증착 기판의 에지부 들림 방지 장치 document_id 1020160081275

[청구항 1] 증착 챔버의 내부에서 기판이 위치하여 지지되는 기판 지지대 상의 상부에서 기판의 에지부에 접촉되어 기판의 들림을 방지하는 기판 클램핑 장치로서, 상기 기판에 대응하는 크기를 갖는 클램프 본체 상기 클램프 본체에 위치하며, 상기 기판의 에지부에 대응하여 복수로 배치되는 기판 접촉 유닛; 및 상기 기판 접촉 유닛에 위치하며, 상기 기판 접촉 유닛이 상기 기판에 접촉 혹은 상기 기판으로부터 분리되도록 일정 거리 이동됨에 따라 상기 기판에 접촉된 상태가 상기 일정 거리 내에서 유지되면서 상기 기판 접촉 유닛에 대해 상대 이동되도록 상기 기판 접촉 유닛에 구성되는 스텝 접촉 및 분리 유닛을 포함하는 증착 기판의 에지부 들림 방지 장치 [청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 기판 접촉 유닛에는 중앙 홈부와 상기 중앙 홈부에서 더 깊게 파여 있는 상하 통로부가 마련되며,상기 스텝 접촉 및 분리 유닛은 상기 중앙 홈부에 이동 가능하게 마련되는 선행 접촉 부재;상기 상하 통로부에 위치하여 상기 선행 접촉 부재가 상기 중앙 홈부의 상단에서 돌출되도록 상기 선행 접촉 부재를 탄력적으로 지지하는 탄력 지지 부재; 및상기 선행 접촉 부재를 상기 중앙 홈부에 대해 상대 이동 가능하게 위치 고정하며, 상기 상하 통로부의 하부에 고정되는 가이드 부재포함하는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 3] 제2 항에 있어서,상기 선행 접촉 부재는 중앙부에 홈이 있고 외곽부가 돌출되게 구성되는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 4] 제3 항에 있어서,상기 탄력 지지 부재는 상기 상하 통로부에 위치하는 코일 스프링이며,상기 가이드 부재는, 상기 선행 접촉 부재의 홈에 위치하여 상기 탄력 지지 부재에 접촉되는 상부 제한부와, 상기 상부 제한부에서 상기 탄력 지지 부재를 관통하여 연장되며, 상기 코일 스프링을 통과하여 상기 기판 접촉 유닛의 하부에 삽입되는가이드부를포함하는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 5] 제4 항에 있어서,상기 기판 접촉 유닛은,상기 클램프 본체의 에지부에 위치 고정되며, 내부에 실린더 형상을 갖는 클램핑 실린더부;상기 클램핑 실린더부에 이동 가능하게 마련되는 접촉 상하 이동부; 및상기 접촉 상하 이동부의 상부에 위치하며, 상기 기판에 접촉되는 기판 접촉부포함하는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 6] 제5 항에 있어서,상기 기판 접촉부의 상부에는 돌기들이 마련되어 있으며, 상기 돌기들은 상기 기판 접촉부의 외곽부에 위치하며 상부가 둥근 사각뿔 형상마련되는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 7] 제5 항에 있어서,상기 접촉 상하 이동부는 상기 클램핑 실린더부의 내부에 탄력적으로 지지되며, 상기 클램핑 실린더부의 상하로 돌출되어 배치되는 피스톤부재인증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 8] 제5 항에 있어서,상기 클램핑 실린더부는,상기 클램프 유닛에 삽입되어 위치하는 실린더 부재; 및상기 실린더 부재의 상부 양측에 위치하며 상기 클램프 유닛에 결합되기 위한 홀이 마련되어 있는 체결 지지 부재포함하는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 9] 제5 항에 있어서,상기 기판 접촉부의 양쪽 측부에는 상기 기판에 대한 접촉 방향에 대해 교차하게 관통 홀마련되는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 10] 제5 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판 접촉부는 애노다이징 처리된 알라미늄 재질마련되는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치. [청구항 11] 제2 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 선행 접촉 부재는 테프론 재질마련되는증착 기판의 에지부 들림 방지 장치.