문맥 (context)
[청구항 1]
기판의 가장자리를 지지하는 기판지지부와
상기 기판으로부터 상기 기판지지부에 가해지는 수평하중을 감지하는 하중감지부와
상기 하중감지부에서 감지된 결과에 따라 상기 기판에 대한 상기 기판지지부의 위치를 제어하는 위치제어부를
포함하는 것을 특징으로 하는 기판 스피닝 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 하중감지부는, 상기 기판의 표면에 세정브러쉬가 접촉하는 동안 상기 기판으로부터 상기 기판지지부에 가해지는수평하중감지하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 기판지지부가 이동 가능하게 결합되는 베이스부를 포함하고,상기 하중감지부의 일단은 상기 베이스부에 연결되고, 타단은 상기 기판지지부에 연결되되,상기 하중감지부는 상기 수평하중에 의해 상기 베이스부에 대해 상기 기판지지부가 이동함에 따른 이동하중감지하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 베이스부에 대해 상기 기판지지부를 직선 이동 가능하게 연결하는 직선연결부를 포함하고,상기 하중감지부는 상기 베이스부에 대해 상기 기판지지부가 직선 이동함에 따른 이동하중감지하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 베이스부에 대해 상기 기판지지부를 회전 이동 가능하게 연결하는 회전연결부를 포함하고,상기 하중감지부는 상기 베이스부에 대해 상기 기판지지부가 회전 이동함에 따른 이동하중감지하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되며,상기 기판지지부에 가해지는 상기 수평하중은 상기 회전연결부를 중심으로 회전하는 상기 기판지지부에 의해 증폭되어 상기 하중감지부감지되는 것을기판 스피닝 장치.
[청구항 7]
제3항에 있어서,상기 하중감지부는로드셀인것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 8]
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판지지부는,기판의 가장자리 일측을 지지하도록 고정 설치되는 고정지지부와;상기 고정지지부를 마주하는 상기 기판의 가장자리 다른 일측을 지지하며, 상기 기판에 접근 및 이격되는 방향으로 이동 가능하게 제공되는 가동지지부를; 포함하고,상기 하중감지부는 상기 기판으로부터 상기 가동지지부에 가해지는수평하중감지하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 가동지지부는,상기 기판의 가장자리를 지지하는 제1가동지지체와;상기 제1가동지지체로부터 이격되게 배치되어 상기 기판의 다른 가장자리를 지지하는 제2가동지지체와;상기 제2가동지지체에 일체로 연결되며, 상기 하중감지부가 연결되는공용지지부포함하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 10]
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 하중감지부에서 감지된 상기 수평하중이 기설정된 설정범위와 다르면 경보신호를 발생시키는경보발생부더포함하는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
[청구항 11]
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 위치제어부는 상기 하중감지부에서 감지된 결과에 따라 상기 기판에 대해상기기판지지부를접근이격시키는것을특징으로 하는기판 스피닝 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 스피닝 장치에서 하중감지부가 수평하중을 감지할 때, 회전연결부를 포함하는 구성에서 하중이 증폭되어 감지되는 조건은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판 스피닝 장치에서 회전연결부를 포함할 때, 하중이 증폭되어 감지되는 구체적인 조건을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5와 6을 통해 회전연결부와 하중감지부, 그리고 거리 간의 관계를 추출한다.
- 상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되며
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3근거 선택
evidence_selection하중 증폭의 조건이 명시된 청구항 6의 거리 관계 구절을 선택한다.
- 상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되며
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4논리 통합
logical_integration제1거리(회전연결부-하중감지부)가 제2거리(회전연결부-기판)보다 작을 때 하중이 증폭된다는 인과관계를 파악한다.
- 상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되며,상기 기판지지부에 가해지는 상기 수평하중은 상기 회전연결부를 중심으로 회전하는 상기 기판지지부에 의해 증폭되어 상기 하중감지부감지되는
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5결론 도출
conclusion_formulation제1거리가 제2거리보다 작게 형성되는 조건이 하중 증폭의 조건임을 도출한다.
- 상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되며
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6답변 생성
answer_generation추출된 조건을 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되며
최종 답변 (final_answer)
상기 회전연결부와 상기 하중감지부 사이의 제1거리는, 상기 회전연결부와 상기 기판 사이의 제2거리보다 작게 형성되는 조건이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
회전연결부를 이용한 기판지지부의 회전 이동 시, 회전 중심으로부터 하중감지부까지의 거리(제1거리)를 기판까지의 거리(제2거리)보다 작게 설정함으로써 수평하중을 증폭하여 감지할 수 있다.