문맥 (context)
[청구항 1]
노즐로부터의 기능액의 토출 상태를 검사하는 검사 장치로서,
상기 노즐로부터 토출된 기능액에 의해 피토출체 상에 형성된 복수의 액적을 촬상하는 촬상부와,
상기 촬상부에서의 촬상 결과에 근거해서, 상기 액적의 형성 상태를 계측하는 계측부와,
상기 복수의 액적 각각에 대해서, 상기 촬상부에서의 촬상 화상 전체와, 소정의 형태를 갖는 액적의 화상 전체의 패턴 매칭을 실시하고, 매칭 결과에 근거해서, 상기 복수의 액적 중 상기 계측부에서의 계측 대상으로 되는 액적을 선택하는 선택부
를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 소정의 형태를 갖는 액적의 화상을, 상기 촬상부에서 촬상된 상기 복수의 액적의 촬상 화상 중에서 선택하는기준화상선택부구비하는것을특징으로 하는검사 장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기촬상 화상 및 상기 소정의 형태를 갖는 액적의 화상은256계조그레이 스케일 화상인것을특징으로 하는검사 장치.
[청구항 4]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기촬상 화상 및 상기 소정의 형태를 갖는 액적의 화상은 각 색이 256 계조로 나타내어진컬러화상인것을특징으로 하는검사 장치.
[청구항 5]
복수의 상기 노즐과
청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 검사 장치와,
상기 노즐마다, 상기 계측부에서의 계측 대상으로 되는 액적으로서 선택된 액적에 대한 상기 계측부에서의 계측 결과에 근거해서, 기능액의 토출 조건을 보정하는 제어부
를 구비하는 것을 특징으로 하는 기능액 토출 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기능액 토출 장치에서 제어부가 기능액의 토출 조건을 보정하기 위해 근거로 삼는 데이터는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기능액 토출 장치의 제어부가 토출 조건을 보정하기 위해 사용하는 근거 데이터를 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 제어부가 기능액의 토출 조건을 보정하는 동작과 그 근거가 되는 데이터를 추출한다.
- 상기 계측부에서의 계측 결과에 근거해서, 기능액의 토출 조건을 보정하는 제어부
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3근거 선택
evidence_selection제어부의 보정 근거로 명시된 '계측부에서의 계측 결과'를 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 계측부에서의 계측 결과
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4논리 통합
logical_integration제어부는 선택된 액적에 대한 계측부의 계측 결과값을 바탕으로 토출 조건을 보정함을 파악한다.
- 상기 계측부에서의 계측 대상으로 되는 액적으로서 선택된 액적에 대한 상기 계측부에서의 계측 결과에 근거해서
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '계측부에서의 계측 결과'를 도출한다.
- 상기 계측부에서의 계측 결과
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6답변 생성
answer_generation추출된 데이터를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 계측부에서의 계측 결과
최종 답변 (final_answer)
상기 계측부에서의 계측 결과
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 촬상 및 패턴 매칭을 통해 선택된 액적의 계측 결과를 바탕으로 기능액의 토출 조건을 정밀하게 보정하는 기술에 관한 것이다.