풀리 고정용 스프로켓 및 이를 적용한 반도체불순물 주입장치용 디스크 회전장치 document_id 2019980023310

[청구항 1] 그 일단부에 고정단이 마련된 회전축의 일단부에 마련된 고정단이 삽입되는 축공을 가지는 것으로 그 외주에 풀리가 결합되는 허브와 상기 허브의 일단부에 마련되는 것으로 상기 풀리를 고정하는 플랜지와 상기 허브의 중심으로 부터 허브와 플랜지를 통과하는 절개부와 상기 절개부와 상기 허브의 중심을 잇는 임의직선에 대해 소정각도 경사지게 상기 허브의 내측면에 마련되어 상기 고정단과 허브간의 상대 회전을 방지하는 키가 삽입되는 키홈과 상기 키홈에 삽입된 키를 고정하는 고정나사와 상기 고정나사가 관통하는 것으로 상기 플랜지 또는 허브에 형성되는 나사공을 구비하는 것을 특징으로 하는 풀리 고정용 스프로켓 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 고정나사와 상기 허브의 중심을 잇는 직선이 상기 임의직선에 대해45도있는것을특징으로 하는풀리 고정용 스프로켓. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 고정나사가 관통하는 나사공이상기허브형성되어있는것을특징으로 하는풀리 고정용 스프로켓. [청구항 4] 웨이퍼가 탑재되는 디스크와 디스크를 지지하는 것으로 그 일단부에 고정단이 마련된 회전축과 회전축의 고정단이 관통하여 결합되는 것으로 피동풀리가 결합되는 허브와 허브의 일측에 마련된 플랜지를 구비하며, 상기 허브의 중심으로 부터 허브와 플랜지를 통과하는 절개부를 가지는 스프로켓과 상기 허브 내에 마련되어 상기 허브에 대한 상기 고정단의 상대적 회전을 방지하는 키와 상기 스프로켓에 설치되어 상기 키를 고정하는 고정나사와 스프로켓에 상기 스프로켓에 결합되는 피동풀리와 상기 피동풀리에 회전력을 부여하는 모터를 구비하며, 상기 고정나사는 상기 허브를 중심과 상기 절개부를 잇는 임의직선을 벗어난 부분에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 불순물 주입장치용 디스크 회전장치 [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 고정나사와 상기 허브의 중심을 잇는 직선이 상기 임의직선에 대해45도있는것을특징으로 하는반도체 불순물 주입장치용 디스크 회전장치. [청구항 6] 제4항 또는 제5항에 있어서,상기 고정나사가 관통하는 나사공이상기허브형성되어있는것을특징으로 하는반도체 불순물 주입장치용 디스크 회전장치.