문맥 (context)
[청구항 1]
에피택셜 성장 장치 내에서 웨이퍼를 올려놓기 위한 서셉터로서,
상기 서셉터의 표면에, 상기 웨이퍼가 올려놓여지는 카운터보링부가 형성되고,
상기 서셉터는, 서셉터 본체와, 당해 서셉터 본체의 표면의 외주부에 형성된 2 이상의 오목부에 각각 올려놓여진 호 형상 부재를 갖고,
상기 카운터보링부의 저면이, 상기 호 형상 부재의 표면의 전체와, 상기 서셉터 본체의 표면의 일부로 구성되고,
상기 서셉터 본체에는, 상기 2 이상의 각 호 형상 부재의 이면을 지지하여 상기 2 이상의 각 호 형상 부재를 승강시키는 리프트 핀을 삽입 통과시키기 위한 2 이상의 관통공이 형성되고,
상기 웨이퍼를 상기 카운터보링부에 올려놓을 때 및 상기 웨이퍼를 상기 카운터보링부로부터 반출할 때에, 상기 리프트 핀에 의해 상승되는 상기 호 형상 부재의 표면의 전체가, 상기 웨이퍼의 이면의 외주부만을 면접촉으로 지지하는 지지면으로서 기능하는 것을 특징으로 하는 서셉터
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 호 형상 부재의 수가 2이고, 표면에서 보아 대략 선대칭위치하는서셉터.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 리프트 핀이 상기 호 형상 부재고정되어 있는서셉터.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 서셉터와,
상기 리프트 핀의 하단부를 지지하여 상기 리프트 핀을 승강시키는 승강 기구를 갖는 에피택셜 성장 장치
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 에피택셜 웨이퍼의 이면의 중앙부를, 레이저 현미경을 이용하여 관찰한 경우에, 깊이 0.3㎛ 이하의 흠집관찰되지 않는,에피택셜 웨이퍼.
지시문 (instruction)
본문의 내용을 파악하고 이를 바탕으로 질문에 답하라.
질문 (question)
에피택셜 성장 장치 내에서 사용되는 서셉터의 카운터보링부 저면은 어떠한 요소들로 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation에피택셜 성장 장치용 서셉터의 카운터보링부 저면을 구성하는 요소들을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 카운터보링부의 저면에 대한 기술적 구성을 추출한다.
- 상기 카운터보링부의 저면이, 상기 호 형상 부재의 표면의 전체와, 상기 서셉터 본체의 표면의 일부로 구성되고
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 구성 요소인 '호 형상 부재의 표면의 전체'와 '서셉터 본체의 표면의 일부'를 선택한다.
- 상기 호 형상 부재의 표면의 전체와, 상기 서셉터 본체의 표면의 일부
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4논리 통합
logical_integration추출된 두 가지 구성 요소를 결합하여 저면의 구성을 정의한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation카운터보링부의 저면은 호 형상 부재의 표면 전체와 서셉터 본체 표면의 일부로 이루어져 있음을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대하여 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
상기 호 형상 부재의 표면의 전체, 상기 서셉터 본체의 표면의 일부
핵심 해석 (core_interpretation)
서셉터의 카운터보링부 저면을 호 형상 부재와 서셉터 본체 표면의 조합으로 구성하여, 리프트 핀 작동 시 웨이퍼의 이면 외주부만을 면접촉으로 지지하도록 설계된 기술이다.