이송툴모듈 및 그를 가지는 소자핸들러 document_id 1020170002592

[청구항 1] 다수의 소자(1)들이 부착된 복수의 로딩부재(60)들이 적재된 로딩부재카세트부(100)로부터 로딩부재(60)를 공급받아 상기 로딩부재(60)를 수평방향으로 이동시키는 로딩부재테이블(200)과 상기 로딩부재테이블(200)로부터 수평방향으로 각각 이격되어 배치되며 로딩부재(60)로부터 소자(1)를 전달받아 적재되는 언로딩부재(70)가 설치된 언로딩부(300)와 상기 로딩부재(60)로부터 픽업위치(p1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 각 언로딩부(300)의 언로딩위치(p2)에서 상기 언로딩부재(20)로 소자(1)를 언로딩하는 이송툴모듈(500)을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자핸들러 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 이송툴모듈(500)은, 제1회전축(11)을 가지는 제1회전구동부(10)와;상기 제1회전축(11)과 반경방향으로 결합되며 상기 제1회전축(11)의 원주방향으로 배치되어 상기 제1회전축(11)을 중심으로 회전되는 복수의 픽커(20)들과;상기 제1회전축(11)과 수직을 이루는 제2회전축(31)을 가지며 상기 제2회전축(31)을 중심으로 상기 제1회전구동부(10)를 상기 제2회전축(31)을 중심으로 회전시키는 제2회전구동부(30)를 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 복수의 픽커(20)들의 설치개수는 2n개(n은 자연수)인 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 이송툴모듈(500)은,픽업위치(p1)에서 소자(1)를 픽업하는 제1이송툴(510)과;상기 제1이송툴(510)로부터 소자를 전달받아 언로딩위치(p2)에서 소자(1)를 언로딩하는 제2이송툴(520)을 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)은 상기 제2이송툴(520)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 각각 서로 평행하게 배치되며,상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(o)과 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(o)을 연결하는 가상선(l)이 상기 제1이송툴(510)의 제1회전축(11) 및 제2회전축(31)과 수직을 이루며,상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)로부터 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)로 소자(1)를 전달하는 전달위치(p3)는 상기 제1이송툴(510)의 픽커(20)의 회전중심(o)과 상기 제2이송툴(520)의 픽커(20)의 회전중심(o) 사이에 위치된 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 6] 청구항 4에 있어서,상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 서로 탈착가능하게 결합된 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 7] 청구항 4에 있어서,상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 서로 분리되어 이동가능하게 설치되며,상기 언로딩부재에 소자적재시 반전이 불필요한 경우 상기 제1이송툴(510) 및 상기 제2이송툴(520)은, 순차적으로 상기 픽업위치(p1)에서 소자(1)를 픽업하여 상기 언로딩위치(p2)에서 소자(1)를 언로딩부재(70)에 소자를 적재하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 8] 청구항 4에 있어서,상기 제2이송툴(520) 측에 설치되어 상기 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(90)를 추가로 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 제1이송툴(510) 측에 설치되어 제1이송툴(510)의 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득장치(80)를 추가로 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 10] 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)의 부근에 2개 이상으로 설치되며,상기 이송툴모듈(500)은, 상기 2개 이상의 언로딩부(300)들 각각에 대응되어 2개 이상으로 설치된 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 2개 이상의 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)을 중심으로 서로 대향되어 설치되는 제1언로딩부(300) 및 제2언로딩부(300)를 포함하며,상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 12] 청구항 10에 있어서,상기 2개 이상의 언로딩부(300)는, 상기 로딩부재테이블(200)을 기준으로 상기 로딩부재테이블(200)의 전방에 설치되는 제1언로딩부(300)와, 상기 로딩부재테이블(200)을 기준으로 상기 로딩부재테이블(200)의 좌측 및 우측 중 적어도 일측에 설치되는 하나 이상의 제2언로딩부(300)를 포함하며,상기 2개 이상의 이송툴모듈(500)은, 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제1언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제1이송툴모듈(500) 및 상기 로딩부재테이블(200) 및 상기 제2언로딩부(300) 사이에서 소자(1)를 이송하는 제2이송툴모듈(500)을 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 13] 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 로딩부재(60)는, 복수의 소자(1)들이 부착된 테이프를 포함하며,상기 이송툴모듈(500)은, 상기 픽업위치(p1)에서 상기 로딩부재(60)에 부착된 소자(1)를 순차적으로 픽업하는 복수의 픽커(20)들과, 상기 복수의 픽커(20)들이 상기 로딩부재(60)에 부착된 소자(1)를 순차적으로 픽업하도록 상기 픽업위치(p1)로 회전이동 및 선형이동 중 적어도 하나의 이동에 의하여 순차적으로 이동시키는 픽커이동부를 포함하며, 상기 이송툴모듈(500)을 x축방향으로 선형이동시키는 제1선형이동부(623) 및 상기 이송툴모듈(500)을 y축방향으로 선형이동시키는 제2선형이동부(622)중적어도하나포함하는것을특징으로 하는이송툴모듈. [청구항 14] 청구항 13에 있어서,상기 이송툴모듈(500)은, 상기 픽커(20)에 의하여 픽업된 소자(1)의 이면에 대한 이미지를 획득하는 하나 이상의 이미지획득장치를 추가로 포함하는 것을특징으로하는소자핸들러. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 이미지획득장치에 의하여 획득된 이미지들은, 제어부의 일부를 구성하는 메모리에 저장하고 상기 각 픽커(20)들이 소자(1)의 픽업을 마친후 상기 언로딩위치(p2) 또는 다른 이송툴모듈로의 소자전달을 위한 전달위치로 이동될 때 제어부는 이미지분석을 마치는 것을특징으로하는소자핸들러.