문맥 (context)
[청구항 1]
진공 상태하에서 공정을 수행하는 진공장치 내의 히터 장치에 장착되는 열선 거치대에 있어서,
일면에 시편이 고정설치되는 시편홀더와 특정간격 이격되어 배치되는 판형태의 거치대몸체
상기 거치대몸체의 하면 가장자리 측에 구비되어, 상기 거치대몸체와 상기 시편홀더를 특정간격 이격시키는 복수의 지지부
상기 거치대몸체의 일단에 관통형성된 제1관통홀과, 상기 거치대몸체의 타단에 관통형성된 제2관통홀
상기 제1관통홀에 관통삽입되는 제1전극봉과, 상기 제2관통홀에 관통삽입되는 제2전극봉; 및
상기 제1전극봉의 하단과 상기 제2전극봉의 하단 사이에 연결되는 열선
을 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 히터장치용 열선 거치대
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 거치대몸체의 일단과 타단 사이 하면에 형성되는 다수의 장착홈과, 상기 장착홈 각각에 장착되는 전극단을 포함하고, 상기 열선은 상기 제1전극봉 하단에서 다수의 전극단을 지그재그형태로 교차하여상기제2전극봉하단연결되는것을특징으로 하는다기능 히터장치용 열선 거치대.
[청구항 3]
제 2항에 있어서,상기 거치대몸체와 상기 지지부는 세라믹으로 구성되고,상기열선텅스텐 필라멘트인것을특징으로 하는다기능 히터장치용 열선 거치대.
[청구항 4]
제 3항에 있어서,상기 제1전극봉 상단과 상기 제2전극봉 상단 각각에 전극선을 고정시키는 연결용너트; 및상기 제1전극봉 상단에 고정된 전극선에 전압이 인가되고, 상기 제2전극봉 상단에 고정된 전극선그라운드되는것을특징으로 하는다기능 히터장치용 열선 거치대.
[청구항 5]
제 4항에 있어서,상기 제1전극봉과 상기 제2전극봉은 관통형 몰리브덴 볼트로 구성되며, 상기 전극단은 비관통형 몰리브덴 볼트로 구성되고, 상기 연결용 너트는몰리브덴너트구성되는것을특징으로 하는다기능 히터장치용 열선 거치대.
[청구항 6]
진공장치용 다기능 히터장치에 있어서,
일단과 타단을 갖는 스테이지
상기 스테이지의 일단과 타단 사이에 장착되는 시편홀더
상기 시편홀더의 일측에 면접촉되어 고정설치되는 시편; 및
상기 시편홀더에 장착되어지는 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 열선거치대
를 포함하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대를 갖는 진공장치용 다기능 히터장치
[청구항 7]
제 6항에 있어서,상기 스테이지의 일단 측에 특정간격 이격되어 위치되고, 타단은 상기 스테이지의 타단 측에 특정간격 이격되어 위치되는 전극층; 및상기 스테이지 일단과 상기 전극층 사이, 상기 스테이지 타단과 상기 전극층 사이에 구비되는 절연층;을 포함하고, 상기 열선 거치대의 지지부가 상기 전극층에 결합되어 거치대몸체에 설치된 열선과 상기 시편홀더가 특정간격 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
[청구항 8]
제 7항에 있어서,상기 열선 거치대의 제1전극봉 상단에 고정된 전극선을 통해 전압을 인가하는 제1전압인가부;를 포함하고, 상기 열선에서 발생된 복사열에 의해 상기 시편홀더와 상기 시편이 가열되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
[청구항 9]
제 8항에 있어서,상기 시편홀더 일측에는 외부로 돌출된 손잡이를 더 포함하고, 상기 시편홀더는 상기 스테이지의 일단과 타단 사이 탈부착되어지는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
[청구항 10]
제 9항에 있어서,상기 절연층은 세라믹으로 구성되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
[청구항 11]
제 10항에 있어서. 상기 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 제2전압인가부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
[청구항 12]
제 11항에 있어서,상기 제2전압인가부에 의해 전압이 인가되면, 상기 열선에서 방출되는 열전자가 상기 시편과 상기 시편홀더 측으로 가속되어 충돌되면서, 상기 시편이 가열되는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
[청구항 13]
제 12항에 있어서,상기 시편 측 온도를 실시간으로 측정하는 온도센서와, 상기 제1전압인가부 및 상기 제2전압인가부 중 적어도 어느 하나를 제어하여 상기 시편의 온도를 설정된 온도값으로 유지하도록 하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 열선 거치대갖는진공장치용 다기능 히터장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열선 거치대의 제1전극봉과 제2전극봉에 전압을 인가하여 시편을 가열할 때, 열선에서 방출되는 열전자가 시편과 시편홀더 측으로 가속되어 충돌함으로써 가열이 이루어지는 메커니즘을 구현하기 위해 필요한 구성 요소들은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation열선에서 방출된 열전자가 시편과 시편홀더로 가속되어 충돌함으로써 가열이 이루어지는 메커니즘을 구현하기 위한 구성 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12를 통해 열전자의 가속 및 충돌을 통한 가열 메커니즘이 언급되어 있으며, 이를 위해 제2전압인가부가 필요함을 확인한다.
- 상기 제2전압인가부에 의해 전압이 인가되면, 상기 열선에서 방출되는 열전자가 상기 시편과 상기 시편홀더 측으로 가속되어 충돌되면서, 상기 시편이 가열되는 것
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3근거 선택
evidence_selection메커니즘의 직접적인 원인이 되는 제2전압인가부와, 전압이 인가되는 대상인 스테이지, 시편홀더, 시편을 포함하는 구성 요소들을 선택한다.
- 상기 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 제2전압인가부
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4논리 통합
logical_integration열전자의 가속을 위해서는 시편, 시편홀더, 또는 스테이지에 전압을 인가할 수 있는 제2전압인가부가 필수적임을 논리적으로 연결한다.
- 상기 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 제2전압인가부
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 메커니즘 구현을 위한 핵심 구성 요소는 제2전압인가부임을 도출한다.
- 상기 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 제2전압인가부
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 리스트 형식으로 정리하여 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 스테이지, 상기 시편홀더 또는 상기 시편에 전압을 인가하는 제2전압인가부
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제2전압인가부를 통해 스테이지, 시편홀더 또는 시편에 전압을 인가함으로써, 열선에서 방출된 열전자를 가속 및 충돌시켜 시편을 가열하는 메커니즘을 제공한다.