처리액 공급 장치 document_id 1020170113263

[청구항 1] 피처리체에 처리액을 토출하는 처리액 토출부에, 처리액을 공급하는 처리액 공급 장치이며, 처리액을 저류하는 처리액 공급원으로부터 공급되는 처리액을 일시적으로 저류하는 일시 저류 장치와, 상기 일시 저류 장치로부터의 처리액 중의 이물을 제거하는 필터와, 해당 필터에 의해 이물이 제거된 처리액을 상기 처리액 토출부에 송출하는 펌프를 구비하고, 상기 일시 저류 장치는, 해당 일시 저류 장치에 저류되어 있는 처리액을 압송하는 압송 기능을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 처리액 공급 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 일시 저류 장치보다 하류측에 설치되고, 처리액의 액압을 측정하는 압력 측정 장치와,상기 압력 측정 장치로의 측정 결과에 기초하여, 적어도 상기 일시 저류 장치로부터의 처리액의 압송을 제어하는제어장치구비하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 압력 측정 장치는, 상기 필터의 2차측 액압을 측정하고,상기 제어 장치는, 상기 필터의 2차측 액압이 일정해지도록,상기압송시의액압제어하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 압력 측정 장치는, 상기 필터의 2차측 액압을 측정하고,상기 제어 장치는, 상기 필터의 2차측 액압이 소정의 범위 내에 있는 경우는, 상기 일시 저류 장치에 소정의 압력을 가하여,처리액압송시키는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 압력 측정 장치는, 상기 필터의 1차측 액압을 측정하고,상기 제어 장치는, 상기 필터의 1차측 액압이 일정해지도록,상기압송시의액압제어하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 6] 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 일시 저류 장치, 상기 필터 및 상기 펌프의 세트를 복수 구비하고,상기 제어 장치는, 상기 일시 저류 장치 각각에 대해 설치된, 당해 일시 저류 장치의 처리액을 저류하는 저장실 내의 액압을 조정하는전공 레귤레이터갖는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 7] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 일시 저류 장치는, 튜브프램펌프인것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 8] 제1항에 있어서,상기 일시 저류 장치, 상기 필터 및 상기 펌프의 세트를 복수 구비하고,상기 일시 저류 장치는 각각 처리액을 저류하는 저류 장치와, 해당 저류 장치 내의 처리액을 압송하는 별개의 펌프를 별체로 갖고,상기 일시 저류 장치의 상기 별개의 펌프에 대해, 당해 별개의 펌프의 처리액을 저류하는 저장실 내의 액압을 조정하는 공통의 전공 레귤레이터가 설치되어 있고,상기 일시 저류 장치로부터의 처리액의 압송 시의 액압의 제어는, 상기 전공 레귤레이터에 의해 행해지는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 9] 제8항에 있어서,상기 별개의 펌프는, 튜브프램펌프인것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 10] 제1항 내지 제5항, 제8항 및 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 펌프는, 상기 필터에 의해 이물이 제거된 처리액을 상기 처리액 토출부에 송출할 때, 상기 필터 내를 다시 통과하도록송출하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치. [청구항 11] 제2항에 있어서,상류 측으로부터 순서대로 상기 일시 저류 장치, 상기 필터 및 상기 펌프가 설치된 처리액 공급관을 구비하고,상기 펌프는, 처리액을 저류하는 저장실을 갖고,해당 처리액 공급관은, 상기 일시 저류 장치와 상기 필터 사이에 하나의 밸브를, 상기 일시 저류 장치와 상기 필터 사이에 다른 밸브를 갖고,상기 제어 장치는, 상기 일시 저류 장치로부터 상기 펌프의 저장실에 상기 필터에 의해 이물이 제거된 처리액의 보충 시, 상기 하나의 밸브를 개방하고, 상기 다른 밸브를 폐쇄한 상태에서, 상기 압력 측정 장치로 측정한 상기 필터의 2차측 압력이 소정의 값이 되도록, 상기 일시 저류 장치로부터의 처리액의 압력을 제어하고, 그 후, 상기 하나의 밸브를 폐쇄하고, 상기 다른 밸브를 개방한 상태에서, 상기 압력 측정 장치로 측정한 상기 필터의 2차측 압력이 상기 소정의 값이 되도록, 상기 저장실 내의 압력을 제어하고 나서, 상기 하나의 밸브 및 상기 다른 밸브를 개방한 상태에서상기보충개시하는것을특징으로 하는처리액 공급 장치.