문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 파이-형 세그먼트들 중 적어도 하나는 적어도 3개의 레벨링 유닛들을 더 포함하고, 상기 3개의 레벨링 유닛들 중 각각의 레벨링 유닛은, 독립적으로, 운동 마운트(kinematic mount)와 보이스 코일(voice coil) 중하나인가스 분배 조립체.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,이동가능한 선두(leading) 파이-형 세그먼트더 포함하는가스 분배 조립체.
[청구항 4]
제 3 항에 있어서,상기 이동가능한 선두 파이-형 세그먼트는, 상기 가스 분배 조립체 아래에 기판이 배치될 수 있게 하도록 이동가능한가스 분배 조립체.
[청구항 5]
제 3 항에 있어서,상기 이동가능한 선두 파이-형 세그먼트는, 능동적인(active) 세그먼트, 더미 세그먼트, 가열 세그먼트, 및 플라즈마 처리 세그먼트 중 하나 또는 그 초과의세그먼트인가스 분배 조립체.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 회전가능한 중심 지지부는 석영 베이스를 포함하며, 상기 복수의 파이-형 세그먼트들 중 각각의 파이-형 세그먼트는상기석영베이스에의해지지되는서셉터 조립체.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 석영 베이스는 중실형 디스크를 포함하며, 상기 중실형 디스크는 각각의 상기 복수의 파이-형 세그먼트들 전부지지하는서셉터 조립체.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 석영 베이스는, 중심 축으로부터 연장하며 스포크형 프레임(spoked frame)을 형성하는 복수의 스포크들(spokes)을 포함하며, 상기 파이-형 세그먼트들 중 각각의 파이-형 세그먼트는 적어도 하나의 스포크상에 놓이는서셉터 조립체.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 석영 베이스는 복수의 개구들(apertures)과 유체 소통하는 복수의 가스 통로들을 포함하여서, 상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에압력인가하도록허용하는서셉터 조립체.
[청구항 11]
제 6 항에 있어서,상기 파이-형 세그먼트들 중 각각의 파이-형 세그먼트는 적어도 2개의 연결 지점들(connection points)에 의해 상기 중심 지지부연결되는서셉터 조립체.
[청구항 12]
제 6 항에 있어서,상기 파이-형 세그먼트들 전부는 석영 가스 베어링 링에 의해 외측 주변 엣지지지되는서셉터 조립체.
[청구항 14]
제 13 항에 있어서,상기 가스 베어링 패드들은 상기 파이-형 세그먼트들 중 각각의 파이-형 세그먼트를 독립적으로 이동시키기 위해, 상기 서셉터 조립체의 위 및 아래포지셔닝되는프로세싱 챔버.
[청구항 15]
제 13 항에 있어서,상기 가스 베어링 패드들은, 상기 서셉터 조립체의 외측 주변 엣지에 포지셔닝되거나, 또는 상기 파이-형 세그먼트들의 내측 엣지에 인접하여, 상기 서셉터 조립체의 상기 중심 축을 향하여 포지셔닝되는 것 중에서, 하나초과인,프로세싱 챔버.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소의 기능과 역할을 분석하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
서셉터 조립체의 석영 베이스가 복수의 가스 통로를 포함할 때, 해당 가스 통로가 파이-형 세그먼트에 미치는 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation석영 베이스에 포함된 복수의 가스 통로가 파이-형 세그먼트에 미치는 기능적 역할을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 석영 베이스가 복수의 가스 통로를 포함한다는 내용과 그 기능을 확인할 수 있다.
- 상기 석영 베이스는 복수의 개구들(apertures)과 유체 소통하는 복수의 가스 통로들을 포함하여서, 상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에 압력을 인가하도록 허용하는
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3근거 선택
evidence_selection가스 통로를 통해 유동하는 가스가 파이-형 세그먼트에 압력을 인가한다는 구절을 선택한다.
- 상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에 압력을 인가하도록 허용하는
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4논리 통합
logical_integration가스 통로를 통해 흐르는 가스가 통로를 빠져나오면서 파이-형 세그먼트에 압력을 가하는 작용을 수행함을 알 수 있다.
- 상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에 압력을 인가하도록 허용하는
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5결론 도출
conclusion_formulation가스 통로의 기능은 유동하는 가스가 통로를 빠져나가 파이-형 세그먼트에 압력을 인가하도록 하는 것이다.
- 상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에 압력을 인가하도록 허용하는
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 질문에 대한 답변을 작성한다.
- 상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에 압력을 인가하도록 허용하는
최종 답변 (final_answer)
상기 가스 통로들을 통해 유동하는 가스가 상기 통로들을 빠져나가고 상기 파이-형 세그먼트들에 압력을 인가하도록 허용하는 것
핵심 해석 (core_interpretation)
석영 베이스의 가스 통로를 통해 유동하는 가스가 배출되면서 파이-형 세그먼트에 압력을 전달하는 기능을 수행한다.