레이저 지속형 플라즈마의 횡방향 펌핑 시스템 및 방법 document_id 1020167030504

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 펌프 조명 경로의 펌프 조명의 개구수는 상기 포집 경로의 방출된 광대역 복사선의 개구수중첩되지 않는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는 제1 치수와 상기 제1 치수보다 큰 제2 치수를 갖는세장형플라즈마지속시키도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 4] 제3항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는 상기 플라즈마의 제1 치수를 따라상기펌프경로의펌프조명지향시키도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 5] 제3항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는 방출된 광대역 복사선을 상기 플라즈마의 제2 치수를 따라포집시키도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는 펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 세장형 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에세장형플라즈마지속시키도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는, 펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 세장형 초점으로 지향시킴으로써 상기 가스 용적 내에 세장형 플라즈마를 지속시키도록 구성되는 원통형 렌즈포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 8] 제6항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 세장형 초점으로 지향시킴으로써 상기 가스 용적 내에 세장형 플라즈마를 지속시키도록 구성되는 원통형 미러포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 세장형 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에 세장형 플라즈마를 지속시키도록 구성되는 복수의 공초점 원통형 미러포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 10] 제6항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 세장형 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에 세장형 플라즈마를 지속시키도록 구성되는 액시콘포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는 펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 선택된 방향을 따라 배치된 복수의 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에 선택된 방향을 따라복수의플라즈마피쳐지속시키도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,펌프 조명을 상기 가스 용적 내에 선택된 방향을 따라 배치되는 복수의 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에 선택된 방향을 따라 복수의 세장형 플라즈마 피쳐를 지속시키도록 구성되는 복수의 공초점 원통형 미러포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 펌프 공급원은,펌프 조명을 제1 교차점을 통해 상기 복수의 공초점 원통형 미러로 전달하도록 구성되는 제1 펌프 공급원; 및펌프 조명을 추가의 교차점을 통해 상기 복수의 공초점 원통형 미러로 전달하도록 구성되는 적어도 추가의 펌프 공급원포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 제1 펌프 공급원과 상기 추가의 펌프 공급원은 반대전파되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 15] 제11항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,액시콘; 및펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 복수의 세장형 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에 복수의 세장형 플라즈마 피쳐를 지속시키도록 구성되는 반사체 파이프포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 16] 제11항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,펌프 조명을 펌프 경로를 따라 상기 가스 용적 내의 복수의 세장형 초점으로 지향시킴으로써, 상기 가스 용적 내에 복수의 세장형 플라즈마 피쳐를 지속시키도록 구성되는 다중 통과 반사체 파이프포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 다중 통과 반사체 파이프는, 상기 복수의 세장형 플라즈마 피쳐에 의해 방출되는 광대역 복사선을 적어도 부분적으로 반사하는 적어도 하나의 반사 요소를 포함하고, 상기 적어도 하나의 반사 요소는, 광대역 복사선을 통해 상기 플라즈마를 펌핑하기 위해 상기 복수의 세장형 플라즈마 피쳐에 의해 방출되는광대역복사선을플라즈마지향시키도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 18] 제1항에 있어서,상기 펌프 공급원은,펌프 조명을 가스 내에 선택된 방향을 따라 배치된 복수의 초점으로 전달함으로써, 선택된 방향을 따라 복수의 플라즈마 피쳐를 지속시키도록 구성되는 복수의 광섬유 요소를 포함하고, 각 광섬유로부터의 펌프 조명은 상이한 초점집속되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 복수의 플라즈마 피쳐는 세장형 플라즈마 구조체를 형성하도록 위치설정되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 20] 제1항에 있어서,상기 펌프 공급원은,제1 파장의 펌프 조명과, 상기 제1 파장과 상이한추가파장의조명방출하도록구성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,제1 파장의 펌프 조명을 제1 초점에 집속함으로써 제1 플라즈마 피쳐를 형성하도록 구성되는 분산 광학 요소를 포함하고, 상기 분산 광학 요소는 또한, 상기 추가의 파장을 상기 제1 초점과 상이한 추가 초점에 집속함으로써 추가 플라즈마 피쳐를 형성하도록 구성되며, 상기 제1 플라즈마 피쳐와 상기 추가 플라즈마 피쳐는 세장형 플라즈마 구조체를 형성하도록 위치설정되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 22] 제1항에 있어서,상기 펌프 공급원은,조절 가능한 펌프 공급원을 포함하고, 상기 펌프 공급원에 의해 방출되는 펌프 조명의 파장은 조절가능한 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 23] 제22항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소는,제1 파장의 펌프 조명을 제1 초점에 집속함으로써 제1 플라즈마 피쳐를 형성하도록 구성되는 분산 광학 요소를 포함하고, 상기 분산 광학 요소는 또한, 추가의 파장의 펌프 조명을 상기 제1 초점과 상이한 추가 초점에 집속함으로써 추가 플라즈마 피쳐를 형성하도록 구성되며, 상기 제1 플라즈마 피쳐와 상기 추가 플라즈마 피쳐는 세장형 플라즈마 구조체를 형성하도록 위치설정되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 24] 제1항에 있어서,펌프 조명을 상기 펌프 공급원으로부터 수신하고 상기 펌프 조명의 적어도 일부를 상기 가스 체적 내의 세장형 초점에 집속하도록 구성되는 비구면 광학 요소더 포함하는레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 25] 제1항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소 또는 하나 이상의 포집 광학 요소 중 적어도 하나는 상기 가스 수용 구조체의 외측에 위치설정되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 26] 제1항에 있어서,상기 하나 이상의 조명 광학 요소 또는 하나 이상의 포집 광학 요소 중 적어도 하나는, 상기 가스 수용 구조체의 외측에 위치설정되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 27] 제1항에 있어서,상기 가스 수용 구조체의 적어도 일부는 상기 펌프 공급원으로부터의펌프조명에대해투과성인 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 28] 제1항에 있어서,상기 가스 수용 구조체의 적어도 일부는 상기 플라즈마에 의해 방출되는광대역복사선에대해투과성인 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 29] 제1항에 있어서,상기 가스 수용 구조체의 적어도 일부는 상기 펌프 공급원으로부터의 펌프 조명 및 상기 플라즈마에 의해 방출되는광대역복사선에대해투과성인 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 30] 제1항에 있어서,상기 가스 수용 구조체의 적어도 일부는, 상기 펌프 공급원으로부터의 펌프 조명 및 상기 플라즈마에 의해 방출되는광대역복사선에대해투과성인 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 31] 제1항에 있어서,상기 가스 수용 구조체의 투과성 부분은 플루오르화 칼슘, 플루오르화 마그네슘, 플루오르화 리튬, 결정질 석영, 사파이어 또는 융합된 실리카 중 적어도 하나형성되는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원. [청구항 32] 제1항에 있어서,상기 가스는, 불활성 가스, 비-불활성 가스 또는 2개 이상의 가스들의 혼합물 중 적어도 하나포함하는 것인,레이저 지속형 플라즈마 광원.