회로 보드 모듈, 이에 관련된 사운드 트랜스듀서 어셈블리 및 이의 제조 방법 document_id 1020177035939

[청구항 1] 가청 파장 스펙트럼의 음파를 생성 및/또는 검출하는 사운드 트랜스듀서 어셈블리(1)용 회로 보드 모듈(2)에 있어서, 제1 개구부(7)를 구비하는 리세스(6)를 갖는 회로 보드(4)와, 상기 리세스(6)가 적어도 부분적으로 멤스 사운드 트랜스듀서(5)의 캐비티(9)를 형성하도록, 상기 제1 개구부(7)의 영역에 배치되는 상기 멤스 사운드 트랜스듀서(5)의 적어도 일부분을 포함하고, 상기 리세스(6)는 상기 리세스(6)가 상기 회로 보드(4)를 완전히 관통하여 연장되도록, 상기 제1 개구부(7)에 대향하는 제2 개구부(8)를 갖고, 상기 제2 개구부(8) 영역 내의 회로 보드 모듈(2)은 상기 캐비티(9)를 폐쇄하는 제1 하우징부(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 보드 모듈 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 제1 하우징부(14)는 상기 리세스(6)의 상기 제2 개구부(8)와 동일 평면 상에 있거나, 부분적으로 상기 캐비티(9)를 형성하는하우징중공공간갖는것을특징으로 하는회로 보드 모듈. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 회로 보드(4)는 프레임으로서 형성되고, 수 개의 층들로 구성되고/구성되거나 에이직(asic(12)) 및/또는 수동 추가 구성요소(13)를, 특히 프레임으로 형성된가장자리영역내장하는것을특징으로 하는회로 보드 모듈. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 멤스 사운드 트랜스듀서(5)의 일부분은 기판 리세스(18)를 갖는 기판 프레임(17)과, 특히 상기 회로 보드(4) 쪽으로 향하는 상기 기판 프레임(17)의 면상에 고정 배치되고/배치되거나 z 방향을 따라 상기 기판 프레임(17)에 대해 편향될 수 있는 액추에이터 구조체(19)와, 특히 상기 기판 리세스(18) 내에 배치되고/배치되거나 상기 액추에이터 구조체(19)에 고정되는 연결 부재(20)를 포함하여 구성되는멤스액추에이터인것을특징으로 하는회로 보드 모듈. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 멤스 액츄에이터(16)는 상기 회로 보드(4)에 바로 인접하여 z 축의 방향으로 배치되거나 또는 전기 접점으로 형성되는 스페이서(21)에 의해 상기 회로 보드(4)로부터이격배치되는것을특징으로 하는회로 보드 모듈. [청구항 6] 가청 파장 스펙트럼의 음파를 생성 및/또는 검출하기 위한 사운드 트랜스듀서 어셈블리(1)에 있어서, 제1 개구부(7)를 구비하는 리세스(6)를 갖는 회로 보드(4)와, 상기 리세스(6)가 적어도 부분적으로 멤스 사운드 트랜스듀서(5)의 캐비티(9)를 형성하도록, 상기 제1 개구부(7)의 영역에 배치되는 상기 멤스 사운드 트랜스듀서(5)의 적어도 일부분을 포함하여 구성되는 회로 보드 모듈(2) 및 상기 회로 보드 모듈(2)에 연결되는 멤브레인 프레임(11)과 상기 멤브레인 프레임(11)에 의해 유지되는 적어도 하나의 멤브레인(10)을 포함하여 구성되고, 상기 리세스(6)의 연장부에 있는 상기 멤브레인(10)은 상기 멤스 사운드 트랜스듀서(5)의 적어도 일부분에 연결되는 것을 특징으로 하는 멤브레인 모듈(3)을 포함하고, 상기 회로 보드 모듈(2)은 상기 청구항 1 내지 청구항 5 중, 어느 한 항에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 사운드 트랜스듀서 어셈블리 [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 멤브레인(10)은 내부의 제1 연결 영역(23)에서, 특히 간접적으로 상기 멤스 액추에이터(16)의 액추에이터 구조체(19)에 연결되고, 상기 제1 연결 영역(23)은 상기 액추에이터 구조체(19) 상에 배치되는 상기 멤스 액추에이터(16)의 연결 부재(20)와 상기 멤브레인(10), 특히 상기 멤브레인(10)의 보강 부재(22)사이형성되는것을특징으로 하는사운드 트랜스듀서 어셈블리. [청구항 8] 청구항 6에 있어서,상기 멤브레인 프레임(11)은 외부의 제2 연결 영역(24)에서, 간접적으로 또는 직접적으로상기회로보드연결되는것을특징으로 하는사운드 트랜스듀서 어셈블리.