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반도체 장치 및 그 제조방법 document_id 1020160068350

출원번호
1020160068350
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 1] 제1 축의 연장방향을 따라 연장되고, 상기 제1 축에 교차하는 제2 축의 양방향을 향하는 제1 측벽 및 제2 측벽을 갖는 셀 적층체 상기 셀 적층체를 관통하는 제1 열 및 제2 열의 제1 채널막들 상기 제1 열의 제1 채널막들과 상기 제2 열의 제1 채널막들 사이의 경계를 따라 연장된 제1 상부 슬릿에 의해 분리된 제1 상부 적층체 및 제2 상부 적층체 상기 제1 상부 적층체를 관통하고, 상기 제1 측벽을 향하는 상기 제1 열의 제1 채널막들의 일측들에 치우쳐 상기 제1 열의 제1 채널막들에 중첩된 제1 열의 제2 채널막들; 및 상기 제2 상부 적층체를 관통하고, 상기 제2 측벽을 향하는 상기 제2 열의 제1 채널막들의 일측들에 치우쳐 상기 제2 열의 제1 채널막들에 중첩된 제2 열의 제2 채널막들을 포함하는 반도체 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,적층체는 교대로 적층된 제1 층간 절연막들 및 제1 도전 패턴들포함하는반도체 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 제1 도전 패턴들은 메모리 셀들의 게이트들연결된반도체 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,상기 제1 열의 제1 채널막들과 상기 제1 측벽 사이와, 상기 제2 열의 제2 채널막들과 상기 제2 측벽 사이에서 상기 셀 적층체를 관통하는 다수 열의 제1 채널막들더 포함하는반도체 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 제1 상부 적층체 및 상기 제2 상부 적층체를 관통하고, 상기 다수 열의 제1 채널막들에 접촉되도록 연장된 다수 열의 제2 채널막들더 포함하는반도체 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 제1 상부 적층체 및 상기 제2 상부 적층체 각각은 순차로 적층된 제2 층간 절연막 및 제2 도전 패턴을 한 세트 포함하거나, 2 세트 이상포함하는반도체 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 제2 도전 패턴은 드레인 셀렉트 트랜지스터의 게이트연결된반도체 장치. [청구항 8] 제 1 항에 있어서,상기 제1 상부 슬릿은 상기 제1 축의 연장방향을 따라 웨이브 형형성된반도체 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기 제1 상부 적층체는 상기 제1 측벽보다 돌출된 제3 측벽을 포함하고,상기 제2 상부 적층체는 상기 제2 측벽보다 돌출된 제4 측벽포함하는반도체 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 제3 측벽 및 상기 제4 측벽은 상기 제1 상부 적층체 및 상기 제2 상부 적층체를 사이에 두고 마주하는제2상부슬릿들의측벽따라정의되는반도체 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 제2 상부 슬릿들은 상기 제1 축의 연장방향을 따라 웨이브 형형성되는반도체 장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기 제1 열의 제1 채널막들 및 상기 제2 열의 제1 채널막들 각각을 감싸고, 터널 절연막, 데이터 저장막, 및 블로킹 절연막을 포함하는 다중층 라이너막; 및상기 제1 열의 제2 채널막들 및 상기 제2 열의 제2 채널막들 각각을 감싸는 게이트 절연막더 포함하는반도체 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
제1 항의 반도체 장치에서 제1 상부 적층체와 제2 상부 적층체를 분리하는 제1 상부 슬릿의 위치와 그에 따른 적층체의 구성 관계는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    제1 항을 바탕으로 제1 상부 슬릿의 위치와 그로 인해 분리되는 제1 및 제2 상부 적층체의 구성 관계를 파악해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    제1 상부 슬릿은 제1 열의 제1 채널막들과 제2 열의 제1 채널막들 사이의 경계를 따라 연장된다.

    • 상기 제1 열의 제1 채널막들과 상기 제2 열의 제1 채널막들 사이의 경계를 따라 연장된 제1 상부 슬릿에 의해 분리된 제1 상부 적층체 및 제2 상부 적층체
  3. 3근거 선택evidence_selection

    슬릿의 위치와 적층체 분리 관계를 명시한 구절을 선택한다.

    • 상기 제1 열의 제1 채널막들과 상기 제2 열의 제1 채널막들 사이의 경계를 따라 연장된 제1 상부 슬릿에 의해 분리된 제1 상부 적층체 및 제2 상부 적층체
  4. 4논리 통합logical_integration

    제1 상부 슬릿이 제1 열과 제2 열의 채널막 사이 경계에 위치함으로써, 해당 슬릿을 기준으로 셀 적층체가 제1 상부 적층체와 제2 상부 적층체로 나뉘게 됨을 연결한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    슬릿의 위치는 제1 열과 제2 열의 채널막 사이 경계이며, 이 슬릿에 의해 적층체가 두 개의 상부 적층체로 분리된다는 결론을 도출한다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
제1 상부 슬릿은 제1 열의 제1 채널막들과 제2 열의 제1 채널막들 사이의 경계를 따라 연장되며, 이 슬릿에 의해 셀 적층체가 제1 상부 적층체와 제2 상부 적층체로 분리되는 구성 관계를 가진다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제1 상부 슬릿을 제1 열과 제2 열의 채널막 경계에 배치함으로써 상부 적층체를 두 영역으로 분리하는 구조를 정의하고 있다.