문맥 (context)
[청구항 1]
케미칼이 수용되는 탱크와, 상기 탱크내의 케미칼을 펌핑하기 위한 제 1, 2 펌프와, 상기 제 1 펌프의 인/아웃측에 각각 설치된 a,b 밸브와, 상기 제 2 펌프의 인/아웃측에 각각 설치된 c,d 밸브와, 상기 펌핑된 케미칼내의 이물질을 여과하기 위한 제 1, 2 휠터와, 상기 제 1 휠터의 인/아웃측에 각각 설치된 e,f 밸브와, 상기 제 2 휠터의 인/아웃측에 설치된 g,h 밸브를 구비한 케미칼 공급장치에 있어서
상기 제 1, 2 펌프중 백업 펌프의 인(in)측과 약액이 들어있는 바틀을 제 1 연결튜브에 의해 연결하고,
상기 백업 펌프와 제 2 휠터의 인(in)측을 제 2 연결튜브에 의해 연결하며,
상기 제 2 연결튜브상에는 이 튜브의 유로를 개폐하기 위한 밸브를 설치하고,
상기 제 2 휠터의 아웃측과 상기 바틀을 제 3 연결튜브에 의해 연결하며,
상기 제 3 연결튜브상에는 이 튜브의 유로를 개폐하기 위한 한쌍의 상/하 밸브를 설치하고,
상기 제 3 연결튜브의 상/하 밸브 사이에 약액을 배출하기 위한 드레인 튜브를 연결하며,
상기 드레인 튜브상에는 이 튜브의 유로를 개폐하기 위한 밸브를 설치하고,
상기 제 2 연결튜브와 상기 제 1 휠터의 인(in)측을 제 4 연결튜브에 의해 연결하며,
상기 제 4 연결튜브상에는 이 튜브의 유로를 개폐하기 위한 밸브를 설치하고,
상기 제 1 휠터의 아웃(out)측과 상기 드레인 튜브를 제 5 연결튜브에 의해 연결하며,
상기 제 5 연결튜브상에는 이 튜브의 유로를 개폐하기 위한 밸브를 설치하여,
상기 제 1 휠터를 프리-웨팅할때는 백업 펌프의 인/아웃측의 밸브와 제 2 연결튜브의 밸브와 드레인 튜브의 밸브는 닫고, 상기 제 4 연결튜브의 밸브와 제 5 연결튜브의 하 밸브는 열어 놓음에 따라 바틀내의 약액이 제 1 연결튜브―백업 펌프―제 2 연결튜브―제 4 연결튜브―제 1 휠터―제 5 연결튜브―드레인 튜브―바틀의 순으로 순환되도록 하며,
상기 제 2 휠터를 프리-웨팅할때는 백업 펌프의 인/아웃측의 밸브와 제 2 연결튜브의 밸브와 드레인 튜브의 밸브와 제 4 연결튜브의 밸브와 드레인 튜브의 밸브는 닫고, 상기 제 2 연결튜브의 밸브와 제 3 연결튜브의 상/하 밸브는 열어 놓음에 따라 바틀내의 약액이 제 1 연결튜브―백업펌프―제 2 연결튜브―제 2 휠터―제 3 연결튜브―바틀의 순으로 순환되도록 하여서 됨을 특징으로 하는 케미칼 공급장치의 휠터 웨팅시스템
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,제 1 연결튜브와 백업 펌프의 인(in)측, 제 2 연결튜브와 백업 펌프의 아웃(out)측, 제 3 연결튜브와 바틀을 연결할 때 형태변형이 용이한 플렉시블 튜브에 의해 각각 연결한 것을 특징으로 하는케미칼공급장치휠터웨팅시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,제 4 연결튜브에 약액의 한 종류인 di를 공급하기 위한 di공급관을 분리 가능하도록 연결한 것을 특징으로 하는케미칼공급장치휠터웨팅시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
케미칼 공급장치의 휠터 웨팅시스템에서 제 1 휠터를 프리-웨팅(pre-wetting)하기 위해 조작해야 하는 각 밸브의 개폐 상태와 그에 따른 약액의 순환 경로를 설명하라.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 1 휠터를 프리-웨팅하기 위한 밸브들의 개폐 상태와 약액의 순환 경로를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 제 1 휠터 프리-웨팅 시의 밸브 조작 조건과 순환 경로에 관한 문구를 확인한다.
- 상기 제 1 휠터를 프리-웨팅할때는 백업 펌프의 인/아웃측의 밸브와 제 2 연결튜브의 밸브와 드레인 튜브의 밸브는 닫고, 상기 제 4 연결튜브의 밸브와 제 5 연결튜브의 하 밸브는 열어 놓음에 따라 바틀내의 약액이 제 1 연결튜브―백업 펌프―제 2 연결튜브―제 4 연결튜브―제 1 휠터―제 5 연결튜브―드레인 튜브―바틀의 순으로 순환되도록 하며
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3근거 선택
evidence_selection밸브 개폐 상태(닫힘: 백업 펌프 인/아웃측, 제 2 연결튜브, 드레인 튜브 / 열림: 제 4 연결튜브, 제 5 연결튜브 하 밸브)와 순환 경로를 포함하는 구절을 선택한다.
- 백업 펌프의 인/아웃측의 밸브와 제 2 연결튜브의 밸브와 드레인 튜브의 밸브는 닫고, 상기 제 4 연결튜브의 밸브와 제 5 연결튜브의 하 밸브는 열어 놓음에 따라 바틀내의 약액이 제 1 연결튜브―백업 펌프―제 2 연결튜브―제 4 연결튜브―제 1 휠터―제 5 연결튜브―드레인 튜브―바틀의 순으로 순환
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4논리 통합
logical_integration닫혀 있는 밸브와 열려 있는 밸브를 구분하고, 이를 통해 형성되는 약액의 흐름 경로를 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구한 밸브의 개폐 상태와 순환 경로를 정리하여 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제 1 휠터를 프리-웨팅할 때는, 백업 펌프의 인/아웃측 밸브와 제 2 연결튜브의 밸브, 드레인 튜브의 밸브를 모두 닫고, 제 4 연결튜브의 밸브와 제 5 연결튜브의 하(下) 밸브만 열어 놓음으로써, 바틀 내의 약액이 제 1 연결튜브 → 백업 펌프 → 제 2 연결튜브 → 제 4 연결튜브 → 제 1 휠터 → 제 5 연결튜브 → 드레인 튜브를 거쳐 다시 바틀로 순환되도록 한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제 1 휠터의 프리-웨팅을 위해 특정 밸브들을 개폐함으로써 약액이 바틀과 드레인 튜브 사이를 순환하도록 설계된 휠터 웨팅 시스템의 제어 방법이다.