문맥 (context)
[청구항 13]
미리 정해진 패턴이 형성된 절연막을 가지며, 상기 패턴의 바닥부의 실리콘 부분에 형성된 실리콘 함유 산화막을 갖는 피처리 기판에서, 상기 실리콘 함유 산화막을 제거하는 산화막 제거 장치에 있어서,
상기 피처리 기판을 수용하는 처리 용기와
상기 처리 용기 내에 미리 정해진 처리 가스를 공급하는 처리 가스 공급 기구와
상기 처리 용기 내를 배기하는 배기 기구와
상기 처리 용기 내에 플라즈마 를 생성하는 플라즈마 생성 기구와
상기 처리 가스 공급 기구, 상기 배기 기구 및 상기 플라즈마 생성 기구를 제어하는 제어부
를 포함하며,
상기 제어부는, 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 산화막 제거 방법이 행해지도록, 상기 처리 가스 공급 기구, 상기 배기 기구 및 상기 플라즈마 생성 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 산화막 제거 장치
[청구항 16]
미리 정해진 패턴이 형성된 절연막을 가지며, 상기 패턴의 바닥부의 실리콘 부분에 형성된 실리콘 함유 산화막을 갖는 피처리 기판에서, 상기 실리콘 함유 산화막을 제거하고, 상기 실리콘 부분에 콘택을 형성하는 콘택 형성 시스템에 있어서,
상기 피처리 기판의 상기 실리콘 함유 산화막을 제거하는 제13항에 기재된 산화막 제거 장치와
상기 실리콘 함유 산화막을 제거한 후에 금속막을 성막하는 금속막 성막 장치와
상기 산화막 제거 장치와 상기 금속막 성막 장치가 접속되는 진공 반송실과
상기 진공 반송실 내에 설치된 반송 기구
를 포함하는 것을 특징으로 하는 콘택 형성 시스템
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 금속막 성막 장치는, cvd 또는 ald에 의해금속막성막하는것을특징으로 하는콘택 형성 시스템.
[청구항 18]
컴퓨터 상에서 동작하며, 산화막 제거 장치를 제어하기 위한 프로그램이 기억된 기억 매체에 있어서,
상기 프로그램은, 실행 시에 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 산화막 제거 방법이 행해지도록, 컴퓨터에 상기 산화막 제거 장치를 제어시키는 것을 특징으로 하는 기억 매체
[청구항 19]
컴퓨터 상에서 동작하며, 콘택 형성 시스템을 제어하기 위한 프로그램이 기억된 기억 매체에 있어서,
상기 프로그램은, 실행시에 제14항의 콘택 형성 방법이 행해지도록, 컴퓨터에 상기 콘택 형성 시스템을 제어시키는 것을 특징으로 하는 기억 매체
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
콘택 형성 시스템을 구성하는 요소 중, 산화막 제거 장치와 금속막 성막 장치가 서로 접속되는 공간은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation콘택 형성 시스템 구성 요소 중 산화막 제거 장치와 금속막 성막 장치가 접속되는 공간이 무엇인지 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 16에서 콘택 형성 시스템의 구성 요소인 산화막 제거 장치, 금속막 성막 장치, 진공 반송실, 반송 기구를 확인한다.
- 상기 산화막 제거 장치와 상기 금속막 성막 장치가 접속되는 진공 반송실
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3근거 선택
evidence_selection두 장치가 접속되는 공간을 명시한 '진공 반송실' 구절을 선택한다.
- 상기 산화막 제거 장치와 상기 금속막 성막 장치가 접속되는 진공 반송실
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4논리 통합
logical_integration청구항 16의 문맥상 산화막 제거 장치와 금속막 성막 장치가 서로 접속되는 지점은 진공 반송실임이 논리적으로 연결된다.
- 상기 산화막 제거 장치와 상기 금속막 성막 장치가 접속되는 진공 반송실
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '진공 반송실'을 도출한다.
- 상기 산화막 제거 장치와 상기 금속막 성막 장치가 접속되는 진공 반송실
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어인 '진공 반송실'을 최종 답변으로 생성한다.
- 진공 반송실
최종 답변 (final_answer)
진공 반송실
핵심 해석 (core_interpretation)
콘택 형성 시스템은 산화막 제거 장치와 금속막 성막 장치가 진공 반송실을 통해 서로 접속되어 연속적인 공정을 수행할 수 있도록 구성된다.