가스 혼합 장치 및 기판 처리 장치 document_id 1020170072301

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 가스류 안내벽의 외주면의 원호 형상은, 평면에서 보았을 때 상기 원통부의 내주면의 원호 형상보다도 소직경의 원호 형상형성되어 있는,가스 혼합 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 가스 유입부는, 가스 유입 위치가 가스류 안내벽의 전후 방향의 중앙보다도 후방측구성되어 있는,가스 혼합 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 가스 유입부는, 상기 원통부 내에 상기 원통부의 상면측으로부터가스유입되도록구성되어 있는,가스 혼합 장치. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 가스류 안내벽의 내주면은, 하방을 향함에 따라서 원통부의 중심부에 가까워지도록 경사져 있는 경사면형성하고 있는,가스 혼합 장치. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 가스 유출로의 내주면은, 상기 개구로부터 하방을 향함에 따라서원통부의중심부경사져있는,가스 혼합 장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,가스류 안내벽 중 전방측의 제1 가스류 안내벽에서의 후단 근방의 내주면과 상기 제1 가스류 안내벽에 인접하는 후방측의 제2 가스류 안내벽에서의 전단 근방의 외주면이 대향하고, 당해 내주면과 외주면 사이에 끼워진 공간이 선회류를 형성하기 위한 가스류 안내구성되어 있는,가스 혼합 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 가스류 안내벽에 있어서의 전단측의 내주면은 경사면이며, 상기 가스류 안내벽에 있어서의 후단측의 내주면은, 상기 전단측의 내주면있는,가스 혼합 장치. [청구항 10] 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스 유입부는, 각 가스류 안내벽설치된,가스 혼합 장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 가스 혼합 장치는, 캐리어 가스와 원료 가스가 유입되는 하나의 가스 유입부와, 캐리어 가스와 상기 원료 가스와 반응하는 반응 가스가 유입되는 다른 가스 유입부를 포함하고,상기 기판 처리 장치에서 행하는 처리는, 기판이 놓여 있는 진공 분위기로 된 처리 용기 내에, 상기 가스 혼합 장치에 있어서 하나의 가스 유입부로부터 유입되는 캐리어 가스 및 원료 가스와 다른 가스 유입부로부터 유입되는 캐리어 가스를 혼합한 가스와, 상기 가스 혼합 장치에 있어서 하나의 가스 유입부로부터 유입되는 캐리어 가스와 다른 가스 유입부로부터 유입되는 캐리어 가스 및 반응 가스를 혼합한 가스를 교대로 복수 사이클 공급해서 성막하는 성막처리인,기판 처리 장치. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 가스 혼합 장치는, 원료 가스가 유입되는 하나의 가스 유입부와, 상기 원료 가스와 반응하는 반응 가스가 유입되는 다른 가스 유입부를 포함하고,상기 기판 처리 장치에서 행하는 처리는, 상기 하나의 가스 유입부로부터 유입되는 원료 가스와 다른 가스 유입부로부터 유입되는 반응 가스를 혼합한 가스를 기판에 공급해서 성막하는 성막처리인,기판 처리 장치.