문맥 (context)
[청구항 1]
기판을 패턴화하기 위한 시스템으로서,
플라즈마 챔버;
상기 플라즈마 챔버 내에 플라즈마 를 생성하기 위한 전원
복수의 개구들을 포함하며 상기 플라즈마 챔버의 일 측(side)을 따라 배치된 추출 플레이트 시스템으로서, 상기 추출 플레이트 시스템은 상기 플라즈마 챔버에 대하여 상기 추출 플레이트 시스템을 바이어싱하는 추출 전압을 수신하도록 구성되며, 상기 복수의 개구들은 상기 플라즈마로부터 복수의 개별적인 대전 입자 빔렛(beamlet)들을 추출하도록 구성되는, 상기 추출 플레이트 시스템; 및
상기 복수의 대전 입자 빔렛들을 수신하고, 상기 복수의 대전 입자 빔렛들 중 적어도 하나를 상기 기판으로 보내도록 구성된 투사 광학 시스템을 포함하는, 시스템
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 전원은, 유도 결합 rf 전원, 용량 결합 rf 전원, 마이크로파 소스, 또는 아크 방전 공급장치포함하는,시스템.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 시스템은, 상기 추출 플레이트 시스템과 상기 플라즈마 챔버 사이에 추출 전압을 공급하도록 구성된 전압 공급장치더 포함하는,시스템.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기 추출 전압은 상기 플라즈마 챔버에 대한 상기 추출 플레이트 시스템의 포지티브 바이어스를 수립(establish)하며, 상기 대전 입자 빔렛들은 전자들인,시스템.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 개구 플레이트는 평면을 획정(define)하는 플라즈마 챔버에 인접한 표면을 포함하며, 상기 대전 입자들은 상기 평면에 대한 수선에 대하여 + 0.5도 내지 - 0.5도의 입사의 각도로 상기 개구 플레이트 상충돌하는,시스템.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 추출 플레이트 시스템은,상기 복수의 빔렛들을 생성하도록 구성된 복수의 개구들을 갖는 개구 어레이로서, 상기 복수의 개구들은 개별적인 복수의 편향 전극들을 포함하는, 상기 개구 어레이더 포함하는,시스템.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 시스템은, 상기 개구 어레이의 선택된 개구들에 편향 전압을 인가하기 위해 상기 복수의 편향 전극들에 결합되는 프로그램가능 편향 전압 소스를 더 포함하며, 편향 전압이 상기 개구 어레이의 개구의 편향 전극에 인가될 때, 이를 통과하는 대전 입자 빔편향되는,시스템.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 추출 플레이트 시스템은,상기 복수의 빔렛들을 생성하도록 구성된 제 1 복수의 개구들을 갖는 제 1 개구 어레이를 포함하는 개구 플레이트; 및 제 2 복수의 개구들을 갖는 제 2 개구 어레이를 포함하는 블랭킹(blanking) 플레이트를 포함하며,상기 제 1 복수의 개구들을 상기 개구 어레이를 형성하기 위하여 상기 제 2 복수의 개구들과 정렬되고, 상기 제 2 복수의 개구들은 상기 개별적인 복수의 편향 전극들포함하는,시스템.
[청구항 9]
청구항 1에 있어서,상기 시스템은, 상기 대전 입자 빔렛들의 입사 방향에 수직인 방향으로 상기 기판을 스캐닝하도록 구성된 기판 스테이지더 포함하는,시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판을 패턴화하기 위한 시스템에서 추출 플레이트 시스템이 플라즈마로부터 대전 입자 빔렛을 추출하기 위해 수행하는 구성 요소 간의 역할과 추출 전압의 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation추출 플레이트 시스템의 구성 요소 간 역할과 추출 전압이 대전 입자 빔렛 추출에 미치는 기능을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction추출 플레이트 시스템은 복수의 개구들을 포함하며, 추출 전압을 수신하여 플라즈마로부터 빔렛을 추출한다.
- 상기 추출 플레이트 시스템은 상기 플라즈마 챔버에 대하여 상기 추출 플레이트 시스템을 바이어싱하는 추출 전압을 수신하도록 구성되며, 상기 복수의 개구들은 상기 플라즈마로부터 복수의 개별적인 대전 입자 빔렛(beamlet)들을 추출하도록 구성되는
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3근거 선택
evidence_selection추출 전압의 구체적인 기능인 포지티브 바이어스 수립에 관한 내용을 선택한다.
- 상기 추출 전압은 상기 플라즈마 챔버에 대한 상기 추출 플레이트 시스템의 포지티브 바이어스를 수립(establish)하며
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4논리 통합
logical_integration추출 플레이트 시스템의 개구들이 빔렛을 추출하는 통로 역할을 하고, 추출 전압이 시스템에 포지티브 바이어스를 형성함으로써 빔렛 추출이 가능해짐을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추출 플레이트 시스템은 복수의 개구를 통해 빔렛을 추출하며, 추출 전압은 시스템에 포지티브 바이어스를 수립하는 기능을 수행한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소의 역할과 전압의 기능을 통합하여 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
추출 플레이트 시스템은 복수의 개구들을 통해 플라즈마로부터 복수의 개별적인 대전 입자 빔렛들을 추출하는 역할을 수행하며, 추출 전압은 플라즈마 챔버에 대하여 추출 플레이트 시스템의 포지티브 바이어스를 수립하는 기능을 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
추출 플레이트 시스템의 개구와 추출 전압을 이용해 플라즈마로부터 대전 입자 빔렛을 효과적으로 추출하기 위한 바이어스 형성 메커니즘을 기술하고 있다.