박막 증착 장치 document_id 1020160088199

[청구항 1] 챔버; 상기 챔버 내에서 기판들을 지지하기 위한 제1 스테이지와 제2 스테이지 상기 제1 스테이지에 대응되는 제1 스테이지 영역과 상기 제2 스테이지에 대응되는 제2 스테이지 영역 사이를 이동하고, 소스 재료가 분출되는 복수의 노즐들을 포함하는 증발원 어셈블리; 및 상기 제1 스테이지와 상기 제2 스테이지 사이에 배치되어 상기 노즐들을 촬상하기 위한 촬상 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기촬상 어셈블리로부터 제공된 이미지 데이터에 기초하여 상기 노즐들의 막힘 상태를 판단하는제어부더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 증발원 어셈블리를 이동시키기 위한구동 어셈블리더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 증발원 어셈블리는소스 재료가 수용되는 증발용기; 상기 노즐들이 배열되고 상기 증발용기를 덮는 열 반사판; 및 상기 소스 재료를 가열하기 위한가열부더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 제어부는 상기 이미지 데이터를 분석하는 이미지 분석부;상기 증발원 어셈블리가 상기 제1 스테이지 영역과 상기 제2 스테이지 영역 사이를 이동하도록 상기 구동 어셈블리를 제어하는 구동 제어부; 및상기 가열부의 발열 정도를 제어하는가열제어부포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 제어부는 상기 노즐들 중 미리 정해진 개수 이상의 노즐이 막힌 것으로 판단된 경우, 상기 가열부가 발열하도록제어함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 7] 제 5 항에 있어서,상기 노즐들의 막힘 상태를 표시하기 위한표시부더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 제어부는 상기 노즐들 중 어느 한 노즐에 대하여 노즐 개구 영역의 막힘 정도가 기준값 이상인 경우, 상기 표시부를 통해경고함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 9] 제 1 항에 있어서,상기촬상 어셈블리는 상기 증발원 어셈블리의 이동 경로 상에 구비되어, 이동 중인 상기 증발원 어셈블리의 노즐들특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 10] 제 1 항에 있어서,상기촬상 어셈블리의 촬상 횟수는 하나의 노즐 열에 포함된상기노즐들의개수대응됨을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 11] 제 2 항에 있어서,상기 제어부는 상기 증발원 어셈블리가 상기 제1 스테이지 영역과 상기 제2 스테이지 영역 사이를 이동할 때마다 미리 설정된 타이밍으로 촬상하도록 상기 촬상어셈블리제어함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 12] 제 1 항에 있어서,상기촬상 어셈블리는내부 공간을 갖는 하우징;상기 하우징 내에 배치되는 복수의 카메라부들;상기 복수의 카메라부들에 대응되는 조명부들; 및상기 증발원 어셈블리와 마주보는 상기 하우징의 전면에 배치되는견시창더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 하우징 내부는대기압상태유지됨을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 카메라부들의 개수는 상기 증발원 어셈블리에 배열되는노즐열의개수동일함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 15] 제 12 항에 있어서,상기 증발원 어셈블리와 상기촬상 어셈블리 사이에 구비되어 상기 견시창에 대응되는 영역을 개폐하도록 구성되는셔터부더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 16] 제 15 항에 있어서,상기촬상 어셈블리와 상기 셔터부 사이에 탈착 가능하도록 제공되는커버글라스부더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치. [청구항 17] 제 12 항에 있어서,상기 견시창에 대응되는 영역 이외에 상기 소스 재료가 접하는 것을 방지하기 위한방착판더포함함을특징으로 하는박막 증착 장치.