듀얼 스토커 document_id 1020160084178

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 카세트 투입 컨베이어(20)는 일측에 유입된 카세트(c)에 수용된 웨이퍼(w)의 매수를 카운팅하기 위한 웨이퍼 카운팅 장치(30)가 배치되고,상기 웨이퍼 카운팅 장치는 모터와, 상기 모터의 축에 연결된 볼스크류와, 상기 볼스크류 일측에 배치되어 볼스크류의 이동에 따라 이동하는 엘엠 가이드와, 상기 엘엠 가이드에 연결된 절곡된 형태의 지지판에 배치된레이저변위센서로이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 매거진 투입 컨베이어(60)는 일측에 유입된 매거진(m)에 수용된 기판(s)의 매수를 카운팅하기 위한 기판 카운팅 장치(45)가 배치되고,상기 기판 카운팅 장치는 모터와, 상기 모터의 축에 연결된 볼스크류와, 상기 볼스크류 일측에 배치되어 볼스크류의 이동에 따라 이동하는 엘엠 가이드와, 상기 엘엠 가이드에 연결된 절곡된 형태의 지지판에 배치된레이저변위센서로이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 카세트 배출 컨베이어(40)는 일측에 카세트(c)의 상태를 감지하기 위한 복수개의 감지장치(50)가 배치되고,상기 복수개의 감지장치(50)는 브라켓(22)의 일측에 배치된 알에프 아이디 리더(radio frequency identification reader)(42)와, 브라켓(22)의 타측에 배치되며, 카세트(c)의 투입 방향을 확인하기 위한 역방향 감지센서(44)와, 상기 역방향 감지센서(44)와 간격을 두고 배치된 플랜지 유무 감지센서(46)와, 상기 브라켓(22)의 전방에 배치되고, 카세트(c)의 내측에 배치된 웨이퍼(w)의 돌출 상태를 감지하기 위한웨이퍼돌출감지센서이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 매거진 투입 및 배출 컨베이어(60,80)는 일측에 매거진(m)을 이동시키기 위한 매거진 이동장치(200)가 배치되고, 상기 매거진 이동장치(200)와 간격을 두고 스토퍼 이동장치(220)가 배치되며, 상부에 매거진(m)을 얼라인(정렬)시키기 위한 매거진 얼라인 장치(240)가 배치되며, 상기 매거진 이동장치(200)는 베이스 플레이트(210)와, 상기 베이스 플레이트(210)의 중앙에 배치되고 매거진(m)을 이동시키는 매거진 업/다운 실린더(212)와, 상기 베이스 플레이트(210)의 양측에 배치된 샤프트(213)에 배치된 볼 부시(214)와, 상기 샤프트(213)의 상부에 배치된 지지부재(216)로 이루어지며,상기 스토퍼 이동장치(220)는 스토퍼 블럭(230)와, 상기 스토퍼 블럭(230)과 연결되어 스토퍼 블럭(230)을 상,하 방향으로 이동시키는 스토퍼 업/다운 실린더(234)로 이루어지고,상기 매거진 얼라인 장치(240)는 매거진 얼라인 블럭(242)과, 상기 매거진 얼라인 블럭(242)을 누르는 푸셔(244)와, 상기 푸셔(244)를 이동시키는매거진얼라인실린더이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 듀얼 랙 마스터(110)의 제1 랙 마스터(70)는 엘엠 레일(172)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(171)과, 상기 베이스 판(171)의 상부에 배치되며, 엘엠 레일(172)과 연결된 엘엠 가이드(174)를 구비한 상부판(173)과, 상기 베이스 판(171)의 중앙에 배치되며, 카세트(c)를 그립하기 위한 그립퍼 블럭(175)과, 상기 그립퍼 블럭(175)을 동작시키는 그립퍼 실린더(176)와, 상기 베이스 판(171)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(182,184)와, 상기 제1 및 제2 풀리(182,184)의 사이에 배치된 벨트(186)와, 상기 제1 풀리(182)에 연결된모터이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 듀얼 랙 마스터(110)의 제2 랙 마스터(90)는 엘엠 레일(192)이 간격을 두고 배치된 베이스 판(191)과, 상기 베이스 판(191)의 상부에 배치되며 엘엠 레일(192)과 연결된 엘엠 가이드(194)를 갖는 이동판(193)과, 상기 이동판(193)과 연결된 안내판(198)의 상측에 배치되며 유입되는 매거진(m)을 감지하기 위한 매거진 감지센서(197)와, 상기 베이스 판(191)의 중앙에 배치되며 매거진(m)를 그립하기 위한 그립퍼 블럭(195)과, 상기 그립퍼 블럭(195)을 동작시키는 그립퍼 실린더(196)와, 상기 베이스 판(191)에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 풀리(282,284)와, 상기 제1 및 제2 풀리(282,284)의 사이에 배치된 벨트(286)와, 상기 제1 풀리(282)에 연결된모터이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 매거진 오토 포트(125)는 플레이트(185)의 하부에 배치된 구동원(142)과, 상기 구동원(142)에 각기 연결된 제1풀리(144)와 상기 제1풀리(144)와 간격을 두고 배치된 제2 풀리(146)를 상호 연결하는 벨트(148)와, 상기 제2 풀리(146)에 각기 연결된 회전축(145)과, 상기 회전축(145)에 연결된회전유닛이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 매거진 오토 포트(125)는 회전 유닛(149)의 일측에 배치되며 매거진(m)을 그립하는 한 쌍의 매거진 인풋/아웃풋 그립퍼(121,123)와, 상기 한 쌍의 매거진 인풋/아웃풋 그립퍼(121,123)을 각각 동작시키는 투입 및 배출 매거진 그립 실린더(221,223)와, 회전 유닛의 타측에 배치되며 투입/배출되는 매거진(m)을 인식하는투입및배출매거진알에프리더더포함하는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 카세트 오토 포트(135)는 플레이트(165)의 하부에 배치된 구동원(162)과, 상기 구동원(162)에 연결된 제1풀리(164)와 상기 제1풀리(164)와 간격을 두고 배치된 제2 풀리(166)를 상호 연결하는 벨트(168)와, 상기 제2 풀리(166)에 각기 연결된 회전축(165)과, 상기 회전축(165)에 연결된회전유닛이루어지는것을특징으로 하는듀얼 스토커. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 카세트 오토 포트(135)는 회전 유닛(169)의 모서리에 배치되며 카세트(c)를 안내하는 복수개의 카세트 가이드(365)와, 회전 유닛(169)의 일측에 배치된 브라켓(367)에 배치된카세트알에프리더더포함하는것을특징으로 하는듀얼 스토커.