웨이퍼 수용 용기 지지 선반 및 그에 사용되는 캡 조립체 document_id 1020170102038

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 결합피스는, 상기 너트부에 삽입 체결되는 볼트를 포함하고,상기 몸체는 실리콘 재질로 형성되고, 상기 결합 베이스는 금속 재질형성되는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 결합 베이스는, 상기 몸체와 인서트 사출되어 상기 몸체와 일체형성되는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 결합 베이스는,상기 너트부에서 돌출 형성되고, 상기 주변홀에 끼움 결합되는 끼움 돌기더 포함하는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 5] 제1항에 있어서,상기 캡 조립체는, 상기 몸체에서 돌출 형성되는 보강 리브를 더 포함하고,상기 보강 리브는,상기 주변홀을 감싸도록 형성되는 주변 원형 리브; 및상기 중앙홀을 감싸도록 형성되는 중앙 원형 리브, 상기 몸체의 윤곽에 대응하여 연장 형성되는 윤곽 리브, 및 상기 중앙홀의 중심에서 방사 방향으로 연장 형성되는 방사 리브 중 어느 하나의 리브포함하는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 너트부는, 상기 주변 원형 리브에 대응하도록 배치되고, 상기 연결부는, 상기 어느하나의리브대응하도록형성되는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 연결부는,상기 윤곽 리브에 대응하도록 연장되고, 상기 너트부가 내접하는 타원형 링체포함하는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 연결부는,상기 중앙 원형 리브에 대응 형성되는 원형 링체; 및상기 방사 리브에 대응 형성되어, 상기 원형 링체를 상기 타원형 링체에 연결하는 방사 라인체더 포함하는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 9] 제6항에 있어서,상기 너트부와 상기 연결부는,상기 중앙홀 및 상기 주변홀 각각에 대응하는 복수의 관통홀을 구비하고, 상기 몸체에 대응하는 사이즈를 갖는 타원형 평판체형성하는,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 10] 제6항에 있어서,하나의 리브는, 상기 연결부가 끼움 결합되는 연결 그루브를 포함하고,상기 주변 원형 리브는, 상기 너트부가 끼움 결합되는 너트 그루브를 포함하며,상기 연결 그루브와 상기 너트 그루브서로 연통되는 것인,웨이퍼 수용 용기 지지 선반. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 몸체는 실리콘 재질로 형성되고, 상기 결합 베이스는 금속 재질로 형성되며,상기 결합 베이스는, 상기 너트부에 대해 삽입되는 볼트 회전시 발생하는 비틀림력에 의해 상기 몸체가 비틀리는 것을 방지하는 강도를 갖는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반사용되는캡 조립체. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 결합 베이스는,상기 너트부에서 돌출 형성되고, 상기 주변홀에 끼움 결합되는 끼움 돌기를 더 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반사용되는캡 조립체. [청구항 14] 제11항에 있어서,상기 몸체에서 돌출 형성되는 보강 리브를 더 포함하고,상기 보강 리브는,상기 주변홀을 감싸도록 형성되는 주변 원형 리브; 및상기 중앙홀을 감싸도록 형성되는 중앙 원형 리브, 상기 몸체의 윤곽에 대응하여 연장 형성되는 윤곽 리브, 및 상기 중앙홀의 중심에서 방사 방향으로 연장 형성되는 방사 리브 중 어느 하나의 리브를 포함하고,상기 어느 하나의 리브는 상기 연결부가 끼움 결합되도록 상기 연결부에 대응하는 형태로 연장되는 연결 그루브를 포함하고, 상기 주변 원형 리브는 상기 너트부가 끼움 결합되도록 상기 너트부에 대응하여 형성되는 너트 그루브를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 지지 선반사용되는캡 조립체.