기판 처리 장치 document_id 1020167017904

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가 상기 컵부의 저부에 형성되고,상기 제 1 챔버 배기 포트 및 상기 제 2 챔버 배기 포트가 상기 챔버의 저부형성되는,기판 처리 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가, 상기 제 1 챔버 배기 포트 및 상기 제 2 챔버 배기 포트로부터 상기 둘레 방향으로 이간된 위치에 위치하는 상태에서, 상기 컵 배기 포트의 하단이 상기 챔버의 상기 저부에 근접함으로써, 또는 상기 제 1 챔버 배기 포트의 상단 및 상기 제 2 챔버 배기 포트의 상단이 상기 컵부의 상기 저부에 근접함으로써, 상기 컵 배기 포트를 통한 상기 컵부 내의 기체의 흡인정지되는,기판 처리 장치. [청구항 4] 제 2 항에 있어서,상기 컵부의 상기 저부에 컵 배액 포트가 형성되고,상기 챔버의 상기 저부에, 상기 둘레 방향으로 배열된 제 1 챔버 배액 포트 및 제 2 챔버 배액 포트가 형성되고,상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트에 중첩된 상태에서는, 상기 컵 배액 포트가 상기 제 1 챔버 배액 포트와 중첩되고, 상기 제 1 챔버 배액 포트에 접속되는 상기 챔버 외의 제 1 배액부로 상기 컵부 내의 처리액이 배출되고,상기 컵 배기 포트가 상기 제 2 챔버 배기 포트에 중첩되는 상태에서는, 상기 컵 배액 포트가 상기 제 2 챔버 배액 포트와 중첩되고, 상기 제 2 챔버 배액 포트에 접속되는 상기 챔버 외의 제 2 배액부로 상기 컵부 내의 처리액이 배출되고,상기 제 1 챔버 배액 포트의 상기 둘레 방향의 길이가, 상기 컵 배액 포트의 상기 둘레 방향의 길이보다 길고,상기 컵 배액 포트가 상기 제 1 챔버 배액 포트에 중첩되고, 상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트에 중첩되는 상태로부터, 상기 컵 배액 포트와 상기 제 1 챔버 배액 포트의 중복을 유지하면서 상기 컵부가 회전함으로써, 상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트로부터 어긋난 위치로 이동하고,상기 컵 배기 포트가, 상기 컵부의 상기 저부에 형성되어 하방으로 돌출되는 저부 돌출부 내에 형성되고,상기 저부 돌출부의 하단면이, 상기 상하 방향에 수직이고,상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트로부터 어긋난 상기 위치에 위치하는 상태에 있어서, 상기 제 1 챔버 배기 포트의 상단이, 상기 저부 돌출부의 상기 하단면에 근접함으로써, 상기 컵 배기 포트를 통한 상기 컵부 내의 기체의 흡인정지되는,기판 처리 장치. [청구항 5] 제 1 항에 있어서,상기 컵부가 상기 중심축을 중심으로 하는 환상이고,상기 컵부가,원환상의 저부와,상기 저부의 내주부로부터 상방으로 퍼지는 원통상의 내측벽부와,상기 저부의 외주부로부터 상방으로 퍼지는 원통상의 외측벽부를 구비하고,상기 내측벽부 또는 상기 외측벽부에 상기 컵 배기 포트가 형성되고,상기 컵부의 상기 내측벽부 또는 상기 외측벽부와 대향하는 상기 챔버의 측벽부에, 상기 제 1 챔버 배기 포트 및 상기 제 2 챔버 배기 포트형성되는,기판 처리 장치. [청구항 6] 제 5 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가, 상기 제 1 챔버 배기 포트 및 상기 제 2 챔버 배기 포트로부터 상기 둘레 방향으로 이간된 위치에 위치하는 상태에서, 상기 컵 배기 포트가 상기 챔버의 상기 측벽부에 근접함으로써, 상기 컵 배기 포트를 통한 상기 컵부 내의 기체의 흡인정지되는,기판 처리 장치. [청구항 7] 제 1 항에 있어서,상기 컵부의 저부에 컵 배액 포트가 형성되고,상기 챔버의 저부에, 상기 둘레 방향으로 배열된 제 1 챔버 배액 포트 및 제 2 챔버 배액 포트가 형성되고,상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트에 중첩된 상태에서는, 상기 컵 배액 포트가 상기 제 1 챔버 배액 포트와 중첩되고, 상기 제 1 챔버 배액 포트에 접속되는 상기 챔버 외의 제 1 배액부로 상기 컵부 내의 처리액이 배출되고, 상기 컵 배기 포트가 상기 제 2 챔버 배기 포트에 중첩되는 상태에서는, 상기 컵 배액 포트가 상기 제 2 챔버 배액 포트와 중첩되고, 상기 제 2 챔버 배액 포트에 접속되는 상기 챔버 외의 제 2 배액부로 상기 컵부 내의 처리액배출되는,기판 처리 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 챔버의 상기 저부에, 상기 제 1 챔버 배액 포트 및 상기 제 2 챔버 배액 포트와 함께 상기 둘레 방향으로 배열되고, 상기 제 1 배액부가 접속되는 또 하나의 제 1 챔버 배액 포트가 형성되고,상기 컵 배액 포트가 상기 또 하나의 제 1 챔버 배액 포트에 중첩되는 상태에서는, 상기 컵부 내의 처리액이 상기 제 1 배액부로 배출되고, 상기 컵 배기 포트가, 상기 제 1 챔버 배기 포트 및 상기 제 2 챔버 배기 포트로부터 상기 둘레 방향으로 이간된 위치위치하는,기판 처리 장치. [청구항 9] 제 7 항에 있어서,상기 제 1 챔버 배액 포트의 상기 둘레 방향의 길이가, 상기 컵 배액 포트의 상기 둘레 방향의 길이보다 길고,상기 컵 배액 포트가 상기 제 1 챔버 배액 포트에 중첩되고, 상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트에 중첩되는 상태로부터, 상기 컵 배액 포트와 상기 제 1 챔버 배액 포트의 중복을 유지하면서 상기 컵부가 회전함으로써, 상기 컵 배기 포트가 상기 제 1 챔버 배기 포트로부터 어긋난 위치이동하는,기판 처리 장치. [청구항 10] 제 7 항에 있어서,상기 컵부가 상기 중심축을 중심으로 하는 환상이고,상기 컵부가,원환상의 상기 저부와,상기 저부의 내주부로부터 상방으로 퍼지는 원통상의 내측벽부와,상기 저부의 외주부로부터 상방으로 퍼지는 원통상의 외측벽부와,상기 내측벽부와 상기 외측벽부 사이에서 상기 저부로부터 상방으로 퍼지는 원통상의 칸막이벽을 구비하고,상기 처리액 공급부로부터의 처리액은, 상기 컵부의 상기 외측벽부와 상기 칸막이벽 사이의 공간에 유입되고,상기 컵 배액 포트가, 상기 칸막이벽보다 상기 중심축을 중심으로 하는 직경 방향 외측에 위치하고,상기 컵 배기 포트가, 상기 칸막이벽보다 상기 직경 방향 내측위치하는,기판 처리 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 기판 유지부를 상기 컵부에 대해 상기 상하 방향으로 상대적으로 이동시키는 승강 기구를 추가로 구비하고,상기 컵부가, 상기 칸막이벽과 상기 외측벽부 사이에서 상기 저부로부터 상방으로 퍼지는 통상의 또 하나의 칸막이벽을 추가로 구비하고,상기 컵 배액 포트가, 상기 또 하나의 칸막이벽보다 상기 직경 방향 내측에 위치하고,상기 컵부의 상기 저부에, 상기 또 하나의 칸막이벽보다 상기 직경 방향 외측에 위치하는 다른 컵 배액 포트가 형성되고,상기 챔버의 상기 저부에, 상기 제 1 챔버 배액 포트 및 상기 제 2 챔버 배액 포트보다 상기 직경 방향 외측에 위치하고, 다른 배액부가 접속되는 다른 챔버 배액 포트가 형성되고,상기 승강 기구에 의해, 상기 기판이, 상기 컵부에 대한 제 1 위치와 상기 제 1 위치보다 상방의 제 2 위치 사이를 상기 기판 유지부와 함께 이동하고,상기 기판이 상기 제 1 위치에 위치하는 상태에서는, 상기 처리액 공급부로부터 상기 기판 상에 공급된 처리액이, 상기 컵부의 상기 또 하나의 칸막이벽과 상기 칸막이벽 사이의 공간에 유입되고,상기 기판이 상기 제 2 위치에 위치하는 상태에서는, 상기 처리액 공급부로부터 상기 기판 상에 공급된 처리액이, 상기 컵부의 상기 외측벽부와 상기 또 하나의 칸막이벽 사이의 공간에 유입되고, 상기 다른 컵 배액 포트가 상기 다른 챔버 배액 포트에 중첩되고, 상기 챔버 외의 상기 다른 배액부로 처리액배출되는,기판 처리 장치. [청구항 12] 제 10 항에 있어서,상기 기판 유지부가, 상기 중심축을 중심으로 하는 원판상의 유지부 본체를 구비하고,상기 유지부 본체가, 상기 컵부의 상방에서 상기 컵부와 상기 상하 방향으로 대향하고,상기 유지부 본체의 하면으로부터 하방으로 돌출되고, 상기 칸막이벽보다 직경 방향 외측, 또는 상기 칸막이벽과 직경 방향의 동일한 위치에서 상기 중심축의 주위를 둘러싸는 환상의 돌출부형성되는,기판 처리 장치. [청구항 13] 제 1 항에 있어서,상기 기판 유지부가, 상기 중심축을 중심으로 하는 원판상의 유지부 본체를 구비하고,상기 유지부 본체가, 상기 컵부의 상방에서 상기 컵부와 상기 상하 방향으로 대향하고,상기 유지부 본체의 하면으로부터 하방으로 돌출됨과 함께 상기 중심축의 주위를 둘러싸는 환상의 돌출부형성되는,기판 처리 장치. [청구항 14] 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 컵 회전 기구가,상기 챔버 내에 배치되고, 상기 컵부에 장착되는 환상의 로터부와,상기 챔버 외에 있어서 상기 로터부의 주위에 배치되고, 상기 로터부와의 사이에 회전력을 발생하는 스테이터부구비하는,기판 처리 장치. [청구항 15] 제 14 항에 있어서,상기 로터부가, 상기 스테이터부와의 사이에 작용하는 자력에 의해, 상기 챔버 내에 있어서 부유 상태회전하는,기판 처리 장치. [청구항 16] 제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버가, 상기 기판 유지부 및 상기 컵부가 배치되는 밀폐 공간형성하는밀폐 공간 형성부인, 기판 처리 장치. [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 챔버 배기 포트가,대챔버 배기 포트와,상기 대챔버 배기 포트와 함께 상기 둘레 방향으로 배열되고, 상기 대챔버 배기 포트보다 면적이 작은 소챔버 배기 포트를 구비하고,상기 컵 배기 포트와 상기 챔버 배기 포트의 중복 면적의 변경이, 상기 컵 배기 포트를, 상기 대챔버 배기 포트 또는 상기 소챔버 배기 포트에 선택적중첩하는 것인,기판 처리 장치. [청구항 19] 제 18 항에 있어서,상기 컵 배기 포트의 하단 중 상기 소챔버 배기 포트와의 중복 영역을 제외한 비중복 영역이,상기챔버의상기저부근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 소챔버 배기 포트가, 상기 챔버의 상기 저부에 형성되어 상방으로 돌출되는 저부 돌출부 내에 형성되고,상기 저부 돌출부의 상단면이, 상기 상하 방향에 수직이고,상기 컵 배기 포트의 상기 비중복 영역이,상기저부돌출부의상기상단면근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 21] 제 18 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가 상기 대챔버 배기 포트 및 상기 소챔버 배기 포트 중 일방의 챔버 배기 포트에 중첩되는 상태로부터, 상기 컵 배기 포트와 상기 일방의 챔버 배기 포트의 중복을 유지하면서 상기 컵부를 미소 각도만큼 회전시킴으로써, 상기 컵 배기 포트와 상기 일방의 챔버 배기 포트의 중복 면적이 변경되어 상기 배기 기구에 의한 상기 챔버로부터의 배기 유량이 미조정되는,기판 처리 장치. [청구항 22] 제 17 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가,대컵 배기 포트와,상기 대컵 배기 포트와 함께 상기 둘레 방향으로 배열되고, 상기 대컵 배기 포트보다 면적이 작은 소컵 배기 포트를 구비하고,상기 컵 배기 포트와 상기 챔버 배기 포트의 중복 면적의 변경이, 상기 대컵 배기 포트 또는 상기 소컵 배기 포트를, 상기 챔버 배기 포트에 선택적중첩하는 것인,기판 처리 장치. [청구항 23] 제 22 항에 있어서,상기 챔버 배기 포트의 상단 중 상기 소컵 배기 포트와의 중복 영역을 제외한 비중복 영역이,상기컵부의상기저부근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 소컵 배기 포트가, 상기 컵부의 상기 저부에 형성되어 하방으로 돌출되는 저부 돌출부 내에 형성되고,상기 저부 돌출부의 하단면이, 상기 상하 방향에 수직이고,상기 챔버 배기 포트의 상기 비중복 영역이,상기저부돌출부의상기하단면근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 25] 제 22 항에 있어서,상기 대컵 배기 포트 및 상기 소컵 배기 포트 중 일방의 컵 배기 포트가 상기 챔버 배기 포트에 중첩되는 상태로부터, 상기 일방의 컵 배기 포트와 상기 챔버 배기 포트의 중복을 유지하면서 상기 컵부를 미소 각도만큼 회전시킴으로써, 상기 일방의 컵 배기 포트와 상기 챔버 배기 포트의 중복 면적이 변경되어 상기 배기 기구에 의한 상기 챔버로부터의 배기 유량이 미조정되는,기판 처리 장치. [청구항 26] 제 17 항에 있어서,상기 컵 배기 포트와 상기 챔버 배기 포트의 중복 면적의 변경이, 상기 컵 배기 포트와 상기 챔버 배기 포트의 중복을 유지하면서 상기 컵부를회전시킴실현되는,기판 처리 장치. [청구항 27] 제 26 항에 있어서,상기 챔버 배기 포트의 상단 중 상기 컵 배기 포트와의 중복 영역을 제외한 비중복 영역이, 상기 컵부의 상기 저부에 근접함으로써 폐색되고,상기 컵 배기 포트의 하단 중 상기 챔버 배기 포트와의 중복 영역을 제외한 비중복 영역이,상기챔버의상기저부근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 28] 제 27 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가, 상기 컵부의 상기 저부에 형성되어 하방으로 돌출되는 저부 돌출부 내에 형성되고,상기 저부 돌출부의 하단면이, 상기 상하 방향에 수직이고,상기 챔버 배기 포트의 상기 비중복 영역이,상기저부돌출부의상기하단면근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 29] 제 27 항에 있어서,상기 챔버 배기 포트가, 상기 챔버의 상기 저부에 형성되어 상방으로 돌출되는 다른 저부 돌출부 내에 형성되고,상기 다른 저부 돌출부의 상단면이, 상기 상하 방향에 수직이고,상기 컵 배기 포트의 상기 비중복 영역이, 상기 다른저부돌출부의상기상단면근접함폐색되는,기판 처리 장치. [청구항 30] 제 17 항에 있어서,상기 컵 배기 포트가, 상기 챔버 배기 포트로부터 상기 둘레 방향으로 이간된 위치에 위치하는 상태에서, 상기 컵 배기 포트의 하단이 상기 챔버의 상기 저부에 근접함으로써, 또는 상기 챔버 배기 포트의 상단이 상기 컵부의 상기 저부에 근접함으로써, 상기 컵 배기 포트를 통한 상기 컵부 내의 기체의 흡인정지되는,기판 처리 장치. [청구항 31] 제 17 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 컵 회전 기구가,상기 챔버 내에 배치되고, 상기 컵부에 장착되는 환상의 로터부와,상기 챔버 외에 있어서 상기 로터부의 주위에 배치되고, 상기 로터부와의 사이에 회전력을 발생하는 스테이터부구비하는,기판 처리 장치. [청구항 32] 제 31 항에 있어서,상기 로터부가, 상기 스테이터부와의 사이에 작용하는 자력에 의해, 상기 챔버 내에 있어서 부유 상태회전하는,기판 처리 장치. [청구항 33] 제 17 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 챔버가, 상기 기판 유지부 및 상기 컵부가 배치되는 밀폐 공간형성하는밀폐 공간 형성부인, 기판 처리 장치.