기판 처리 장치 document_id 1020160102516

[청구항 1] 피처리 기판에 대한 약액 도포 공정을 처리하는 기판 처리 장치에 있어서, 초음파에 의한 진동 에너지를 이용하여 기판을 부상시킨 상태로 이송하는 기판이송부와 상기 기판의 표면에 약액을 도포하는 약액 도포 유닛과 상기 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되며, 상기 기판이 상기 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 상기 기판의 하부에 존재하는 이물질을 제거하는 이물질 제거부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판이송부는,상기 기판이 로딩되는 로딩영역과;상기 약액 도포 유닛에 의해 상기 약액이 도포되는 약액도포영역과;상기 약액이 도포된 상기 기판이 언로딩되는언로딩영역포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 이물질 제거부는상기로딩영역과상기약액도포영역의경계구비된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 이물질 제거부는상기로딩영역구비된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 이물질 제거부는 상기 약액도포영역에 인접하게상기로딩영역의단부형성된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 이물질 제거부는 상기 약액도포영역에 구비되되, 상기 약액 도포 유닛보다 먼저 상기 기판에 근접하도록 상기 약액 도포 유닛에이격되게배치된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 기판이송부는,상기 기판의 이송 경로를 따라 배치되는 진동플레이트와;상기 진동플레이트에 의해 부상된 상기 기판을 이송시키는 이송부재를; 포함하고,상기 이물질 제거부는상기진동플레이트구비된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 이물질 제거부는 상기 진동플레이트에 형성되며 상기 이물질이 배출되는배출홀인것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 배출홀은 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 연속적인슬릿형태형성된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 10] 제8항에 있어서,상기 배출홀은 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라이격되게복수개형성된것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 배출홀은,상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 제1열을 이루도록 이격되게 배치되는 복수개의 제1배출홀과;상기 제1열로부터 이격된 제2열을 이루도록 배치되되, 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 방향을 따라 상기 제1배출홀과 교호적으로 배치되는복수개의제2배출홀포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 12] 제8항에 있어서,상기 배출홀에 흡입압을 인가하는 흡입압 형성부를 더 포함하고,상기 배출홀에 형성되는 상기 흡입압에 의해 상기 기판이지지가능한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,물질은 비고착성인것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,물질은 상기 기판의 부상 높이보다 큰 크기를 가지며, 상기 기판에 의해 쓸려이동가능한것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 기판의 하부에서 상기 이물질을 감지하는감지센서더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 감지센서는 상기 약액 도포 유닛과 이격되게 배치되며, 상기 이물질이 상기 약액 도포 유닛에 도달하기 전에 먼저 상기 이물질감지하는것을특징으로 하는기팜 처리 장치. [청구항 17] 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판이 이송되는 방향에 수직한 상기 진동플레이트의 제1폭은 상기 기판이 이송되는 방향에 수직한상기기판의제2폭형성되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 18] 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진동플레이트는 수평면에 수평하게 배치되고,상기 기판은 상기 진동플레이트에 평행하게부상되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 19] 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진동플레이트는 상기 기판의 진행 방향을 따른 일측변을 중심으로 수평면에 경사지게 배치되고,상기 기판은 상기 진동플레이트에 평행하게부상되는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,수평면에 대해 경사지게 틸팅된 상기 기판의 일측변을 지지하며, 상기 기판을 이송시키는 이송부재를 포함하되,상기 이송부재에는 상기 기판의 하중이 작용되고, 상기 기판의 하중에 의한 마찰력에 의해 상기 기판은 상기 이송부재에 의해이송되는것을특징으로 하는기판 처리 장치.