문맥 (context)
[청구항 1]
상부면에 웨이퍼 고정척이 통과되는 개구부를 형성하여 상·하 작동되는 캐치컵에 의하여 웨이퍼를 커버하는 캐치컵 장치에 있어서,
상기 캐치컵에 연결되어 상·하로 작동시키는 엑츄에이터와
인가되는 제어신호에 따라 상기 엑츄에이터를 작동시키는 작동유체의 공급방향을 유도하는 5방향 솔레노이드 밸브와
상호 엑츄에이터에 연결되는 위치를 변경하여 제어신호가 상기 5방향 솔레노이드 밸브에 인가되었을 때 작동유체를 캐취컵이 상승하도록 엑츄에이터에 유입하는 제 1 이송관과
제어신호가 인가되지 않았을 때 작동유체를 캐취컵이 하강하도록 엑츄에이터에 유입하는 제 2 이송관과
정전 후 재공급되는 전원을 제어하여 상기 5방향 솔레노이드 밸브의 작동을 조정하는 제어회로로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 폴라리스 장비의 캐치컵 장치
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,어회로는, 외부로부터의 제어 신호에 응답하여 상기 5 방향 솔레노이드 밸브에 입력되는 소정의 전류를 제공하기 위한 제 1 릴레이 스위치와;외부로부터의 리셋 신호에 응답하여 전원으로부터의 상기 전류를 상기 제 1 릴레이 스위치에 제공하기 위한 래치 회로부와;작업자의 스위치 동작에 의해 상기 리셋 신호를 발생시키기 위한리셋스위치구성되는것을특징으로 하는반도체 제조용 폴라리스 장비의 캐치컵 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 래치 회로부는 상기 전원으로부터의 전류의 발생이 중단된 다음, 상기 전원으로부터 상기 전류의 재발생시, 상기 제 1 릴레이 스위치로의 상기 전원으로부터 재발생되는 전류의 공급을 차단하며, 상기 리셋 신호의 입력시 상기 제 1 릴레이 스위치에전류공급하는것을특징으로 하는반도체 제조용 폴라리스 장비의 캐치컵 장치.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 릴레이 스위치는 상기 솔레노이드 밸브에 전기적으로 연결된 제1 출력 단자와;외부에 접지된 제 2 출력 단자와; 상기 래치 회로부로부터의 상기 전류가 입력되는 입력 단자를 포함하며, 상기 제 1 릴레이 스위치는 상기 제어 신호에 응답하여 상기 입력 단자에 입력되는 상기 전류를 상기 제 1또는제2출력단자출력시키는것을특징으로하는반도체 제조용 폴라리스 장비의 캐치컵 장치.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 래치 회로부는 상기 전원으로부터 발생되는 전류 및 상기 리셋 신호에 응답하여 상기 전원로부터 발생되는 전류를 스위치 구동 신호로서 출력시키기 위한 제 2 릴레이 스위치와; 상기 제 2 릴레이 스위치로부터의 스위치 구동 신호 입력시 상기 전원으로부터 발생되는 전류를 상기 제 1 릴레이 스위치에 공급 또는 차단하기 위한제3릴레이스위치구성되는것을특징으로 하는반도체 제조용 폴라리스 장비의 캐치컵 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
캐치컵 장치에서 정전 후 전원이 재공급되었을 때, 래치 회로부가 제 1 릴레이 스위치로의 전류 공급을 제어하는 구체적인 메커니즘은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation정전 후 전원이 재공급되었을 때, 래치 회로부가 제 1 릴레이 스위치로의 전류 공급을 어떻게 제어하는지 그 메커니즘을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 래치 회로부의 동작 조건과 전류 공급 차단 및 재개 메커니즘에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 래치 회로부는 상기 전원으로부터의 전류의 발생이 중단된 다음, 상기 전원으로부터 상기 전류의 재발생시, 상기 제 1 릴레이 스위치로의 상기 전원으로부터 재발생되는 전류의 공급을 차단하며, 상기 리셋 신호의 입력시 상기 제 1 릴레이 스위치에전류공급하는것을특징으로 하는반도체 제조용 폴라리스 장비의 캐치컵 장치
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3근거 선택
evidence_selection전원 재발생 시 전류를 차단한다는 내용과 리셋 신호 입력 시 전류를 공급한다는 핵심 구절을 선택한다.
- 전원으로부터 상기 전류의 재발생시, 상기 제 1 릴레이 스위치로의 상기 전원으로부터 재발생되는 전류의 공급을 차단하며, 상기 리셋 신호의 입력시 상기 제 1 릴레이 스위치에전류공급
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4논리 통합
logical_integration전원이 끊겼다가 다시 들어오면 래치 회로부는 우선 전류 공급을 차단하여 안전을 확보하고, 이후 리셋 신호가 입력되어야만 제 1 릴레이 스위치로 전류를 공급하도록 설계되어 있음을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation전원 재발생 시에는 전류 공급을 차단하고, 리셋 신호가 입력될 때 전류를 공급하는 메커니즘으로 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 메커니즘을 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
래치 회로부는 전원으로부터 전류의 발생이 중단된 후 전원이 재발생할 때, 제 1 릴레이 스위치로 재발생되는 전류의 공급을 차단하며, 이후 리셋 신호가 입력될 때 제 1 릴레이 스위치에 전류를 공급한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
정전 후 전원 재공급 시 발생할 수 있는 오작동을 방지하기 위해, 리셋 신호가 입력되기 전까지는 제 1 릴레이 스위치로의 전류 공급을 차단하는 안전 제어 메커니즘을 포함한다.