문맥 (context)
[청구항 1]
그 내부에 있어서
피처리체에 대하여 진공 처리가 행해지는 처리 용기와,
상기 처리 용기에 각각 일단측이 접속된 제 1 배기로 및 제 2 배기로와,
상기 처리 용기 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와,
상기 제 1 배기로에 마련되고, 상기 압력 검출부의 압력 검출치와 압력 설정치에 근거하여 배기로의 컨덕턴스를 자동 조정하는 자동 조정 밸브와,
상기 제 2 배기로에 마련되고, 미리 결정된 적어도 3개의 개방도 중에서 선택된 개방도로 설정되는 반고정 밸브와,
상기 자동 조정 밸브의 개방도를 검출하는 개방도 검출부와,
상기 개방도 검출부에서 검출된 개방도 검출치가 압력 조정 한계로서 미리 결정한 임계치를 넘었을 때에, 상기 반고정 밸브의 개방도를, 압력 조정 범위를 넓히기 위해, 상기 미리 결정된 개방도 중에서 다른 개방도로 변경하도록 제어 신호를 출력하는 제어부
를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 임계치는, 상기 반고정 밸브의 선택된 개방도에 따라, 상기 자동 조정 밸브의 개방도를 좁히는 쪽의 임계치 또는 여는 쪽의임계치설정되어있는것을특징으로 하는진공 처리 장치.
[청구항 3]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반고정 밸브에 있어서의 초기의 개방도는, 진공 처리를 행할 때의 압력의 압력 설정치와 처리 용기 내에 공급되는 가스의 유량 설정치의 조합에 따라결정되는것을특징으로 하는진공 처리 장치.
[청구항 4]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반고정 밸브에 대하여, 미리 결정된 적어도 3개의 개방도는, 상기 반고정 밸브의 최대 개방도와, 최소 개방도와, 최대 개방도와 최소 개방도의사이의개방도포함하는것을특징으로 하는진공 처리 장치.
[청구항 5]
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반고정 밸브는, 제어 신호에 의해 개방도를 자유롭게 조정할 수 있는밸브이용되는것을특징으로 하는진공 처리 장치.
[청구항 8]
제 1 배기로 및 제 2 배기로가 접속된 처리 용기 내에서 피처리체에 대하여 진공 처리를 행하는 장치에 이용되는 소프트웨어를 기억한 기억 매체로서,
상기 소프트웨어는, 청구항 6 또는 청구항 7에 기재된 진공 처리 방법을 실행하도록 스텝군이 짜인 컴퓨터 프로그램을 포함하는 것을 특징으로 하는 기억 매체
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진공 처리 장치에서 자동 조정 밸브의 개방도 검출치가 미리 결정된 임계치를 초과할 경우, 제어부는 압력 조정 범위를 넓히기 위해 반고정 밸브의 개방도를 어떻게 조절하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation자동 조정 밸브의 개방도 검출치가 임계치를 초과할 경우, 제어부가 압력 조정 범위를 넓히기 위해 수행하는 반고정 밸브의 조절 동작을 파악해야 한다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 개방도 검출치가 임계치를 넘었을 때의 제어부 동작에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 개방도 검출부에서 검출된 개방도 검출치가 압력 조정 한계로서 미리 결정한 임계치를 넘었을 때에, 상기 반고정 밸브의 개방도를, 압력 조정 범위를 넓히기 위해, 상기 미리 결정된 개방도 중에서 다른 개방도로 변경하도록 제어 신호를 출력하는 제어부
-
3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '임계치 초과 시 반고정 밸브의 개방도 변경'에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 개방도 검출부에서 검출된 개방도 검출치가 압력 조정 한계로서 미리 결정한 임계치를 넘었을 때에, 상기 반고정 밸브의 개방도를, 압력 조정 범위를 넓히기 위해, 상기 미리 결정된 개방도 중에서 다른 개방도로 변경하도록 제어 신호를 출력하는 제어부
-
4논리 통합
logical_integration개방도 검출치가 임계치를 초과하면, 제어부는 압력 조정 범위를 확장하기 위해 미리 결정된 개방도 세트 중 다른 개방도로 변경하는 제어 신호를 출력한다.
-
5결론 도출
conclusion_formulation제어부는 압력 조정 범위를 넓히기 위해 반고정 밸브의 개방도를 미리 결정된 개방도 중에서 다른 개방도로 변경한다.
-
6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 반고정 밸브의 개방도를 미리 결정된 개방도 중에서 다른 개방도로 변경한다는 내용을 포함하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
제어부는 압력 조정 범위를 넓히기 위해, 상기 반고정 밸브의 개방도를 미리 결정된 개방도 중에서 다른 개방도로 변경하도록 제어 신호를 출력한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
자동 조정 밸브의 개방도가 임계치를 초과하여 압력 조정 한계에 도달하면, 반고정 밸브의 개방도를 다른 설정값으로 변경함으로써 진공 처리 장치의 압력 조정 범위를 확장하는 기술이다.