유도 결합 플라즈마 처리 장치 document_id 1020160086552

[청구항 1] 진공 용기의 유전체 상판 상에 배치되고 일정한 반경을 가지는 복층 구조의 내측 안테나 상기 진공 용기의 상기 유전체 상판 상에 배치되고 상기 내측 안테나의 외곽에 배치된 외측 안테나 상기 내측 안테나와 상기 외측 안테나에 전력을 각각 분배하는 전력 분배부; 및 상기 전력 분배부를 통하여 상기 내측 안테나와 상기 외측 안테나에 전력을 제공하는 rf 전원을 포함하고, 상기 전력 분배부는 상기 내측 안테나와 상기 외측 안테나들 사이에 전력을 분배하고, 상기 외측 안테나는 제1 반경과 상기 제1 반경보다 큰 제2 반경을 가지는 복층 구조인 것으로 하는 유도 결합 플라즈마 처리 장치 [청구항 2] 제1 항에 있어서,상기 외측 안테나는 한 쌍의 제1 외측 단위 안테나들와 한 쌍의 제2 외측 단위 안테나들을 포함하고,상기 제1 외측 단위 안테나와 상기 제2 외측 단위 안테나는 서로 다른구조가지는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 3] 제2 항에 있어서,상기 제1 외측 단위 안테나는:상부층에 배치되고 상기 제1 반경의 1/4 턴을 가지는 제1 내측 상부 곡선부;상기 제1 내측 상부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제1 반경 연장부; 하부층에 배치되고 상기 제1 반경 연장부에 연결되고 상기 제2 반경의 1/2 턴을 가지는 제1 외측 하부 곡선부; 상기 제1 외측 하부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제2 반경 연장부; 및상기 상부층에 배치되고 상기 제2 반경 연장부에 연결되고 상기 제1 반경의 1/4 턴을 가지는 제2 내측 상부 곡선부를포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 4] 제3 항에 있어서,상기 제2 외측 단위 안테나는:상부층에 배치되고 상기 제2 반경의 1/4 턴을 가지는 제1 외측 상부 곡선부;상기 제1 외측 상부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제1 반경 연장부; 하부층에 배치되고 상기 반경 연장부에 연결되고 상기 제1 반경의 1/2 턴을 가지는 제1 내측 하부 곡선부;상기 제1 내측 하부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제2 반경 연장부;및 상기 상부층에 배치되고 상기 제2 반경 연장부에 연결되고 상기 제2 반경의 1/4 턴을 가지는 제2 외측 상부 곡선부를포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 5] 제4 항에 있어서,상기 전력 분배부는 상기 내측 안테나에 전력을 분배하는 내측 전력 분배부와 상기 외측 안테나에 전력을 분배하는 외측 전력 분배부를 포함하고,상기 내측 전력 분배부는:원통 형상의 내측 전력 분배 몸체부; 상기 내측 전력 분배 몸체부의 일단에서 방사형으로 분기하는 내측 전력 분배 분기부; 및상기 내측 전력 분기부에서 수직으로 연장되는 내측 수직 연결부;를 포함하고,상기 외측 전력 분배부는:상기 내측 전력 분배 몸체부를 감싸도록 배치되고 원통 형상의 외측 전력 분배 몸체부;상기 외측 전력 분배 몸체부의 일단에서 방사형으로 분기하고 상기 제2 반경 까지 연장되는 외측 전력 직선 분기부;상기 외측 전력 분배 몸체부의 일단에서 방사형으로 분기하고 상기 제1 반경까지 곡선을 따라 연장되는 외측 전력 곡선 분기부;상기 외측 전력 직선 분기부에서 수직으로 연장되고 상기 제2 외측 상부 곡선부에 연결되는 외측 수직 연결부; 및상기 외측 전력 곡선 분기부에서 수직으로 연장되고 상기 제1 내측 상부 곡선부(121)에는 연결되는내측수직연결부포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 6] 제1 항에 있어서,상기 내측 안테나는 동일한 구조의 제1 내측 단위 안테나 및 제2 내측 단위 안테나를 포함하고,상기 제1 내측 안테나 및 제2 내측 안테나는 동일한 형상이고 서로 대칭적으로 배치되고 중첩된 복층 구조를 제공하고,상기 제1 내측 안테나는:45도 원호를 가지고 상부층에 배치되는 제1 45도 상부 브랜치;상기 제1 45도 상부 브랜치에 연속적으로 연결되고 배치 평면을 상부면에서 하부면을 변경하는 제1 플러그;상기 제1 플러그에 연속적으로 연결되고 180도 원호를 가지고 안테나의 하부면에 배치되는 180도 하부 브랜치;상기 180도 하부 브랜치에 연속적으로 연결되고 배치 평면을 하부면에서 상부면으로 변경하는 제2 플러그; 및상기 제2 플러그에 연속적으로 연결되고 상기 45도 원호를 가지고 안테나의 상부면에 배치되는제245도상부브랜치포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 7] 제4 항에 있어서,상기 제2 내측 상부 곡선부에 연결되고 상기 외측 안테나가 배치되는 배치 평면에서 수직으로 연장되는 외측 접지 연결부;일단은 상기 제2 외측 상부 곡선부에 연결되고 상기 외측 안테나가 배치되는 배치평면에서 수직으로 연장되는 내측 접지 연결부; 및상기 내측 접지 연결부의 타단 및 상기 외측 접지 연결부의 타단을 고정하고 접지되는 도전성 고정판;을 더 포함하고,상기 도전성 고정판은 중심에 관통홀을 포함하고,상기 전력 분배부는 상기 관통홀을 통하여 연장되도록배치되는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 8] 제1 항에 있어서,상기 전력 분배부는:상기 내측 안테나와 상기 외측 안테나에 흐르는 전류를 제어하도록 상기 내측 안테나와 직렬 연결된 전력 분배 가변 축전기; 및병렬 연결된 상기 외측 안테나들에 직렬 연결된고정인덕터더포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 9] 제1 항에 있어서,상기 내부 안테나의 전류의 방위각 방향은 상기 외부 안테나의 전류의 방향과 동일한방향인것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 10] 제1 항에 있어서,상기 내부 안테나의 전류의 방위각 방향은 상기 외부 안테나의 전류의 방향과 반대방향인것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 처리 장치. [청구항 11] 제1 반경 및 상기 제1 반경보다 큰 제2 반경을 가지는 복층 구조의 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체에 있어서, 상기 제1 반경을 가진 부위에서 전력을 각각 공급받는 한 쌍의 제1 단위 안테나들; 및 상기 제2 반경을 가진 부위에서 전력을 각각 공급받는 한 쌍의 제2 단위 안테나들 을 포함하고, 상기 제1 단위 안테나와 상기 제2 단위 안테나는 상부층에 배치된 부위와 하부층에 배치된 구조를 포함하고, 상기 제1 단위 안테나와 상기 제2 단위 안테나는 서로 다른 구조를 가지고, 한 쌍의 상기 제1 단위 안테나는 서로 중첩되도록 배치되고 상기 제1 반경의 1턴 및 상기 제2 반경의 1턴을 제공하고, 한 쌍의 상기 제2 단위 안테나는 서로 중첩되도록 배치되고 상기 제1 반경의 1턴 및 상기 제2 반경의 1턴을 제공하는 것을 특징으로 하는 유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제1 단위 안테나는:일단은 전력을 공급받고 상부층에 배치되고 상기 제1 반경의 1/4 턴을 가지는 제1 내측 상부 곡선부;상기 제1 내측 상부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제1 반경 연장부; 하부층에 배치되고 상기 제1 반경 연장부에 연결되고 상기 제2 반경의 1/2 턴을 가지는 제1 외측 하부 곡선부; 상기 제1 외측 하부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제2 반경 연장부; 및상기 상부층에 배치되고 상기 제2 반경 연장부에 연결되고 상기 제1 반경의 1/4 턴을 가지는 제2 내측 상부 곡선부를포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체. [청구항 13] 제12 항에 있어서,상기 제2 단위 안테나는:일단은 전력을 공급받고 상부층에 배치되고 상기 제2 반경의 1/4 턴을 가지는 제1 외측 상부 곡선부;상기 제1 외측 상부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제1 반경 연장부; 하부층에 배치되고 상기 반경 연장부에 연결되고 상기 제1 반경의 1/2 턴을 가지는 제1 내측 하부 곡선부;상기 제1 내측 하부 곡선부에 연결되고 반경을 변경하고 배치 평면을 변경하는 제2 반경 연장부;및 상기 상부층에 배치되고 상기 제2 반경 연장부에 연결되고 상기 제2 반경의 1/4 턴을 가지는 제2 외측 상부 곡선부를포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체. [청구항 14] 제13 항에 있어서,상기 제1 단위 안테나들 및 상기 제2 단위 안테나들에 전력을 분배하는 전력 분배부를 더 포함하고,상기 전력 분배부는:원통 형상의 전력 분배 몸체부;상기 전력 분배 몸체부의 일단에서 방사형으로 분기하고 상기 제2 반경 까지 연장되는 전력 직선 분기부;상기 전력 분배 몸체부의 일단에서 방사형으로 분기하고 상기 제1 반경까지 곡선을 따라 연장되는 전력 곡선 분기부;상기 전력 직선 분기부에서 수직으로 연장되고 상기 제2 외측 상부 곡선부에 연결되는 외측 수직 연결부; 및상기 외측 전력 곡선 분기부에서 수직으로 연장되고 상기 제1 내측 상부 곡선부에는 연결되는내측수직연결부포함하는것을특징으로 하는유도 결합 플라즈마 발생용 안테나 구조체.