서셉터 및 에피택셜 성장 장치 document_id 1020177029627

[청구항 1] 에피택셜 성장 장치 내에서 웨이퍼를 올려놓기 위한 서셉터로서, 상기 서셉터의 표면에, 상기 웨이퍼가 올려놓여지는 카운터보링(counterboring)부가 형성되고, 상기 서셉터는, 서셉터 본체와, 당해 서셉터 본체의 표면의 중심부에 형성된 오목부에 올려놓여진 반상(盤狀) 부재를 갖고, 상기 카운터보링부의 저면이, 상기 반상 부재의 표면과, 상기 오목부의 주위에 위치하는, 상기 서셉터 본체의 표면의 일부로 구성되고, 상기 서셉터 본체에는, 상기 반상 부재의 이면을 지지하여 상기 반상 부재를 승강시키는 리프트 핀을 삽입 통과시키기 위한 관통공이 형성되고, 상기 웨이퍼를 상기 카운터보링부에 올려놓을 때 및 상기 웨이퍼를 상기 카운터보링부로부터 반출할 때에, 상기 리프트 핀에 의해 상승되는 상기 반상 부재의 표면이, 상기 웨이퍼의 이면의 적어도 중심부를 면접촉으로 지지하는 지지면으로서 기능하고, 상기 반상 부재가 상기 오목부에 올려놓여진 상태에서의, 상기 반상 부재와 상기 서셉터 본체의 이간 공간이, 상기 서셉터의 표면으로부터 이면을 향할수록, 상기 반상 부재의 중심측으로 들어가는 것을 특징으로 하는 서셉터 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 반상 부재의 주연부및 상기 서셉터 본체의 상기 오목부의 주연부가, 상기 서셉터의 표면으로부터 이면을 향할수록 상기 반상 부재의 중심측으로 들어가는 경사면갖는,서셉터. [청구항 3] 제1항에 있어서,셉터 본체의 상기 오목부의 주연부가 단차부를 갖고, 상기 반상 부재는, 제1 반경 r1의 제1 부분과, 당해 제1 부분상에서 r1보다도 큰 제2 반경 r2의 제2 부분을 갖고, 상기 단차부가,상기제2부분주연부를지지하는서셉터. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 리프트 핀이 상기 반상 부재고정되어 있는서셉터. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 서셉터와, 상기 리프트 핀의 하단부를 지지하여 상기 리프트 핀을 승강시키는 승강 기구를 갖는 에피택셜 성장 장치