있어서,상기 제1 에어 서플라이는 상기 제1 존으로 에어를 공급(blower)하고, 상기 제2 에어 서플라이는 상기 제2 존으로 에어를 공급(blower)하며,상기 제1 에어 유로는 상기 제1 존으로 에어를 공급(blower)하는 제1 에어 공급로이고, 상기 제2 에어 유로는 상기 제2 존으로 에어를 공급(blower)하는제2에어공급로인것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 9]
제7항에 있어서,상기 기판척킹유닛은,상기 제1 척킹 핑거와 상기 제2 척킹 핑거가 상호 접근 또는 이격되도록 구동시키는 핑거 구동부; 및상기 제1 척킹 핑거와 상기 제2 척킹 핑거가 상기 기판 쪽으로 전후진 구동되도록 하는 전후진구동부더포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 제로 컷 더미 검출유닛은,상기 기판에 대한 사이즈(size)를 체킹하는 기판 사이즈 체킹부; 및상기 기판 사이즈 체킹부에 이웃하게 배치되며, 상기 기판을 얼라인(align)시키는기판얼라인부더포함하는것을특징으로 하는기판 절단장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 작동 또는 처리 절차를 순서대로 파악하여 질문에 답하라. 근거를 종합하여 자연스러운 문장으로 설명하라.
질문 (question)
기판 절단장치에서 제로 컷 더미의 존재 여부를 판단하기 위해 차압감지부가 감지하는 정보는 무엇이며, 컨트롤러는 제로 컷 더미가 있다고 판단될 경우 어떤 동작을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation차압감지부가 감지하는 정보와 제로 컷 더미 존재 시 컨트롤러의 동작을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction차압감지부는 제1 존 에어압과 제2 존 에어압의 압력차를 감지하며, 컨트롤러는 더미가 있을 경우 공정 엔지신호 발생부가 동작하도록 컨트롤한다.
- 제1 존 에어압과 상기 제2 존 에어압의 압력차를 감지하는 차압감지부, 상기 컨트롤러는 상기 기판에 상기 제로 컷 더미가 있다고 판단된 경우, 상기 공정 엔지신호 발생부가 동작되도록 컨트롤하는 것
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3근거 선택
evidence_selection차압감지부의 기능이 명시된 청구항 2와 컨트롤러의 동작이 명시된 청구항 4의 구절을 선택한다.
- 제1 존 에어압과 상기 제2 존 에어압의 압력차를 감지하는 차압감지부, 상기 컨트롤러는 상기 기판에 상기 제로 컷 더미가 있다고 판단된 경우, 상기 공정 엔지신호 발생부가 동작되도록 컨트롤하는 것
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4논리 통합
logical_integration차압감지부가 두 존의 에어압 차이를 감지하여 정보를 제공하면, 컨트롤러는 이를 바탕으로 더미 유무를 판단하고 공정 엔지신호 발생부를 동작시킨다.
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5결론 도출
conclusion_formulation차압감지부는 제1 존과 제2 존의 에어압 차이를 감지하며, 컨트롤러는 더미가 있다고 판단될 경우 공정 엔지신호 발생부가 동작하도록 제어한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
차압감지부는 제1 존 에어압과 제2 존 에어압의 압력차를 감지하며, 컨트롤러는 제로 컷 더미가 있다고 판단될 경우 공정 엔지신호 발생부가 동작되도록 컨트롤한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제1 및 제2 존의 에어압 차이를 이용해 제로 컷 더미의 존재 여부를 판별하고, 더미 잔존 시 공정 엔지신호를 발생시켜 공정 오류를 관리하는 기술에 관한 것이다.