코팅된 전기 조립체 document_id 1020187000717

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅이 2 내지 10개의 층, 바람직하게는 4 내지 8개의 층갖는 것인전기 조립체. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 플라즈마 증착이 플라즈마 강화 화학 기상 증착인전기 조립체. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 플라즈마 증착이 0.001 내지 10 mbar의압력에서 일어나는 것인전기 조립체. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 전기 조립체의 표면과 접촉되는, 상기 다층 컨포멀 코팅의 제1 층/최저 층유기성인전기 조립체. [청구항 6] 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 제1 층/최저 층이, o2, n2o 또는 no2를 함유하지 않거나 또는 실질적으로 함유하지 않는전구체혼합물의플라즈마증착에의해수 있는 것인전기 조립체. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 제1 층/최저 층이, o2, n2o, no2, 플루오린-함유 유기규소 화합물, sif4 또는 hfp를 함유하지 않거나 또는 실질적으로 함유하지 않는전구체혼합물의플라즈마증착에의해수 있는 것인전기 조립체. [청구항 8] 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 최종 층/최상 층이, o2, n2o 또는 no2를 함유하지 않거나 또는 실질적으로 함유하지 않는전구체혼합물의플라즈마증착에의해수 있는 것인전기 조립체. [청구항 9] 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 최종 층/최상 층이, 1종 이상의 할로겐-함유 유기규소 화합물, sif4 및/또는 hfp를 포함하는전구체혼합물의플라즈마증착에의해수 있는 것인전기 조립체. [청구항 10] 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 최종 층/최상 층이, he, ar 및/또는 kr을 포함하는전구체혼합물의플라즈마증착에의해수 있는 것인전기 조립체. [청구항 11] 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 적어도 1개의 층이, o2, n2o 및/또는 no2를 포함하는 전구체 혼합물의 플라즈마 증착에 의해 얻어질 수 있는 수분 장벽층인전기 조립체. [청구항 12] 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅의 적어도 1개의 층이, 질소-함유 유기규소 화합물, n2, no2, n2o 및/또는 nh3을 포함하는 전구체 혼합물의 플라즈마 증착에 의해 얻어질 수 있는 수분 장벽층인전기 조립체. [청구항 13] 제11항 또는 제12항에 있어서,그로부터 적어도 1개의 상기 수분 장벽 층이 얻어질 수 있는 상기 전구체 혼합물이 he, ar 및/또는 kr을 추가포함하는 것인전기 조립체. [청구항 14] 제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,적어도 1개의 상기 수분 장벽 층이 상기 다층 코팅의 제1 층/최저 층 및 최종 층/최상 층 사이위치된 것인전기 조립체. [청구항 15] 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,그로부터 상기 다층 코팅의 각각의 층이 플라즈마 증착에 의해 얻어질 수 있는 상기 1종 이상의 유기규소 화합물이 헥사메틸디실록산 (hmdso), 테트라메틸디실록산 (tmdso), 1,3-디비닐테트라메틸디실록산 (dvtmdso), 헥사비닐디실록산 (hvdso), 알릴트리메틸실란, 알릴트리메톡시실란 (atmos), 테트라에틸오르토실리케이트 (teos), 트리메틸실란 (tms), 트리이소프로필실란 (tips), 트리비닐-트리메틸-시클로트리실록산 (v3d3), 테트라비닐-테트라메틸-시클로테트라실록산 (v4d4), 테트라메틸시클로테트라실록산 (tmcs), 옥타메틸시클로테트라실록산 (omcts), 헥사메틸디실라잔 (hmdsn), 2,4,6-트리메틸-2,4,6-트리비닐시클로트리실라잔, 디메틸아미노-트리메틸실란 (dmatms), 비스(디메틸아미노)디메틸실란, (bdmadms), 트리스(디메틸아미노)메틸실란 (tdmams), 트리메틸(트리플루오로메틸)실란 또는 1h,1h,2h,2h-퍼플루오로옥틸트리에톡시실란 및 3-(디에틸아미노)프로필-트리메톡시실란으로부터 독립적선택된 것인전기 조립체. [청구항 16] 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,절연 재료를 포함하는 기판, 상기 기판의 적어도 하나의 표면 상에 존재하는 복수의 전도성 트랙(conductive track), 및 적어도 1개의 전도성 트랙에 연결된 적어도 1종의 전기 부품포함하는전기 조립체. [청구항 17] 제16항에 있어서,상기 다층 컨포멀 코팅이 상기 복수의 전도성 트랙, 상기 적어도 1종의 전기 부품, 및 상기 복수의 전도성 트랙 및 상기 적어도 1종의 전기 부품이 그 위에 위치된 상기 기판의 표면피복하는 것인전기 조립체. [청구항 18] 제1항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,인쇄 회로nan기판인전기 조립체. [청구항 20] 제19항에 있어서,저항기, 커패시터, 트랜지스터, 다이오드, 증폭기, 계전기, 변압기, 배터리, 퓨즈, 집적 회로, 스위치, led, led 디스플레이, 피에조(piezo) 소자, 광전자 부품, 안테나발진기인전기 부품.