문맥 (context)
[청구항 2]
제1 항에 있어서,상기 통합 진공 포트는 상기 선행 반응성 가스 포트 및 상기 후행 반응성 가스 포트로부터의 가스들이 상기 경계 내에서 혼합될 수 있게 하면서, 상기 가스들이상기경계밖확산되는것을방지하는,인젝터 유닛.
[청구항 3]
제1 항에 있어서,상기 인젝터 유닛은 선행 에지와 후행 에지, 및 내측 주변 에지와 외측 주변 에지를 가지며, 상기 선행 에지와 상기 후행 에지는 상기 인젝터 유닛의 폭을 정의하고, 상기 내측 주변 에지와 상기 외측 주변 에지는 상기 선행 에지와 상기 후행 에지를 연결시키고, 상기 인젝터 유닛의 길이정의하는,인젝터 유닛.
[청구항 4]
제3 항에 있어서,상기 인젝터 유닛은, 상기 선행 에지와 상기 후행 에지가 약 60° 내지 약 120°의 범위의 각도를 형성하도록, 원의 일부형성하는,인젝터 유닛.
[청구항 5]
제1 항에 있어서,상기 통합 진공 포트는 상기 인젝터 유닛과 형상이 컨포멀한,인젝터 유닛.
[청구항 6]
제1 항에 있어서,상기 선행 반응성 가스 포트 또는 상기 후행 반응성 가스 포트 중 하나또는 그 초과에 연결된 적어도 하나의 원격 플라즈마 소스더 포함하는,인젝터 유닛.
[청구항 7]
제1 항에 있어서,상기 선행 반응성 가스 포트에 연결된 선행 원격 플라즈마 소스, 및 상기 후행 반응성 가스 포트에 연결된 후행 원격 플라즈마 소스더 포함하는,인젝터 유닛.
[청구항 8]
제1 항에 있어서,상기 통합 진공 포트의 하나의 측에 인접한 퍼지 가스 포트더 포함하는,인젝터 유닛.
[청구항 9]
제1 항에 있어서,상기 통합 진공 포트의 경계 내에서 상기 선행 반응성 가스 포트와 상기 후행 반응성 가스 포트 사이에 적어도 하나의 중간 가스 포트더 포함하는,인젝터 유닛.
[청구항 11]
제10 항에 있어서,제2 인젝터 유닛들과 제1 인젝터 유닛들 각각 사이에 퍼지 가스 포트더 포함하는,가스 분배 조립체.
[청구항 12]
제11 항에 있어서,2개의 제1 인젝터 유닛들 및 2개의 제2 인젝터 유닛들이 교번 구성으로 배열되고, 그에 따라, 상기 가스 분배 조립체의 면 근처에서 회전되는 기판은, 순서대로, 진공 스트림, 상기 제1 반응성 가스 포트로부터의 제1 반응성 가스, 진공 스트림, 퍼지 가스, 진공 스트림, 상기 제2 반응성 가스 포트로부터의 제2 반응성 가스, 진공 스트림, 퍼지 가스, 진공 스트림, 상기 선행 반응성 가스 포트로부터의 선행 반응성 가스, 상기 후행 반응성 가스 포트로부터의 후행 반응성 가스, 및 진공 스트림노출될 것인,가스 분배 조립체.
[청구항 14]
제13 항에 있어서,상기 선행 반응성 가스 포트와 연통하는 선행 원격 플라즈마 소스, 및 상기 후행 반응성 가스 포트와 연통하는 후행 원격 플라즈마 소스더 포함하는,프로세싱 챔버.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
가스 분배 조립체 내에서 기판이 회전할 때, 제1 인젝터 유닛과 제2 인젝터 유닛이 교번 구성으로 배열됨에 따라 기판이 순차적으로 노출되는 가스 스트림의 종류와 순서는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation기판이 회전할 때 제1 및 제2 인젝터 유닛의 교번 구성에 따라 노출되는 가스 스트림의 종류와 순서를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 12에서 가스 분배 조립체의 구성과 기판이 노출되는 가스 스트림의 순서가 명시되어 있다.
- 2개의 제1 인젝터 유닛들 및 2개의 제2 인젝터 유닛들이 교번 구성으로 배열되고, 그에 따라, 상기 가스 분배 조립체의 면 근처에서 회전되는 기판은, 순서대로, 진공 스트림, 상기 제1 반응성 가스 포트로부터의 제1 반응성 가스, 진공 스트림, 퍼지 가스, 진공 스트림, 상기 제2 반응성 가스 포트로부터의 제2 반응성 가스, 진공 스트림, 퍼지 가스, 진공 스트림, 상기 선행 반응성 가스 포트로부터의 선행 반응성 가스, 상기 후행 반응성 가스 포트로부터의 후행 반응성 가스, 및 진공 스트림노출될 것인
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3근거 선택
evidence_selection기판이 순차적으로 노출되는 가스 스트림의 목록을 포함하는 청구항 12의 구절을 선택한다.
- 진공 스트림, 상기 제1 반응성 가스 포트로부터의 제1 반응성 가스, 진공 스트림, 퍼지 가스, 진공 스트림, 상기 제2 반응성 가스 포트로부터의 제2 반응성 가스, 진공 스트림, 퍼지 가스, 진공 스트림, 상기 선행 반응성 가스 포트로부터의 선행 반응성 가스, 상기 후행 반응성 가스 포트로부터의 후행 반응성 가스, 및 진공 스트림
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4논리 통합
logical_integration교번 배열된 인젝터 유닛을 통과하며 기판이 겪는 가스 노출의 물리적 순서를 나열한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 가스 스트림의 종류와 순서를 질문의 요구사항에 맞춰 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation최종적으로 가스 스트림의 순서를 나열하여 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
1. 진공 스트림, 2. 제1 반응성 가스, 3. 진공 스트림, 4. 퍼지 가스, 5. 진공 스트림, 6. 제2 반응성 가스, 7. 진공 스트림, 8. 퍼지 가스, 9. 진공 스트림, 10. 선행 반응성 가스, 11. 후행 반응성 가스, 12. 진공 스트림
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 분배 조립체 내에서 인젝터 유닛들이 교번으로 배열됨으로써, 회전하는 기판이 반응성 가스, 퍼지 가스, 진공 스트림을 특정 순서로 순차적으로 노출받도록 설계된 기술적 구성에 관한 것이다.