평탄화 X선 방사선장을 생성하는 장치 및 방법 document_id 1020167008292

[청구항 1] 고에너지 전자빔을 생성하기 위한 복수의 전자가속기; 및 진공 타겟 챔버, 타겟 및 복수의 입력 연결장치를 포함하는 공통 타겟유닛을 구비하고, 상기 복수의 전자가속기는 상기 복수의 입력 연결장치와 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장을 생성하는 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 복수의 입력 연결장치는 상기 진공 타겟 챔버의 일측에 장착되고, 상기 타겟은 상기 진공 타겟 챔버의 상기 복수의 입력 연결장치와 대향하는 타측에 장착되며,상기 복수의 입력 연결장치의 축선은 둘씩 서로 예정된 협각을 이루도록 한 점에서 교차하는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 복수의 입력 연결장치의 축선이 둘씩 서로 이루는 예정된 협각은 동일한 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 복수의 입력 연결장치의 축선이 둘씩 서로 이루는 예정된 협각은 동일하지 않은 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,평면구조이고, 상기 복수의 입력 연결장치에서 상기 진공 타겟 챔버로 진입한 전자빔은 상기 타겟의 진공측 평면 상의 한 점에서 교차하는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 6] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,구면구조이고, 상기 복수의 입력 연결장치에서 상기 진공 타겟 챔버로 진입한 전자빔은 상기 구면의 구심에서 교차하는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 7] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,구조이고, 상기 복수의 입력 연결장치에서 상기 진공 타겟 챔버로 진입한 전자빔은 수직으로 타겟 평면에 입사되는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 8] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 공통타겟유닛은 상기 진공 타겟 챔버의 외부에 장착되어 상기 타겟의 한 면을 감싸고, 내부는 파이프 또는 캐비티로 마련되어 냉각제가 내부에서 순환 유동될 수 있도록 함으로써 상기 타겟을 냉각하는 냉각장치; 상기 냉각장치에 연결되어 저온 항온의 냉각제를 상기 냉각장치로 이송하며, 상기 냉각장치에서 흘러나온 고온 냉각제의 온도를 설정값으로 낮추는 냉동 시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 9] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 공통타겟유닛은 상기 공통 타겟유닛의 측벽에 장착되고, 상기 진공 타겟 챔버와 진공 밀봉되도록 연결되어 상기 진공 타겟 챔버가 작동 과정에서 고진공 상태를 유지하도록 하는 진공 시스템을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 10] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 공통타겟유닛은 상기 입력 연결장치의 외부에 장착되는 복수의 집속장치; 상기 집속장치와 연결되어 상기 집속장치의 작동 상태를 제어하는 집속 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 11] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 전자가속기는 동일한 구조로 마련되고, 상기 전자가속기는 전자 선형 가속기이며,상기 전자가속기는 전자방출유닛, 전자가속유닛, 출력 연결장치, 마이크로웨이브 전송 장치, 마이크로웨이브 전력원, 전원 및 제어시스템으로 구성되고,상기 전자가속유닛의 일단은 상기 전자방출유닛에 연결되고, 타단은 상기 출력 연결장치에 연결되며, 상기 전원 및 제어시스템은 상기 전자방출유닛 및 상기 마이크로웨이브 전력원에 각각 연결되고, 상기 마이크로웨이브 전력원은 상기 마이크로웨이브 전송 장치를 통해 상기 전자가속유닛에 연결되고, 상기 전원 및 제어시스템은 상급 전원 및 제어시스템에 연결되며,상기 출력 연결장치와 상기 공통 타겟유닛의 상기 입력 연결장치는 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 12] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 전자가속기는 동일한 구조로 마련되고, 상기 전자가속기는 전자 선형 가속기이며,상기 복수의 전자가속기는 동일한 전원 및 제어시스템, 마이크로웨이브 전력원, 마이크로웨이브 전력 분배 장치를 구비하고,상기 복수의 전자가속기 각각은 전자방출유닛, 전자가속유닛, 출력 연결장치, 마이크로웨이브 전송장치를 더 포함하며,상기 전자가속유닛의 일단은 상기 전자방출유닛의 일단에 연결되고, 타단은 상기 출력 연결장치에 연결되며, 상기 전자방출유닛은 상기 전원 및 제어시스템에 연결되고, 상기 마이크로웨이브 전송장치는 상기 전자가속유닛에 연결되며,상기 출력 연결장치는 상기 공통 타겟유닛의 상기 출력 연결장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 13] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 전자가속기의 에너지는 동일한 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 14] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 전자가속기의 에너지는 동일하지 않은 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 15] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 전자가속기는 동일한 평면 내에 있는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치. [청구항 16] 제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 전자가속기는 동일한 평면 내에 있지 않는 있는 것을 특징으로 하는 평탄화 x선 방사선장생성하는장치.