문맥 (context)
[청구항 1]
마이크로전자 구조체로서,
기판;
저 밴드갭 활성 채널;
상기 기판과 상기 저 밴드갭 활성 채널 사이에 배치되는 고 밴드갭 서브구조체- 상기 고 밴드갭 서브구조체는 상기 저 밴드갭 활성 채널과 접함 -
상기 고 밴드갭 서브구조체와 접하는 적어도 하나의 격리 구조체- 상기 고 밴드갭 서브구조체의 부분은 상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장됨 -; 및
상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장되는 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분을 포함하는 게이트 영역
을 포함하는, 마이크로전자 구조체
[청구항 2]
제1항에 있어서,밴드갭 서브구조체가, 인듐 알루미늄 비화물, 인듐 인화물, 갈륨 인화물, 갈륨 비화물, 갈륨 비화물 안티몬화물, 알루미늄 비화물 안티몬화물, 인듐 알루미늄 갈륨 비화물, 인듐 알루미늄 갈륨 인화물 및 알루미늄 갈륨 비화물로 구성되는 그룹으로부터 선택된 재료포함하는,마이크로전자 구조체.
[청구항 3]
제1항에 있어서,밴드갭 활성 채널이, 인듐 갈륨 비화물, 인듐 비화물 및 인듐 안티몬화물로 구성되는 그룹으로부터 선택된 재료포함하는,마이크로전자 구조체.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 기판 내로 연장되는 핵형성 트렌치를 더 포함하고, 상기 고 밴드갭 서브구조체는 상기 핵형성 트렌치연장되는,마이크로전자 구조체.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 핵형성 트렌치가 (111) 패싯팅(faceting)을 갖는 핵형성 트렌치포함하는,마이크로전자 구조체.
[청구항 6]
제1항에 있어서,밴드갭 서브구조체가 약 50nm 초과의 깊이 및 약 25nm 미만의 폭갖는,마이크로전자 구조체.
[청구항 7]
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 게이트 영역 위에 형성된 게이트더 포함하는,마이크로전자 구조체.
[청구항 15]
전자 시스템으로서,
보드; 및
상기 보드에 부착된 마이크로전자 컴포넌트
를 포함하고, 상기 마이크로전자 컴포넌트는 적어도 하나의 마이크로전자 트랜지스터를 포함하고, 상기 적어도 하나의 마이크로전자 트랜지스터는
마이크로전자 기판;
저 밴드갭 활성 채널;
상기 기판과 상기 저 밴드갭 활성 채널 사이에 배치되는 고 밴드갭 서브구조체- 상기 고 밴드갭 서브구조체는 상기 저 밴드갭 활성 채널과 접함 -
상기 고 밴드갭 서브구조체와 접하는 적어도 하나의 격리 구조체- 상기 고 밴드갭 서브구조체의 부분은 상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장됨 -
상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장된 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 고 밴드갭 서브구조체의 부분을 포함하는 게이트 영역; 및
상기 게이트 영역 위에 형성된 게이트
를 포함하는, 전자 시스템
[청구항 16]
제15항에 있어서,밴드갭 서브구조체가, 인듐 알루미늄 비화물, 인듐 인화물, 갈륨 인화물, 갈륨 비화물, 갈륨 비화물 안티몬화물, 알루미늄 비화물 안티몬화물, 인듐 알루미늄 갈륨 비화물, 인듐 알루미늄 갈륨 인화물 및 알루미늄 갈륨 비화물로 구성되는 그룹으로부터 선택된 재료포함하는,전자 시스템.
[청구항 17]
제15항에 있어서,밴드갭 활성 채널이, 인듐 갈륨 비화물, 인듐 비화물 및 인듐 안티몬화물로 구성되는 그룹으로부터 선택된 재료포함하는,전자 시스템.
[청구항 18]
제15항에 있어서,상기 기판 내로 연장되는 핵형성 트렌치를 더 포함하고, 상기 고 밴드갭 서브구조체는 상기 핵형성 트렌치연장되는,전자 시스템.
[청구항 19]
제18항에 있어서,상기 핵형성 트렌치가 (111) 패싯팅을 갖는 핵형성 트렌치포함하는,전자 시스템.
[청구항 20]
제15항에 있어서,밴드갭 서브구조체가 약 50nm 초과의 깊이 및 약 25nm 미만의 폭갖는,전자 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
마이크로전자 구조체에서 게이트 영역은 어떠한 구성 요소들로부터 연장되어 형성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation마이크로전자 구조체의 게이트 영역을 구성하는 요소가 무엇인지 추출하는 과업이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 게이트 영역의 구성을 설명하는 문구를 찾는다.
- 상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장되는 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분을 포함하는 게이트 영역
-
3근거 선택
evidence_selection게이트 영역이 무엇으로부터 연장되어 형성되는지 명시된 구절을 선택한다.
- 상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장되는 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분
-
4논리 통합
logical_integration게이트 영역은 저 밴드갭 활성 채널과 고 밴드갭 서브구조체의 일부를 포함하며, 이들은 격리 구조체로부터 연장된다.
- 상기 적어도 하나의 격리 구조체로부터 연장되는 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 게이트 영역을 구성하는 요소인 저 밴드갭 활성 채널과 고 밴드갭 서브구조체의 부분을 도출한다.
- 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분
-
6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분
최종 답변 (final_answer)
상기 저 밴드갭 활성 채널 및 상기 고 밴드갭 서브구조체의 상기 부분
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 격리 구조체로부터 연장되는 저 밴드갭 활성 채널과 고 밴드갭 서브구조체의 일부를 결합하여 게이트 영역을 형성하는 마이크로전자 구조체에 관한 것이다.