문맥 (context)
[청구항 12]
제1 본드점과 제2 본드점이 와이어로 접속되는 와이어 루프를 가지는 반도체 장치를 제조하기 위한 와이어 본딩 장치로서,
본딩면에 대하여 평행한 평면 및 수직인 방향으로 이동 가능한 본딩 암
상기 본딩 암의 선단에 부착된 초음파 혼
상기 초음파 혼의 일단에 부착되고, 와이어가 내부에 삽입통과된 본딩 툴; 및
상기 본딩 툴의 동작을 제어하는 제어부
를 포함하고,
상기 제어부가
와이어 테일이 선단으로부터 뻗어나간 상기 본딩 툴을 하강시켜 상기 와이어 테일의 선단을 상기 반도체 장치의 본딩면에 접촉시키는 와이어 테일 접촉 공정과,
상기 본딩 툴을 당해 본딩 툴의 축 방향에 교차하는 방향으로 이동시켜, 상기 와이어 테일의 선단을 상기 본딩면에 접촉시키면서 상기 와이어 테일을 굴곡시키는 와이어 테일 굴곡 공정과,
상기 본딩 툴을 하강시켜 상기 제1 본드점에 있어서 상기 와이어 테일의 일부를 가압함과 아울러, 상기 와이어 테일의 선단이 상방을 향하도록 상기 와이어 테일을 소정 형상으로 정형하는 제1 본딩 공정과,
상기 와이어를 풀어내면서 상기 본딩 툴을 상기 제2 본드점을 향하여 이동시켜 상기 와이어를 소정 형상으로 뻗어나가게 하는 와이어 루핑 공정과,
상기 본딩 툴을 하강시켜 상기 제2 본드점에 있어서 상기 와이어의 일부를 가압하는 제2 본딩 공정과,
상기 본딩 툴의 선단으로부터 상기 와이어의 일부를 뻗어나가게 하도록 상기 와이어를 절단하는 와이어 절단 공정
을 행하도록 구성된 것을 특징으로 하는 와이어 본딩 장치
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 와이어 테일 굴곡 공정에 있어서, 상기 본딩 툴을 상기 제1 본드점과 상기 제2 본드점을 연결하는 와이어 방향을 따라이동시키는것을특징으로 하는와이어 본딩 장치.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
와이어 테일 굴곡 공정 시, 본딩 툴은 어떠한 방향으로 이동하여 와이어 테일을 굴곡시키는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation와이어 테일 굴곡 공정 시 본딩 툴이 이동하는 방향을 찾는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 와이어 테일 굴곡 공정은 본딩 툴을 축 방향에 교차하는 방향으로 이동시킨다고 명시되어 있다.
- 상기 본딩 툴을 당해 본딩 툴의 축 방향에 교차하는 방향으로 이동시켜
- 상기 와이어 테일 굴곡 공정에 있어서, 상기 본딩 툴을 상기 제1 본드점과 상기 제2 본드점을 연결하는 와이어 방향을 따라이동시키는것
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3근거 선택
evidence_selection청구항 13에서 와이어 테일 굴곡 공정 시 본딩 툴의 구체적인 이동 방향이 와이어 방향을 따름을 확인한다.
- 상기 와이어 테일 굴곡 공정에 있어서, 상기 본딩 툴을 상기 제1 본드점과 상기 제2 본드점을 연결하는 와이어 방향을 따라이동시키는것
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4논리 통합
logical_integration청구항 12의 '축 방향에 교차하는 방향'과 청구항 13의 '제1 본드점과 제2 본드점을 연결하는 와이어 방향'을 결합하여 이동 방향을 도출한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation본딩 툴은 제1 본드점과 제2 본드점을 연결하는 와이어 방향을 따라 이동하여 와이어 테일을 굴곡시킨다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변을 추출하여 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 제1 본드점과 상기 제2 본드점을 연결하는 와이어 방향을 따라 이동한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
와이어 테일 굴곡 공정 시 본딩 툴을 와이어의 진행 방향(제1 본드점과 제2 본드점을 연결하는 방향)으로 이동시켜 와이어 테일을 굴곡시키는 기술적 수단을 정의하고 있다.